Comment empêcher la contamination gazeuse de pénétrer dans la zone de transfert des tranches ?

Pour réduire l'entrée croisée de contamination gazeuse dans la zone de transfert des plaquettes, il est nécessaire de gérer simultanément la source, la zone de porte et le flux d'air de l'équipement, puis de configurer une filtration chimique appropriée. Seule l’augmentation de la capacité locale du média filtrant ne peut pas compenser toutes les limites ouvertes ou les chemins d’air déraisonnables. Le problème dans la zone de transfert ne vient souvent pas de l'élément filtrant lui-même, mais de la provenance et de la destination de l'air.

Identifiez d’abord les voies d’entrée de la contamination croisée

L'entrée de contamination gazeuse dans la zone de transfert de tranches provient généralement de trois directions : l'infiltration d'air des zones de traitement adjacentes, les rejets transportés par le FOUP ou les transporteurs, et le dégazage des matériaux et des processus d'exploitation à l'intérieur de l'équipement. Les modes de propagation de ces trois types de sources sont différents, et les positions de contrôle correspondantes sont également différentes. L'infiltration dans les zones adjacentes est principalement liée à la différence de pression dans la zone de la porte et au moment de l'ouverture de la porte ; le support suit le chemin de transfert de la cassette de tranches ; lorsque le dégagement de gaz interne de l'équipement se produit en aval de la section de filtre, quelle que soit la force de la filtration d'entrée, elle ne peut pas la couvrir. Au cours de l'enquête, les changements de concentration au niveau des nœuds de transport, des zones adjacentes et des périodes d'exploitation doivent d'abord être comparés pour confirmer la voie dominante avant de décider des mesures. Pour savoir comment distinguer si la pollution vient de l'extérieur ou de l'intérieur, veuillez vous référer àComment distinguer si la pollution d’un atelier vient de l’extérieur ou de l’intérieur ?。

La zone de la porte et la structure tampon déterminent la quantité d'air qui entrera

La fréquence d'ouverture des portes, la stabilité de la différence de pression et les paramètres de la salle tampon entre la zone de transmission et les zones adjacentes affectent directement la quantité d'entrée croisée. Qualifier la différence de pression ne signifie pas qu’il n’y a pas de reflux instantané dans des conditions de travail dynamiques. L'échange de flux d'air au moment de l'ouverture de la porte, les fuites continues du canal logistique et les fluctuations des gaz d'échappement peuvent provoquer un apport à court terme. Les axes d'amélioration courants comprennent : la stabilisation de la différence de pression dans la zone de la porte, la mise en place de sections tampons, l'optimisation de la séquence d'ouverture de la porte et le maintien d'un flux d'air directionnel au niveau des interfaces clés. Ce que ces mesures réduisent, c'est « la quantité d'air pollué qui entre », tandis que la filtration chimique détermine « si le gaz entrant a été traité ». Les deux ne peuvent pas se remplacer.

Une filtration chimique localisée doit être placée en amont de l'emplacement réellement protégé

L'emplacement de la section du filtre chimique doit couvrir le chemin d'air réel traversé par la plaquette, plutôt que d'être simplement installé au niveau du port d'alimentation en air. Il peut y avoir plusieurs micro-environnements à l'intérieur de la zone de transfert : circulation interne EFEM, chambre de transfert, position de stockage temporaire et port de chargement, chacun avec des sources d'air et des objets de protection différents. Si la section filtre gère uniquement l'alimentation en air ambiant et que la pollution pénètre depuis l'intérieur de l'équipement ou au moment de l'ouverture de la porte, le test de sortie peut toujours ne pas répondre aux normes. Une approche raisonnable consiste d'abord à dessiner un diagramme du trajet de l'air et à marquer les nœuds par lesquels la pollution peut pénétrer, puis à déterminer si la section de filtre doit être placée à l'entrée, à la boucle de circulation ou à la position de protection locale. Concernant la correspondance entre l'entrée d'air EFEM et les exigences de propreté des équipements, veuillez vous référer àComment la filtration chimique des entrées d’air EFEM répond-elle aux exigences de propreté des équipements ?。

