Industrielle chemische Filter von Aili können rund um MAU-Frischluftaufbereitung, FFU-Umluft und damit verbundene Projekte zur Reinluftversorgung ausgewählt werden. Die konkrete Anwendbarkeit muss anhand des Zielgases, des Luftvolumens, der Umgebung und der Struktur bestätigt werden. Die Wirkung lässt sich nicht allein anhand des Namens der Produktserie beurteilen. Die Produktlinienabdeckung ist der Ausgangspunkt für die Abstimmung und nicht der Abschluss der Modellauswahl.

Unterstützender Standort des MAU-Frischluftaufbereitungsprojekts

Der Standort des chemischen Filterabschnitts in einem MAU-Projekt hängt normalerweise von der Quelle der Frischluftverschmutzung und den nachgeschalteten Schutzobjekten ab. Wenn externe saure und alkalische Gase oder organische Emissionen das Hauptproblem darstellen, wird die Filterstrecke üblicherweise an einer geeigneten Stelle nach dem Frischlufteintritt und vor dem Oberflächenkühler platziert; Wenn nach der Mischung der Innenrückluft immer noch Gasladung vorhanden ist, muss diese im Mischabschnitt oder Luftzufuhrabschnitt konfiguriert werden. Die kastenförmigen chemischen Filter von Aili Industrial können entsprechend der Größe des Funktionsabschnitts des Klimakastens angepasst werden. Die flachen und V-förmigen Strukturen eignen sich für unterschiedliche Platz- und Widerstandsbedingungen. Informationen zur Restdruckprüfung nach dem Hinzufügen von Filterabschnitten zur MAU finden Sie unterWie kann der Restdruck außerhalb der Maschine überprüft werden, nachdem MAU einen chemischen Filterabschnitt hinzugefügt hat? . Der spezifische Standort sollte auch Bereiche mit hoher Luftfeuchtigkeit und Tröpfchenansammlungen meiden.

Passende Form von FFU-Schleife und geräteseitigem Projekt

Bei FFU-bezogenen Projekten erfolgt die chemische Filtration normalerweise auf zwei Arten: Erstens ist im FFU-Zirkulationsabschnitt eine chemische Adsorptionsschicht integriert, und zweitens ist der lokale Luftversorgungsabschnitt am Geräteende mit chemischen Filtern ausgestattet. Ersteres konzentriert sich auf die AMC-Steuerung der Raumzirkulationsluft, während sich letzteres auf den Gasschutz von Mikroumgebungen wie EFEM, Lufteinlässen von Lithographiegeräten oder Wafer-Lagerschränken konzentriert. Aili Industrial kann chemische Filterung in FFU-Form anbieten und dabei eine chemische Adsorptionsschicht und HEPA/ULPA-Partikelfiltration integrieren. Die Struktur, die zuerst aus Chemikalien und dann aus Partikeln besteht, eignet sich für Bereiche mit AMC-Kontrollanforderungen. Der kompakte Aufbau der Geräte lässt sich je nach Platzbedarf und Luftvolumen individuell anpassen. Bezüglich der Datenanforderungen für den geräteseitigen Lufteinlass siehe bitteWelche Felddaten werden für die chemische Filterung des Lufteinlasses von Lithographiegeräten benötigt?。

Anpassungsfähigkeit für Ersatz- und Renovierungsprojekte

Der Austausch importierter Filterelemente oder Filterelemente anderer Marken in bestehenden Systemen ist eine häufige Anforderung bei der Anpassung industrieller Chemiefilter von Aili. Diese Art von Projekt erfordert nicht unbedingt den Austausch des Gehäuses oder Lüfters, es muss jedoch auf die ursprüngliche Schnittstellengröße, die Dichtungsposition und die Medienanforderungen überprüft werden. Kastenförmige, flache und V-förmige Produkte haben unterschiedliche Strukturformen. Beim Austausch können der ursprüngliche Rahmenstatus und die Luftstromrichtung bestätigt werden. Wenn das ursprüngliche System Rahmenverformungen oder Dichtungsprobleme aufwies, werden diese ebenfalls bewertet. Informationen zu Überprüfungsmethoden mit Markenersatz finden Sie unterWie kann bei einem Wechsel der chemischen Filtermarke sichergestellt werden, dass das Ersatzmodell verwendet werden kann?。

Multigas- und Industrieanwendungsszenarien

Gasobjekte in verschiedenen Branchen variieren stark. Bei der Unterstützung werden sie normalerweise nach der Zutatenliste gruppiert und nicht nach einer Reihe von Konfigurationen, die alle Szenarien abdecken. Halbleiter-AMC-Projekte können sich auf Säuren, Laugen, organische Stoffe und Siloxane konzentrieren; Die Frischluft in Reinräumen kann von externen sauren Gasen und organischen Emissionen dominiert werden. Die Mikroumgebung auf der Geräteseite muss mit bestimmten prozessempfindlichen Objekten kombiniert werden. Aili Industry kann Produktauswahlpakete für die chemische Filtration in Kasten-, Flach- und V-Form anbieten. Die Produktserie kann besichtigt werdenChemische Filter-Produktserie , kastenförmige MAU-Anpassung finden Sie unterChemischer MAU-Kastenfilter . Die Reihenfolge und Beständigkeit von Mehrgaskombinationen können bereits im Rahmen der Supportphase überprüft und abweichende Abläufe entsprechend den Projektbedingungen angepasst werden.

Grenzen der unterstützenden Fähigkeiten

Die Abdeckung der Produktpalette und Fertigungskapazitäten können die Schnittstelle überbrücken, sind jedoch kein Ersatz für Zielgase und die Demonstration von Feldoperationen. Die industrielle Fertigung von Aili umfasst die unabhängige Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von Motoren und Lüftern, Steuerungssystemen, Blechen, Luftfiltern und der kompletten Maschinenmontage. Dies bedeutet, dass der Widerstand des Filterabschnitts, die Betriebspunkte des Lüfters und die Rahmenstrukturen im selben Paket überprüft werden können, wodurch Informationsbruchpunkte beim herstellerübergreifenden Andocken reduziert werden. Der spezifische Gaseffekt, die anwendbare Umgebung und der Austauschzyklus müssen jedoch noch anhand der entsprechenden Konfigurationsdaten und Arbeitsbedingungen vor Ort überprüft werden. Die tatsächlichen Ergebnisse unterliegen der Leckerkennung und den Gaserkennungsergebnissen vor Ort.

Verwandte Fragen und Antworten

Können MAU- und FFU-Projekte dasselbe chemische Filterelement verwenden?
unsicher. Luftvolumen, Einbauraum und Luftströmungsrichtung sind unterschiedlich, Filterelementgröße, Oberflächengeschwindigkeit und Bauform müssen separat geprüft werden. Die Medientypen mögen ähnlich sein, die Produktformate unterscheiden sich jedoch meist.

Kann Aili Industrial nur Filterelemente ohne passende Lüfter liefern?
Dürfen. Das Filterelement, die Box und das komplette Maschinenpaket können je nach Projektumfang ausgewählt werden. Beim Austausch einer bestehenden Anlage müssen Sie in der Regel nur das Filterelement entsprechend den Schnittstellen- und Medienanforderungen überprüfen.

Wie lässt sich beurteilen, ob ein Projekt für den Kastentyp oder den V-Typ geeignet ist?
Bezogen auf Luftvolumen, verfügbaren Platz, Widerstandsspielraum und Wartungszugang. Der Widerstand, die Kapazität und die Austauschmethoden der beiden Strukturen sollten bei gleichem Gasziel und gleichem Luftvolumen verglichen werden.

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