¿Cómo se debe evitar que la contaminación gaseosa llegue a la zona de transferencia de obleas?

Para reducir la entrada cruzada de contaminación gaseosa en el área de transferencia de obleas, es necesario gestionar simultáneamente la fuente, el área de la puerta y el flujo de aire del equipo, y luego configurar la filtración química adecuada. Sólo el aumento de la capacidad de los medios filtrantes locales no puede compensar todos los límites abiertos o rutas de aire irrazonables. El problema en el área de transferencia a menudo no es el elemento filtrante en sí, sino de dónde viene el aire y hacia dónde va.

Primero identifique las vías de entrada de la contaminación cruzada.

La entrada de contaminación gaseosa al área de transferencia de obleas generalmente proviene de tres direcciones: infiltración de aire desde áreas de proceso adyacentes, liberaciones transportadas por FOUP o transportadores y desgasificación de materiales y procesos operativos dentro del equipo. Los métodos de propagación de estos tres tipos de fuentes son diferentes y las posiciones de control correspondientes también son diferentes. La infiltración en áreas adyacentes está relacionada principalmente con la diferencia de presión del área de la puerta y el tiempo de apertura de la puerta; el transportador sigue la trayectoria de transferencia del casete de oblea; cuando la liberación interna de gas del equipo ocurre aguas abajo de la sección del filtro, no importa cuán fuerte sea la filtración de entrada, no puede cubrirla. Durante la investigación, primero se deben comparar los cambios de concentración en los nodos de transmisión, las áreas adyacentes y los períodos de operación para confirmar la ruta dominante antes de decidir las medidas. En cuanto a cómo distinguir si la contaminación proviene del exterior o del interior, consulte¿Cómo distinguir si la contaminación del taller viene del exterior o del interior?。

El área de la puerta y la estructura amortiguadora determinan cuánto aire fluirá

La frecuencia de apertura de la puerta, la estabilidad de la diferencia de presión y los ajustes de la sala intermedia entre el área de transmisión y las áreas adyacentes afectan directamente la cantidad de entrada cruzada. Calificar la diferencia de presión no significa que no haya reflujo instantáneo en condiciones de trabajo dinámicas. El intercambio del flujo de aire en el momento de abrir la puerta, las fugas continuas del canal logístico y las fluctuaciones del escape pueden provocar entradas a corto plazo. Las direcciones de mejora comunes incluyen: estabilizar la diferencia de presión en el área de la puerta, configurar secciones de amortiguación, optimizar la secuencia de apertura de la puerta y mantener el flujo de aire direccional en las interfaces clave. Lo que estas medidas reducen es 'la cantidad de aire contaminado que entra', mientras que la filtración química aborda 'si el gas entrante ha sido tratado'. Los dos no pueden reemplazarse mutuamente.

La filtración química localizada debe colocarse aguas arriba de la ubicación protegida real.

La ubicación de la sección del filtro químico debe cubrir la ruta de aire real por la que pasa la oblea, en lugar de simplemente instalarse en la salida del suministro de aire. Pueden existir múltiples microambientes dentro del área de transferencia: circulación interna de EFEM, cámara de transferencia, posición de almacenamiento temporal y puerto de carga, cada uno con diferentes fuentes de aire y objetos de protección. Si la sección del filtro solo maneja el suministro de aire de la habitación y la contaminación ingresa desde el interior del equipo o en el momento en que se abre la puerta, es posible que la prueba de salida aún no cumpla con los estándares. Un enfoque razonable es dibujar primero un diagrama de la ruta del aire y marcar los nodos por donde puede entrar la contaminación, y luego determinar si la sección del filtro debe colocarse en la entrada, el circuito de circulación o la posición de protección local. Respecto a la correspondencia entre la entrada de aire de EFEM y los requisitos de limpieza del equipo, consulte¿Cómo corresponde la filtración química de entrada de aire EFEM a los requisitos de limpieza del equipo?。

La capacidad del material filtrante no puede compensar los defectos de organización del flujo de aire.