La capacité du matériau filtrant ne peut pas compenser les défauts d’organisation du flux d’air

Lorsqu’il existe des limites ouvertes ou un flux d’air incontrôlé, l’augmentation du nombre de couches de supports ou de la capacité a souvent un succès limité. L'air présent dans la section non filtrée ne sera pas traité car l'élément filtrant devient plus grand et la contamination croisée ne changera pas de trajectoire en raison de la capacité élevée du média. La séquence de contrôle de la zone de transfert est généralement la suivante : réduisez d'abord les entrées incontrôlées (zone de porte, tampon, différence de pression), puis assurez-vous que le débit d'air nécessaire passe à travers la section de filtre correspondante, et enfin vérifiez la capacité et le cycle de remplacement du matériau filtrant. Si l'ordre est inversé, il est facile de se retrouver dans une situation où « l'élément filtrant est remplacé plus fréquemment, mais le problème reste le même ». Concernant la division du travail entre filtration locale et filtration ambiante, veuillez vous référer àUn filtre chimique peut-il être utilisé seul dans une pièce ?。

Équipement de support industriel Aili

Pour des projets tels que la zone de transfert de tranches, nous dessinons généralement d'abord le chemin d'air avec le client pour confirmer si la pollution provient de la zone de la porte, du support ou de l'intérieur de l'équipement, puis déterminons où la section de filtre doit être placée. Si l'emplacement est EFEM ou circulation locale à l'extrémité de l'équipement, les éléments filtrants compacts et FFU sont plus couramment utilisés ; s'il s'agit d'une pièce ou d'une section tampon, les structures en forme de caisson ou en forme de V sont plus adaptées. Aili Industry peut fournir des produits de filtration chimique adaptés aux FFU, de type boîte, de type plat et de type V. La structure compacte de l'équipement peut s'adapter à des configurations non standards en fonction de l'espace et du volume d'air. Si le système d'origine implique le remplacement d'éléments filtrants importés, il peut également être vérifié en fonction de la taille de l'interface et des exigences du support. L'extrémité fabrication couvre les moteurs, les ventilateurs, les systèmes de contrôle, la tôle et l'assemblage complet de la machine. Les interfaces entre la section de filtre et la structure d'alimentation en air peuvent être alignées dans le même boîtier. Les produits peuvent être consultésPage de la série de produits de filtre chimique , la correspondance du type de boîte peut être consultéeFiltre chimique de type boîte MAU , configuration intégrée FFU peut être référencéeFiltre chimique FFU . Page L'effet spécifique du gaz, l'environnement applicable et le cycle de remplacement doivent encore être vérifiés sur la base des données de configuration correspondantes et des conditions de travail sur site. Les résultats réels sont soumis aux résultats de la détection des fuites et des gaz sur site.

Questions et réponses connexes

Si la différence de pression dans la zone de transmission est qualifiée, pourquoi y a-t-il encore un croisement de gaz ?
La différence de pression gère la direction moyenne du flux, et des entrées à court terme peuvent se produire au moment de l'ouverture de la porte, des canaux logistiques et des fluctuations de l'air évacué. Une différence de pression qualifiée ne signifie pas qu’il n’y a pas de croisement dans des conditions de travail dynamiques. Il doit être jugé sur la base des enregistrements d’événements et de la détection des points clés.

Est-il suffisant d'ajouter simplement un filtre chimique à la bouche d'alimentation en air ?
Cela dépend de l'endroit où pénètre la pollution. Si la contamination vient de l’intérieur de l’équipement ou dès l’ouverture de la porte, le traitement uniquement de l’arrivée d’air peut ne pas la couvrir. La position de la section du filtre doit être déterminée en fonction du trajet réel de l'air.

Aili Industrial peut-il aider à sélectionner une filtration locale dans la zone de transmission ?
La position et la forme du produit de la section filtrante peuvent être vérifiées en fonction du trajet de l'air, de l'espace d'installation et du gaz cible. La structure compacte de l'équipement peut être adaptée de manière non standard. La configuration spécifique doit être confirmée en fonction des informations produit correspondantes et des conditions sur site.

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