¿Cómo se debe determinar el objetivo de filtración cuando el fotorresistente es sensible a los gases alcalinos?

Cuando el fotorresistente es sensible a los gases alcalinos, el objetivo de filtración debe determinarse en función del proceso de fotolitografía, los requisitos de material y equipo específicos. Los estándares generales de desodorización o algunos valores universales de AMC no pueden considerarse directamente requisitos para toda el área de fotolitografía. Existe un mecanismo químico claro para el efecto del gas alcalino sobre el fotorresistente, y los objetivos de filtración deben determinarse en torno a este mecanismo y la sensibilidad del proceso.

1. Aclarar objetos sensibles y calibres de detección.

Es necesario distinguir el amoníaco, la amina y otros componentes relacionados y confirmar la unidad de concentración, el tiempo de muestreo y la capacidad de detección del método. Por lo general, sólo la cantidad total o la descripción del olor son insuficientes para establecer los objetivos de control.

El sistema de amplificación química del fotoprotector es sensible a sustancias alcalinas. El amoníaco y las aminas neutralizarán el fotoácido en el fotoprotector y afectarán la precisión del patrón. Los diferentes componentes tienen diferentes grados de influencia. Al realizar pruebas, es necesario confirmar las concentraciones específicas de amoníaco y aminas por separado, en lugar de simplemente informar una cantidad total de TVOC. La industria Aili esun filtro químico, confirme la configuración del medio según el gas objetivo.Al seleccionar El filtro químico FFU se puede utilizar con FFU para el tratamiento de aire circulante en el área de fotolitografía. La relación entre los niveles y los requisitos de filtrado se puede encontrar enComparación del nivel de limpieza ISO。

2. Asignar objetivos a ubicaciones de protección reales.

El aire fresco, la circulación de la habitación y los microambientes de los equipos tienen diferentes responsabilidades y se deben investigar las entradas versus las emisiones internas. El hecho de que la salida del elemento filtrante cumpla con ciertos requisitos no significa necesariamente que el lugar donde se utiliza el fotoprotector esté protegido.

El gas alcalino en el área de fotolitografía puede provenir del aire fresco, del propio fotoprotector, de materiales de limpieza y de procesos circundantes. El tratamiento del aire fresco, la circulación de la habitación y la filtración interna de los equipos son responsables de diferentes ámbitos. El punto de aceptación debe establecerse en el lugar real donde se utiliza el fotoprotector, en lugar de simplemente probar la salida del filtro. La industria Aili esEl paquete de filtro químico tipo caja está configurado de acuerdo con el tratamiento de aire fresco de MAU.Los filtros químicos tipo V son adecuados para secciones de filtrado con espacio limitado. Para conocer la correspondencia entre las posiciones de control de gas y protección, consultePreguntas frecuentes sobre HEPA y guía de selección。

3. Ejemplos de juicio de proyecto

Antes de introducir nuevos materiales de limpieza, verifique los componentes alcalinos relevantes y organice una verificación de aire representativa en el área donde se utiliza el fotoprotector.

La introducción de nuevos materiales puede traer nuevas fuentes de gases alcalinos. Confirmar los ingredientes antes de importarlos y probarlos en el lugar de uso real es más significativo que probarlos después en la salida del elemento filtrante.

4. Puntos de control de la solicitud

5. Verificación y uso posterior

Las áreas de proceso, las entradas de equipos y los lugares protegidos pueden tener diferentes condiciones de aire. Se deben establecer puntos de inspección alrededor de la ubicación de uso real del producto o equipo, y se deben mantener registros de operación normal. La filtración ambiental puede funcionar con medidas de fuente, material y flujo de aire, pero no puede cubrir automáticamente la contaminación en secciones no filtradas.

La industria Aili esdel filtro químico , confirme la configuración del medio según el componente alcalino objetivo.En el plano del área de fotolitografía Los filtros químicos planos son adecuados para equipos o escenarios con espacio limitado. El efecto específico está sujeto a la inspección in situ del lugar donde se utiliza el fotoprotector.

6. Preguntas y respuestas relacionadas

¿Está bien utilizar estándares generales de desodorización para gases alcalinos en el área de fotolitografía?
no es suficiente. Es necesario determinar objetivos de concentración para componentes específicos como el amoníaco y las aminas. Los estándares generales de desodorización no pueden reemplazar los indicadores de protección de procesos.

¿Puede medir únicamente la cantidad total de TVOC determinar el efecto de control del gas alcalino?
no puedo. TVOC es un indicador integral que no puede reflejar las concentraciones específicas de amoníaco y aminas y requiere pruebas especiales.

¿El hecho de que la salida del elemento filtrante cumpla con el estándar significa que la ubicación del fotorresistente es segura?
incierto. Puede haber una liberación interna entre la salida del elemento filtrante y el lugar donde se usa el fotorresistente, y el punto de aceptación debe establecerse en una posición protegida.

7. Artículos relacionados

Serie de productos de filtros químicos.

Filtro químico FFU

Filtro químico de caja

Preguntas frecuentes sobre HEPA y guía de selección

8. Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

9. Productos y equipos de soporte de equipos industriales de Aili.

Aili Industry ofrece filtros químicos y paquetes de selección de equipos de suministro de aire limpio. Puede comparar productos en paquete FFU, tipo caja, tipo plano y en forma de V según la composición del gas, el volumen de aire de tratamiento y las condiciones de instalación. El sistema de fabricación y soporte cubre la investigación, el desarrollo y la producción independientes de motores y ventiladores, sistemas de control, láminas de metal, filtros de aire y ensamblaje completo de la máquina, lo que facilita la confirmación conjunta de la sección del filtro, la potencia y las condiciones estructurales. Aún es necesario verificar el efecto específico del gas, la idoneidad ambiental y la vida útil en función de los datos de configuración correspondientes y las condiciones de trabajo reales.

aprenderSerie de productos de filtros químicos , verifique que los productos y el suministro de aire coincidan según las condiciones del proyecto. Aclarar el objetivo → Verificar las condiciones → Verificar el efecto → Organizar el mantenimiento.