FOUP 保管エリアでは、外部入力、材料のガス放出、および操作プロセスに注意を払い、ウェーハ、コンテナ、および機器の特定の要件に従って分子汚染を評価する必要があります。 室内粒子が適格であることや、特有の臭気がないことは、当該ガス調査の代替として使用することはできません。 FOUP の内部は微小環境であり、室内のデータではそれを表現できません。

まず、どの空気境界が評価されているかを明確にします

FOUP 保管エリアの分子汚染の評価は、境界が曖昧になる傾向があります。室内の空気、保管庫内の空気、FOUP ボックス内の空気は 3 つの異なる状態です。部屋の認定された粒子清浄度は、部屋内の粒子レベルのみを示すことができます。 FOUP ボックスが分子汚染の影響を受けるかどうかは、ボックスの密閉状態、ボックスの開封操作、キャビネット内の循環、ウェーハ自体の滞留時間によって決まります。評価前に保護対象がウエハ表面なのか、ボックス内の環境なのか、筐体内の空気なのかを明確にし、検出ポイントを決定する必要があります。微環境と室内条件の違いについては、こちらをご参照ください。ガス状汚染物がウェーハ搬送領域に侵入するのをどのように防ぐべきでしょうか?。

外部入力と内部ガス放出は個別にチェックする必要があります。

FOUP 保管エリアの分子汚染源は、外部からの流入と内部からのガス放出の 2 つのカテゴリに大別できます。 外部入力には、隣接するプロセスエリアの酸性およびアルカリ性ガス、洗浄エリアの揮発性物質、ドアや物流経路の開放によって持ち込まれる空気が含まれます。内部ガスの発生は、FOUP 本体の材質、ウェーハボックスの内張り、保管キャビネットのシール、および洗浄残留物から発生します。 2 種類のソースの制御位置は異なります。外部入力はドア領域の圧力差、緩衝および入口濾過に依存し、内部空気の放出はキャビネット内の循環濾過と材料管理に依存します。発生源を区別しなければ、キャビネット内の循環フィルタエレメントを頻繁に交換することは容易ですが、それでもドアを開けた瞬間の入力の問題を解決することはできません。

評価対象はウエハプロセスに従う必要があります

プロセスノードや製品が異なれば、分子汚染に対する感度も異なり、一般的なリストではすべての FOUP 保管エリアを網羅することはできません。 リソグラフィー関連分野ではアルカリ性ガスがより懸念され、ウェットプロセスでは酸性成分が懸念され、金属層や特殊な材料も有機成分やシロキサンに敏感な場合があります。評価する際には、単に総 TVOC を測定するのではなく、保管エリア サービスのプロセス ステップ、ウェーハ材料、および装置要件を組み合わせて主要なガス オブジェクトをリストする必要があります。アルカリガスに敏感なターゲットの測定に関する方法については、を参照してください。フォトレジストがアルカリ性ガスに敏感な場合、濾過ターゲットはどのように決定すればよいですか?。

検出ポイントと期間は実際の運用をカバーする必要がある

FOUP 保管エリアの汚染レベルは、ドアの開閉、アクセス、清掃作業によって変動するため、静的なバックグラウンド データだけでは問題を説明するのに十分ではありません。 検出ポイントは、キャビネットの内部、キャビネットのドアおよびその隣接領域をカバーする必要があり、期間は、アクセスのためのドアの開放、清掃後の保管、長期の休止などのさまざまな状態をカバーする必要があります。誰も操作していないときにのみサンプリングすると、短期間のピーク値を見逃してしまう可能性があります。 FOUP ボックスの中を見ずにキャビネット内の空気だけを測定すると、ウェーハの実際の接触状態を過小評価する可能性があります。サンプリング方法も対象ガスに対応する必要があり、臭気や粒子数だけからは推測できません。サンプリング期間の配置については、を参照してください。電源を入れた時だけ独特の匂いがします。ガスはいつ測定する必要がありますか?。

Aili産業支援装置

FOUP保管などの微小環境プロジェクトの場合、通常、保護境界がキャビネット内の空気なのか、ボックス内の環境なのかをお客様と確認し、フィルターセクションをキャビネットの循環位置、入口位置、局所給気位置のいずれに配置するかを決定します。アイリ工業では、ボックスタイプ、平板タイプ、Vタイプの化学ろ過製品の選択パッケージを提供できます。ボックスタイプのMAUパッケージについては、こちらをご覧ください。MAUボックス型ケミカルフィルター、製品シリーズをご覧いただけますケミカルフィルターの製品ラインナップ。装置側のアプリケーションでは、化学吸着層とHEPA/ULPA粒子濾過を統合した化学濾過FFUの形式を採用できます。化学第一粒子構造は、AMC 制御が必要な微小環境に適しています。コンパクトなフィルタエレメントは、キャビネットスペースや循環風量に応じて標準以外にも適応できます。 V 字型構造により、限られたスペースで大きなろ過面積が得られ、表面速度と抵抗の制御に役立ちます。製造エンドには、モーター、ファン、制御システム、板金、完全な機械アセンブリが含まれます。フィルターセクションとキャビネット循環ファン間のインターフェースを同一パッケージ内に配置できます。特定のガスの影響、適用環境、および交換サイクルは、対応する構成データと現場の作業条件に基づいて検証する必要があります。実際の結果は、現場での漏れ検知およびガス検知の結果に左右されます。

関連する質問と回答

室内の粒子が適格である場合でも、FOUP ボックスの分子汚染を評価する必要がありますか?
必要。粒子汚染と分子汚染は 2 つの異なる指標です。室内に認定された粒子があるからといって、ボックス内のガスがウェーハの要件を満たしていることを意味するものではありません。ボックス内の微環境の気密性と材料のガス放出は個別に評価する必要があります。

FOUP 保管エリアではどのガスの評価に重点が置かれますか?
処理ステップと使用するウェーハ材料に応じて、一般的に懸念される領域には、アルカリ性ガス、酸性ガス、有機成分が含まれます。主要なオブジェクトは、単に総量を測定するのではなく、プロセス要件と併せてリストする必要があります。

Aili Industrial は FOUP 保管エリアのフィルタリングと選択を支援できますか?
保管庫の構造、循環風量、対象ガスに合わせてフィルター部の位置や製品形状を確認でき、コンパクトなスペースにも規格外の対応が可能です。具体的な構成については、製品情報や現場の状況に応じて確認する必要があります。

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