Las áreas de almacenamiento de FOUP deben evaluar la contaminación molecular de acuerdo con los requisitos específicos de obleas, contenedores y equipos, prestando atención a los insumos externos, la desgasificación de materiales y los procesos operativos. El hecho de que las partículas de la habitación estén calificadas o que no exista un olor peculiar no puede sustituir la correspondiente investigación de gases. El interior de FOUP es un microambiente y los datos de la sala no pueden representarlo.

Primero, deje claro qué límite aéreo se está evaluando.

La evaluación de la contaminación molecular en las áreas de almacenamiento de FOUP es propensa a la ambigüedad en los límites. El aire de la habitación, el aire dentro del gabinete de almacenamiento y el aire dentro de la caja FOUP son tres conjuntos diferentes de condiciones. La limpieza de partículas calificada de la habitación solo puede indicar el nivel de partículas en la habitación; El hecho de que la caja FOUP se vea afectada por la contaminación molecular depende del estado de sellado de la caja, la operación de apertura de la caja, la circulación en el gabinete y el tiempo de residencia de la propia oblea. Antes de la evaluación, debe quedar claro si el objeto de protección es la superficie de la oblea, el ambiente dentro de la caja o el aire en el gabinete, y luego decidir el punto de detección. En cuanto a la diferencia entre el microambiente y las condiciones de la habitación, consulte¿Cómo se debe evitar que la contaminación gaseosa llegue a la zona de transferencia de obleas?。

La entrada externa y la desgasificación interna deben comprobarse por separado.

Las fuentes de contaminación molecular en el área de almacenamiento de FOUP se pueden dividir aproximadamente en dos categorías: entrada externa y desgasificación interna. Las entradas externas incluyen gases ácidos y alcalinos en áreas de proceso adyacentes, volátiles en el área de limpieza y aire introducido al abrir puertas y canales logísticos; La desgasificación interna proviene del material del cuerpo del FOUP, el revestimiento de la caja de oblea, los sellos del gabinete de almacenamiento y los residuos de limpieza. Las posiciones de control de los dos tipos de fuentes son diferentes: la entrada externa depende de la diferencia de presión del área de la puerta, la amortiguación y la filtración de entrada, y la liberación de aire interna depende de la filtración de circulación dentro del gabinete y la gestión de materiales. Sin distinguir la fuente, es fácil cambiar el elemento del filtro de circulación en el gabinete con frecuencia, pero aún no puede resolver el problema de entrada al momento de abrir la puerta.

El objeto de evaluación debe seguir el proceso de oblea.

Diferentes nodos de proceso y productos tienen diferentes objetos sensibles a la contaminación molecular, y una lista general no puede cubrir todas las áreas de almacenamiento de FOUP. Las áreas relacionadas con la litografía pueden estar más preocupadas por los gases alcalinos, los procesos húmedos pueden estar preocupados por los componentes ácidos y las capas metálicas o materiales especiales también pueden ser sensibles a los componentes orgánicos y los siloxanos. Al evaluar, los pasos del proceso, los materiales de las obleas y los requisitos de equipo del servicio del área de almacenamiento deben combinarse para enumerar los objetos de gas clave, en lugar de simplemente medir un TVOC total. Para conocer los métodos que implican la determinación de objetivos sensibles a gases alcalinos, consulte¿Cómo se debe determinar el objetivo de filtración cuando el fotoprotector es sensible a los gases alcalinos?。

Los puntos de detección y los períodos de tiempo deben cubrir las operaciones reales.

El nivel de contaminación en el área de almacenamiento de FOUP fluctúa con la apertura de puertas, el acceso y las operaciones de limpieza, y los datos de fondo estáticos no son suficientes para explicar el problema. Los puntos de detección deben cubrir el interior del gabinete, la puerta del gabinete y las áreas adyacentes, y el período de tiempo debe cubrir diferentes estados, como la apertura de la puerta para acceder, el almacenamiento después de la limpieza y el descanso prolongado. Si sólo toma muestras cuando nadie está operando, es posible que pierda valores máximos a corto plazo; Si solo mide el aire en el gabinete sin mirar dentro de la caja FOUP, puede subestimar las condiciones reales de contacto de la oblea. El método de muestreo también debe corresponder al gas objetivo y no puede inferirse únicamente del olor o del recuento de partículas. Para la disposición de los períodos de muestreo, consulteSólo hay un olor peculiar cuando la máquina está encendida. ¿A qué hora se debe medir el gas?。

Equipos de soporte industrial Aili

Para proyectos de microambientes como el almacenamiento FOUP, generalmente confirmamos con el cliente si el límite de protección es el aire en el gabinete o el ambiente en la caja, y luego determinamos si la sección del filtro debe colocarse en la posición de circulación, entrada o suministro de aire local del gabinete. Aili Industry puede proporcionar paquetes de selección para productos de filtración química tipo caja, placa plana y tipo V. Para paquetes MAU tipo caja, consulteFiltro químico tipo caja MAU , se puede ver la serie de productosGama de productos de filtros químicos . Las aplicaciones del lado del equipo pueden adoptar la forma de filtración química FFU, integrando una capa de adsorción química y filtración de partículas HEPA/ULPA. La estructura de primera partícula química es adecuada para microambientes que requieren control AMC. El elemento filtrante compacto se puede adaptar de forma no estándar según el espacio del gabinete y el volumen de aire circulante. La estructura en forma de V proporciona una gran área de filtrado en un espacio limitado, lo que ayuda a controlar la velocidad y la resistencia de la superficie. La parte de fabricación abarca motores, ventiladores, sistemas de control, chapa y montaje completo de máquinas. Las interfaces entre la sección de filtro y el ventilador de circulación del gabinete se pueden alinear en el mismo paquete. El efecto específico del gas, el entorno aplicable y el ciclo de reemplazo aún deben verificarse en función de los datos de configuración correspondientes y las condiciones de trabajo en el sitio. Los resultados reales están sujetos a los resultados de la detección de fugas y de gas en el sitio.

Preguntas y respuestas relacionadas

Si las partículas en la habitación están calificadas, ¿aún es necesario evaluar la contaminación molecular en la caja FOUP?
necesidad. La contaminación por partículas y molecular son dos indicadores diferentes. Las partículas calificadas en la habitación no significan que el gas en la caja cumpla con los requisitos de la oblea. La estanqueidad del microambiente dentro de la caja y la desgasificación del material deben evaluarse individualmente.

¿En qué gases se centrará la evaluación del área de almacenamiento de la FOUP?
Dependiendo del paso del proceso y del material de oblea que se sirva, las áreas comunes de preocupación incluyen gases alcalinos, gases ácidos y componentes orgánicos. Los objetos clave deben enumerarse junto con los requisitos del proceso en lugar de simplemente medir la cantidad total.

¿Puede Aili Industrial ayudar a filtrar y seleccionar áreas de almacenamiento de FOUP?
La ubicación de la sección del filtro y la forma del producto se pueden verificar según la estructura del gabinete de almacenamiento, el volumen de aire circulante y el gas objetivo, y el espacio compacto se puede adaptar de una manera no estándar. La configuración específica debe confirmarse según la información del producto y las condiciones del sitio.

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