В зонах хранения FOUP следует оценивать молекулярное загрязнение в соответствии с конкретными требованиями к пластинам, контейнерам и оборудованию, уделяя внимание внешним воздействиям, выделению газов и рабочим процессам. Тот факт, что частицы в помещении квалифицированы или нет специфического запаха, не может использоваться вместо соответствующего исследования газа. Внутренняя часть FOUP представляет собой микросреду, и данные в комнате не могут ее отобразить.

Сначала проясните, какая воздушная граница оценивается.

Оценка молекулярного загрязнения в зонах хранения FOUP склонна к неоднозначности на границах. Воздух в помещении, воздух внутри шкафа для хранения и воздух внутри коробки FOUP — это три разных набора условий. Квалифицированная очистка помещения от частиц может указывать только на уровень частиц в помещении; подвергается ли коробка FOUP молекулярному загрязнению, зависит от состояния герметичности коробки, операции открытия коробки, циркуляции в камере и времени пребывания самой пластины. Перед оценкой необходимо выяснить, является ли объектом защиты поверхность пластины, окружающая среда внутри коробки или воздух в шкафу, а затем определить точку обнаружения. О разнице между микросредой и условиями в помещении см.Как предотвратить попадание газовых загрязнений в зону переноса пластин?。

Внешний ввод и внутренняя дегазация должны проверяться отдельно.

Источники молекулярного загрязнения в зоне хранения ФОУП можно условно разделить на две категории: внешний приток и внутренняя дегазация. Внешние поступления включают кислотные и щелочные газы в прилегающих технологических зонах, летучие вещества в зоне очистки и воздух, попадающий через открытые двери и логистические каналы; Внутренняя дегазация происходит из-за материала корпуса FOUP, облицовки вафельной коробки, уплотнений шкафа хранения и остатков чистящих средств. Положения управления двух типов источников различны: внешний вход зависит от разницы давлений в зоне двери, буферизации и фильтрации на входе, а внутренний выпуск воздуха зависит от фильтрации циркуляции внутри шкафа и управления материалами. Не различая источник, легко часто менять циркуляционный фильтрующий элемент в шкафу, но это все равно не может решить проблему ввода в момент открытия двери.

Объект оценки должен следовать процессу пластины.

На разных технологических узлах и продуктах имеются разные чувствительные к молекулярному загрязнению объекты, и общий список не может охватить все зоны хранения ФОУП. Области, связанные с литографией, могут быть более обеспокоены щелочными газами, влажные процессы могут быть связаны с кислотными компонентами, а металлические слои или специальные материалы также могут быть чувствительны к органическим компонентам и силоксанам. При оценке этапы процесса, требования к материалам пластин и оборудованию службы зоны хранения следует объединить для составления списка ключевых газовых объектов, а не просто измерять общее количество летучих органических соединений. Информацию о методах определения чувствительных к щелочным газам целей см.Как определить цель фильтрации, если фоторезист чувствителен к щелочным газам?。

Точки обнаружения и периоды времени должны охватывать фактические операции.

Уровень загрязнения в зоне хранения ФОУП колеблется в зависимости от открытия дверей, доступа и операций по уборке, и статических фоновых данных недостаточно для объяснения проблемы. Точки обнаружения должны охватывать внутреннюю часть шкафа, дверь шкафа и прилегающие зоны, а период времени должен охватывать различные состояния, такие как открытие двери для доступа, хранение после очистки и длительный отдых. Если вы осуществляете отбор проб только тогда, когда никто не работает, вы можете пропустить краткосрочные пиковые значения; Если вы измеряете только воздух в шкафу, не заглядывая внутрь коробки FOUP, вы можете недооценить фактические условия контакта пластины. Метод отбора проб также должен соответствовать целевому газу и не может быть основан только на запахе или количестве частиц. Для определения периодов отбора проб см.Появился специфический запах только при включении машины. В какое время следует измерять газ?。

Промышленное вспомогательное оборудование Aili

Для проектов микросреды, таких как хранилище FOUP, мы обычно уточняем у клиента, является ли границей защиты воздух в шкафу или окружающая среда в коробке, а затем определяем, следует ли разместить секцию фильтра в положении циркуляции, входа или местной подачи воздуха в шкафу. Aili Industry может предоставить комплекты для химической фильтрации коробчатого, плоского и V-типа. Информацию о коробчатых упаковках MAU см.Химический фильтр коробчатого типа MAU , можно просмотреть серию продуктовАссортимент химических фильтров . Приложения на стороне оборудования могут принимать форму химической фильтрации FFU, объединяющей слой химической адсорбции и фильтрацию частиц HEPA/ULPA. Структура химической первой частицы подходит для микросред, требующих контроля AMC. Компактный фильтрующий элемент можно нестандартно адаптировать в зависимости от пространства шкафа и объема циркулирующего воздуха. V-образная структура обеспечивает большую площадь фильтрации в ограниченном пространстве, помогая контролировать скорость и сопротивление поверхности. Производство охватывает двигатели, вентиляторы, системы управления, листовой металл и полную сборку машин. Интерфейсы между фильтрующей секцией и циркуляционным вентилятором шкафа могут быть объединены в одном корпусе. Конкретное воздействие газа, применимая среда и цикл замены все еще необходимо проверять на основе соответствующих данных конфигурации и условий работы на месте. Фактические результаты зависят от результатов обнаружения утечек и газа на месте.

Связанные вопросы и ответы

Если частицы в помещении соответствуют критериям, нужно ли еще оценивать молекулярное загрязнение в боксе FOUP?
нуждаться. Частичное и молекулярное загрязнение — два разных показателя. Наличие квалифицированных частиц в помещении не означает, что газ в коробке соответствует требованиям к пластинам. Герметичность микросреды внутри коробки и газовыделение материала необходимо оценивать индивидуально.

На оценке каких газов будет сосредоточено хранилище ФОУП?
В зависимости от этапа процесса и используемого материала пластины, наиболее распространенными областями, вызывающими беспокойство, являются щелочные газы, кислотные газы и органические компоненты. Ключевые объекты следует перечислять вместе с требованиями процесса, а не просто измерять общую сумму.

Может ли Aili Industrial помочь в фильтрации и выборе мест хранения FOUP?
Расположение фильтрующей секции и форму изделия можно проверить на основе конструкции шкафа хранения, объема циркулирующего воздуха и целевого газа, а компактное пространство можно адаптировать нестандартным образом. Конкретную конфигурацию необходимо подтвердить на основе информации о продукте и условий на месте.

Похожие статьи

• Как выбрать химические фильтры для вафельных шкафов?

• Можно ли контролировать остаточную дегазацию после очистки кассеты с пластинами с помощью фильтрации окружающей среды?

• Требует ли среда хранения масок химической фильтрации?

• Насколько химическая фильтрация приточного воздуха EFEM соответствует требованиям чистоты оборудования?

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле