Как определить цель фильтрации, если фоторезист чувствителен к щелочным газам?

Если фоторезист чувствителен к щелочным газам, цель фильтрации следует определять на основе конкретного процесса фотолитографии, требований к материалам и оборудованию. Общие стандарты дезодорации или какие-то универсальные значения АМС не могут напрямую рассматриваться как требования для всей области фотолитографии. Существует четкий химический механизм воздействия щелочного газа на фоторезист, и цели фильтрации должны определяться с учетом этого механизма и чувствительности процесса.

1. Уточнить чувствительные объекты и калибры обнаружения.

Необходимо отличить аммиак, амин и другие родственные компоненты, а также подтвердить единицу концентрации, время отбора проб и возможность обнаружения метода. Только описания общего количества или запаха обычно недостаточно для установления целей контроля.

Система химического усиления фоторезиста чувствительна к щелочным веществам. Аммиак и амины нейтрализуют фотокислоту в фоторезисте и влияют на точность рисунка. Разные компоненты имеют разную степень влияния. При тестировании необходимо подтвердить конкретные концентрации аммиака и аминов по отдельности, а не просто сообщать общее количество летучих органических соединений. Айли Индустрияхимического фильтра подтвердите конфигурацию среды в соответствии с целевым газом.При выборе Химический фильтр FFU можно использовать с FFU для очистки циркулирующего воздуха в зоне фотолитографии. Взаимосвязь между уровнями и требованиями фильтрации можно найти вСравнение уровня чистоты ISO。

2. Назначьте цели фактическим местам защиты.

Свежий воздух, циркуляция в помещении и микросреда оборудования имеют разные обязанности, и следует изучить входные данные и внутренние выбросы. Тот факт, что выход фильтрующего элемента соответствует определенным требованиям, не обязательно означает, что место, где используется фоторезист, защищено.

Щелочной газ в зоне фотолитографии может поступать из свежего воздуха, самого фоторезиста, чистящих материалов и окружающих процессов. Очистка свежего воздуха, циркуляция в помещении и внутренняя фильтрация оборудования отвечают за разные области применения. Точку приемки следует устанавливать в фактическом месте использования фоторезиста, а не просто проверять выходное отверстие фильтра. Айли ИндустрияПакет химических фильтров коробчатого типа настроен в соответствии с очисткой свежего воздуха MAU.Химические фильтры V-типа подходят для фильтрующих секций с ограниченным пространством. Соответствие между положениями управления газом и защитными положениями см.HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору。

3. Примеры оценки проекта

Прежде чем использовать новые чистящие материалы, проверьте соответствующие щелочные компоненты и организуйте репрезентативную проверку воздуха в зоне, где используется фоторезист.

Внедрение новых материалов может привести к появлению новых источников щелочных газов. Подтверждение ингредиентов перед импортом и их тестирование в месте фактического использования более значимо, чем последующее тестирование их на выходе из фильтрующего элемента.

4. Контрольные точки приложения

5. Проверка и последующее использование

Технологические зоны, входы к оборудованию и защищенные помещения могут иметь разные условия воздуха. Вокруг места фактического использования продукта или оборудования должны быть установлены точки контроля, и следует вести записи о нормальной работе. Фильтрация окружающей среды может работать с источниками, материалами и потоками воздуха, но не может автоматически покрывать загрязнения в нефильтруемых секциях.

Айли Индустрияхимического фильтра подтвердите конфигурацию среды в соответствии с целевым щелочным компонентом.На плане зоны фотолитографии Плоские химические фильтры подходят для оборудования или в условиях ограниченного пространства. Конкретный эффект зависит от проверки на месте использования фоторезиста.

6. Похожие вопросы и ответы

Можно ли использовать общие стандарты дезодорации щелочных газов в области фотолитографии?
недостаточно. Целевые концентрации необходимо определить для конкретных компонентов, таких как аммиак и амины. Общие стандарты дезодорации не могут заменить индикаторы защиты процесса.

Может ли измерение только общего количества летучих органических соединений определить эффект контроля щелочного газа?
не могу. TVOC является комплексным индикатором, который не может отражать конкретные концентрации аммиака и аминов и требует специального тестирования.

Означает ли соответствие вывода фильтрующего элемента стандарту, что расположение фоторезиста безопасно?
неопределенный. Между выходом фильтрующего элемента и местом использования фоторезиста может быть внутренний разъединитель, поэтому точку приемки следует установить в защищенном положении.

7. Статьи по теме

Серия химических фильтров

Химический фильтр ФФУ

Коробчатый химический фильтр

HEPA: часто задаваемые вопросы и руководство по выбору

8. Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

9. Aili Промышленная продукция и оборудование, вспомогательное оборудование

Aili Industry предоставляет химические фильтры и комплекты оборудования для подачи чистого воздуха. Он может сравнивать изделия FFU-упаковки, коробчатого типа, плоского типа и V-образной формы по составу газа, объему обрабатываемого воздуха и условиям установки. Система производства и поддержки охватывает независимые исследования, разработки и производство двигателей и вентиляторов, систем управления, листового металла, воздушных фильтров и полной сборки оборудования, что позволяет легко совместно проверять секцию фильтра, мощность и состояние конструкции. Удельное газовое воздействие, экологическая пригодность и срок службы все еще требуют проверки на основе соответствующих данных конфигурации и реальных условий работы.

учитьсяСерия химических фильтров . Проверьте соответствие продуктов и подачи воздуха условиям проекта. Уточнить цель → Проверить условия → Проверить эффект → Организовать техническое обслуживание.