Các khu vực lưu trữ FOUP nên đánh giá mức độ ô nhiễm phân tử theo các yêu cầu cụ thể của tấm bán dẫn, thùng chứa và thiết bị, chú ý đến đầu vào bên ngoài, quá trình thoát khí của vật liệu và quy trình vận hành. Thực tế là các hạt trong phòng đủ tiêu chuẩn hoặc không có mùi đặc biệt không thể được sử dụng để thay thế cho việc điều tra khí liên quan. Bên trong FOUP là một môi trường vi mô và dữ liệu trong phòng không thể đại diện cho nó.

Trước tiên hãy làm rõ ranh giới không khí nào đang được đánh giá

Việc đánh giá mức độ ô nhiễm phân tử trong khu vực lưu trữ FOUP dễ bị mơ hồ ở ranh giới. Không khí trong phòng, không khí bên trong tủ bảo quản và không khí bên trong hộp FOUP là ba nhóm điều kiện khác nhau. Độ sạch hạt đủ tiêu chuẩn của phòng chỉ có thể cho biết mức độ hạt trong phòng; Hộp FOUP có bị ảnh hưởng bởi ô nhiễm phân tử hay không phụ thuộc vào trạng thái niêm phong của hộp, thao tác mở hộp, sự lưu thông trong tủ và thời gian lưu trú của bản thân tấm bán dẫn. Trước khi đánh giá, cần làm rõ đối tượng bảo vệ là bề mặt wafer, môi trường bên trong hộp hay không khí trong tủ, sau đó quyết định điểm phát hiện. Về sự khác biệt giữa môi trường vi mô và điều kiện phòng, vui lòng tham khảoLàm thế nào để ngăn chặn ô nhiễm khí xâm nhập vào khu vực chuyển wafer?。

Đầu vào bên ngoài và lượng khí thoát ra bên trong phải được kiểm tra riêng biệt.

Các nguồn ô nhiễm phân tử trong khu vực lưu trữ FOUP có thể được chia đại khái thành hai loại: đầu vào bên ngoài và thoát khí bên trong. Đầu vào bên ngoài bao gồm các khí có tính axit và kiềm ở các khu vực xử lý lân cận, các chất dễ bay hơi trong khu vực làm sạch và không khí được đưa vào bằng cách mở cửa và các kênh hậu cần; Khí thoát ra bên trong đến từ vật liệu thân FOUP, lớp lót hộp bán dẫn, vòng đệm tủ bảo quản và cặn tẩy rửa. Vị trí điều khiển của hai loại nguồn là khác nhau: đầu vào bên ngoài phụ thuộc vào chênh lệch áp suất khu vực cửa, bộ lọc đệm và đầu vào, còn việc thoát khí bên trong phụ thuộc vào quá trình lọc tuần hoàn trong tủ và quản lý vật liệu. Nếu không phân biệt được nguồn gốc thì dễ dàng thay lõi lọc tuần hoàn trong tủ thường xuyên nhưng vẫn không thể giải quyết được vấn đề đầu vào khi mở cửa.

Đối tượng đánh giá phải tuân theo quy trình wafer

Các nút quy trình và sản phẩm khác nhau có độ nhạy khác nhau đối với ô nhiễm phân tử và danh sách chung không thể bao gồm tất cả các khu vực lưu trữ FOUP. Các lĩnh vực liên quan đến in thạch bản có thể quan tâm nhiều hơn đến khí kiềm, quy trình ướt có thể quan tâm đến các thành phần axit và các lớp kim loại hoặc vật liệu đặc biệt cũng có thể nhạy cảm với các thành phần hữu cơ và siloxan. Khi đánh giá, các bước quy trình, vật liệu bán dẫn và yêu cầu thiết bị của dịch vụ khu vực lưu trữ phải được kết hợp để liệt kê các đối tượng khí chính, thay vì chỉ đo tổng TVOC. Đối với các phương pháp liên quan đến việc xác định các mục tiêu nhạy cảm với khí kiềm, vui lòng tham khảoLàm thế nào để xác định mục tiêu lọc khi chất quang dẫn nhạy cảm với khí kiềm?。