Cuando hay límites abiertos o flujo de aire incontrolado, aumentar el número de capas de medios o la capacidad a menudo tiene un éxito limitado. El aire en la sección sin filtrar no será procesado porque el elemento filtrante se hace más grande y la contaminación cruzada no cambiará su ruta debido a la alta capacidad del medio. La secuencia de control del área de transferencia suele ser: primero reducir la entrada no controlada (área de la puerta, zona de amortiguación, diferencia de presión), luego asegurarse de que el flujo de aire necesario pase a través de la sección de filtro correspondiente y, finalmente, verificar la capacidad y el ciclo de reemplazo del material filtrante. Si se invierte el orden, es fácil tener una situación en la que 'el elemento filtrante se reemplaza con más frecuencia, pero el problema sigue siendo el mismo'. Con respecto a la división del trabajo entre filtración local y filtración de habitación, consulte¿Se puede utilizar un filtro químico solo en una habitación?。

Equipos de soporte industrial Aili

Para proyectos como el área de transferencia de obleas, generalmente dibujamos primero la ruta del aire con el cliente para confirmar si la contaminación proviene del área de la puerta, el transportador o el interior del equipo, y luego determinamos dónde se debe colocar la sección del filtro. Si la ubicación es EFEM o circulación local en el extremo del equipo, se utilizan más comúnmente elementos filtrantes compactos y FFU; si se trata de una habitación o una sección intermedia, las estructuras tipo caja o en forma de V son más adecuadas. Aili Industry puede proporcionar productos de filtración química compatibles con FFU, tipo caja, tipo plano y tipo V. La estructura compacta del equipo se puede adaptar a configuraciones no estándar según el espacio y el volumen de aire. Si el sistema original implica el reemplazo de elementos filtrantes importados, también se puede verificar de acuerdo con el tamaño de la interfaz y los requisitos del medio. La parte de fabricación abarca motores, ventiladores, sistemas de control, chapa y montaje completo de máquinas. Las interfaces entre la sección de filtro y la estructura de suministro de aire se pueden alinear en el mismo paquete. Se pueden ver los productosPágina de la serie de productos de filtros químicos , se puede consultar la combinación de tipo cajaFiltro químico tipo caja MAU , se puede hacer referencia a la configuración integrada FFUFFU de filtro químico . Página El efecto específico del gas, el entorno aplicable y el ciclo de reemplazo aún deben verificarse en función de los datos de configuración correspondientes y las condiciones de trabajo en el sitio. Los resultados reales están sujetos a los resultados de la detección de fugas y de gas en el sitio.

Preguntas y respuestas relacionadas

Si la diferencia de presión en el área de transmisión es calificada, ¿por qué todavía hay cruce de gas?
La diferencia de presión controla la dirección media del flujo y pueden producirse entradas breves en el momento de abrir la puerta, canales logísticos y fluctuaciones del aire de salida. La diferencia de presión calificada no significa que no haya cruce en condiciones de trabajo dinámicas. Debe juzgarse en función de los registros de eventos y la detección de puntos clave.

¿Es suficiente simplemente agregar un filtro químico al respiradero del suministro de aire?
Depende de por dónde entra la contaminación. Si la contaminación proviene del interior del equipo o cuando se abre la puerta, es posible que tratar únicamente con el suministro de aire no lo cubra. La posición de la sección del filtro debe determinarse en función de la ruta de aire real.

¿Puede Aili Industrial ayudar en la selección de filtración local en el área de transmisión?
La posición y la forma del producto de la sección del filtro se pueden verificar según la ruta del aire, el espacio de instalación y el gas objetivo. La estructura compacta del equipo se puede adaptar de forma no estándar. La configuración específica debe confirmarse según la información del producto correspondiente y las condiciones del sitio.

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