Comment déterminer l’objectif de filtration lorsque la résine photosensible est sensible aux gaz alcalins ?

Lorsque la résine photosensible est sensible aux gaz alcalins, la cible de filtration doit être déterminée en fonction des exigences spécifiques du processus de photolithographie, du matériel et de l'équipement. Les normes générales de désodorisation ou certaines valeurs AMC universelles ne peuvent pas être directement considérées comme des exigences pour l'ensemble du domaine de la photolithographie. Il existe un mécanisme chimique clair pour l’effet du gaz alcalin sur la résine photosensible, et les objectifs de filtration doivent être déterminés en fonction de ce mécanisme et de la sensibilité du processus.

1. Clarifier les objets sensibles et les calibres de détection

Il est nécessaire de distinguer l'ammoniac, l'amine et d'autres composants associés, et de confirmer l'unité de concentration, le temps d'échantillonnage et la capacité de détection de la méthode. Seule la description de la quantité totale ou de l'odeur ne suffit généralement pas pour établir des objectifs de contrôle.

Le système d’amplification chimique de la résine photosensible est sensible aux substances alcalines. L'ammoniac et les amines neutraliseront le photoacide présent dans la résine photosensible et affecteront la précision du motif. Différents composants ont différents degrés d’influence. Lors des tests, vous devez confirmer les concentrations spécifiques d’ammoniac et d’amines séparément, plutôt que de simplement déclarer la quantité totale de COVT. L'industrie Aili estd'un filtre chimique, confirmez la configuration du média en fonction du gaz cible.Lors de la sélection Le filtre chimique FFU peut être utilisé avec FFU pour le traitement de l'air en circulation dans la zone de photolithographie. La relation entre les niveaux et les exigences de filtrage peut être trouvée dansComparaison du niveau de propreté ISO。

2. Attribuez des cibles aux emplacements de protection réels

L'air frais, la circulation de la pièce et les microenvironnements des équipements ont des responsabilités différentes et les apports par rapport aux rejets internes doivent être étudiés. Ce n'est pas parce que la sortie de l'élément filtrant répond à certaines exigences que l'endroit où la résine photosensible est utilisée est protégé.

Le gaz alcalin présent dans la zone de photolithographie peut provenir de l'air frais, de la résine photosensible elle-même, des matériaux de nettoyage et des processus environnants. Le traitement de l'air neuf, la circulation des locaux et la filtration interne des équipements sont chacun responsables de domaines d'application différents. Le point d'acceptation doit être défini à l'emplacement réel où la résine photosensible est utilisée, plutôt que de simplement tester la sortie du filtre. L'industrie Aili estL'ensemble de filtres chimiques de type boîte est configuré selon le traitement de l'air frais MAU.Les filtres chimiques de type V conviennent aux sections de filtre avec un espace limité. Pour la correspondance entre les positions de contrôle du gaz et de protection, veuillez vous référer àFAQ HEPA et guide de sélection。

3. Exemples de jugement de projet

Avant d'introduire de nouveaux produits de nettoyage, vérifiez les composants alcalins pertinents et organisez une vérification représentative de l'air dans la zone où la résine photosensible est utilisée.

L'introduction de nouveaux matériaux peut apporter de nouvelles sources de gaz alcalins. Il est plus utile de confirmer les ingrédients avant de les importer et de les tester sur le lieu d'utilisation réel que de les tester ensuite à la sortie de l'élément filtrant.

4. Points de contrôle de l'application

5. Vérification et utilisation ultérieure

Les zones de traitement, les entrées d'équipement et les emplacements protégés peuvent avoir des conditions d'air différentes. Des points d'inspection doivent être installés autour du lieu d'utilisation réel du produit ou de l'équipement, et des enregistrements de fonctionnement normal doivent être conservés. La filtration environnementale peut fonctionner avec des mesures de source, de matériau et de débit d'air, mais ne peut pas couvrir automatiquement la contamination dans les sections non filtrées.

L'industrie Aili estdu filtre chimique , confirmez la configuration du support en fonction du composant alcalin cible.Dans le plan de la zone de photolithographie Les filtres chimiques plats conviennent aux équipements ou aux scénarios où l'espace est limité. L'effet spécifique est soumis à une inspection sur place de l'endroit où la résine photosensible est utilisée.

6. Questions et réponses connexes

Est-il acceptable d'utiliser des normes générales de désodorisation pour les gaz alcalins dans la zone de photolithographie ?
pas assez. Les objectifs de concentration doivent être déterminés pour des composants spécifiques tels que l'ammoniac et les amines. Les normes générales de désodorisation ne peuvent pas remplacer les indicateurs de protection des processus.

La mesure uniquement de la quantité totale de COVT peut-elle déterminer l’effet de contrôle des gaz alcalins ?
ne peut pas. Les COVT sont un indicateur complet qui ne peut pas refléter les concentrations spécifiques d'ammoniac et d'amines et nécessite des tests spéciaux.

Le fait que la sortie de l'élément filtrant soit conforme à la norme signifie-t-il que l'emplacement de la résine photosensible est sûr ?
incertain. Il peut y avoir un dégagement interne entre la sortie de l'élément filtrant et l'emplacement où la résine photosensible est utilisée, et le point d'acceptation doit être placé dans une position protégée.

7. Articles connexes

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Filtre chimique FFU

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FAQ HEPA et guide de sélection

8. Points clés pour le contrôle de sélection et d'acceptation

9. Produits et équipements industriels Aili

Aili Industry propose des filtres chimiques et des packages de sélection d'équipements d'alimentation en air pur. Il peut comparer les produits en emballage FFU, en type de boîte, de type plat et en forme de V en fonction de la composition du gaz, du volume d'air de traitement et des conditions d'installation. Le système de fabrication et de support couvre la recherche, le développement et la production indépendants de moteurs et de ventilateurs, de systèmes de contrôle, de tôles, de filtres à air et d'assemblages complets de machines, ce qui facilite la confirmation conjointe de la section du filtre, de la puissance et des conditions structurelles. L'effet spécifique du gaz, l'adéquation environnementale et la durée de vie doivent encore être vérifiés sur la base des données de configuration correspondantes et des conditions de travail réelles.

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