Điểm phát hiện và khoảng thời gian phải bao gồm các hoạt động thực tế

Mức độ ô nhiễm trong khu vực lưu trữ FOUP dao động khi mở cửa, tiếp cận và làm sạch các hoạt động, đồng thời dữ liệu nền tĩnh không đủ để giải thích vấn đề. Các điểm phát hiện phải bao phủ bên trong tủ, cửa tủ và các khu vực lân cận, đồng thời khoảng thời gian phải bao gồm các trạng thái khác nhau như mở cửa để tiếp cận, bảo quản sau khi vệ sinh và để yên lâu dài. Nếu bạn chỉ lấy mẫu khi không có ai vận hành, bạn có thể bỏ lỡ các giá trị đỉnh ngắn hạn; nếu bạn chỉ đo không khí trong tủ mà không nhìn vào bên trong hộp FOUP, bạn có thể đánh giá thấp điều kiện tiếp xúc thực tế của tấm bán dẫn. Phương pháp lấy mẫu cũng phải tương ứng với khí mục tiêu và không thể suy ra chỉ từ mùi hoặc số lượng hạt. Để sắp xếp các khoảng thời gian lấy mẫu, vui lòng tham khảoChỉ có mùi đặc biệt khi bật máy. Nên đo khí vào thời điểm nào?。

Thiết bị hỗ trợ công nghiệp Aili

Đối với các dự án môi trường vi mô như kho lưu trữ FOUP, chúng tôi thường xác nhận với khách hàng xem ranh giới bảo vệ là không khí trong tủ hay môi trường trong hộp, sau đó xác định xem nên đặt phần bộ lọc ở vị trí lưu thông tủ, lối vào hay vị trí cấp không khí cục bộ. Aili Industry có thể cung cấp các gói lựa chọn cho các sản phẩm lọc hóa học loại hộp, tấm phẳng và loại V. Đối với các gói MAU dạng hộp, vui lòng tham khảoBộ lọc hóa học loại hộp MAU , dòng sản phẩm có thể được xemDòng sản lọc hóa học phẩm Các ứng dụng phía thiết bị có thể áp dụng hình thức lọc hóa học FFU, tích hợp lớp hấp phụ hóa học và lọc hạt HEPA/ULPA. Cấu trúc hạt hóa học đầu tiên phù hợp với môi trường vi mô yêu cầu kiểm soát AMC. Phần tử lọc nhỏ gọn có thể được điều chỉnh không chuẩn theo không gian tủ và lượng không khí tuần hoàn. Cấu trúc hình chữ V cung cấp diện tích lọc lớn trong không gian hạn chế, giúp kiểm soát vận tốc và lực cản bề mặt. Đầu cuối sản xuất bao gồm động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Các giao diện giữa phần bộ lọc và quạt tuần hoàn trong tủ có thể được căn chỉnh trong cùng một gói. Hiệu ứng khí cụ thể, môi trường áp dụng và chu trình thay thế vẫn cần được xác minh dựa trên dữ liệu cấu hình tương ứng và điều kiện làm việc tại chỗ. Kết quả thực tế tùy thuộc vào kết quả phát hiện rò rỉ và phát hiện khí tại chỗ.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

Nếu các hạt trong phòng đủ tiêu chuẩn thì hộp FOUP vẫn cần được đánh giá về mức độ ô nhiễm phân tử phải không?
nhu cầu. Ô nhiễm hạt và phân tử là hai chỉ số khác nhau. Các hạt đủ tiêu chuẩn trong phòng không có nghĩa là khí trong hộp đáp ứng các yêu cầu về tấm bán dẫn. Độ kín của môi trường vi mô bên trong hộp và sự thoát khí của vật liệu cần phải được đánh giá riêng lẻ.

Khu vực lưu trữ FOUP sẽ tập trung đánh giá những loại khí nào?
Tùy thuộc vào bước quy trình và vật liệu wafer được phục vụ, các lĩnh vực quan tâm chung bao gồm khí kiềm, khí axit và các thành phần hữu cơ. Các đối tượng chính nên được liệt kê cùng với các yêu cầu của quy trình thay vì chỉ đo lường tổng số lượng.

Aili Industrial có thể hỗ trợ lọc và chọn khu vực lưu trữ FOUP không?
Vị trí phần bộ lọc và hình dạng sản phẩm có thể được kiểm tra dựa trên cấu trúc tủ lưu trữ, thể tích không khí tuần hoàn và khí mục tiêu, đồng thời không gian nhỏ gọn có thể được điều chỉnh theo cách không chuẩn. Cấu hình cụ thể cần được xác nhận dựa trên thông tin sản phẩm và điều kiện trang web.

Bài viết liên quan

• Làm thế nào để chọn bộ lọc hóa học cho tủ lưu trữ wafer?

• Có thể kiểm soát lượng khí thải còn sót lại sau khi làm sạch băng wafer bằng cách lọc môi trường không?

• Môi trường bảo quản khẩu trang có cần lọc hóa chất không?

• Lọc hóa học đầu vào không khí của EFEM tương ứng với yêu cầu về độ sạch của thiết bị như thế nào?

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận