Le filtre chimique de l'armoire de stockage temporaire de plaquettes doit être sélectionné en fonction des exigences de protection, du gaz cible, du volume d'air en circulation et du rejet de matière dans l'armoire. L’apparence de l’armoire ou la propreté de la pièce ne peuvent pas remplacer les conditions de flux de gaz et d’air du microenvironnement. L'armoire de stockage temporaire est un petit espace et sa logique de filtrage n'est pas exactement la même que celle de la configuration au niveau de la pièce.

Déterminez d’abord ce qui doit être protégé à l’intérieur de l’armoire

La cible de filtrage de l'armoire de stockage temporaire de plaquettes dépend de ce qui est placé dans l'armoire, de la durée de conservation et de la manière dont la porte de l'armoire est ouverte. L'armoire de stockage temporaire peut être utilisée pour un court séjour entre des processus, ou elle peut être utilisée pour un stockage de plusieurs heures ou même plus ; l'armoire peut uniquement stocker des boîtes de plaquettes, ou bien elle peut stocker à la fois des supports et des matériaux d'emballage. Ces différences ont un impact sur les stocks de gaz cibles et les besoins en capacité. L'objet de protection doit être clairement défini comme la surface de la plaquette, l'environnement à l'intérieur du boîtier ou l'air dans l'armoire, puis les points de détection et les positions de filtrage doivent être déterminés. Si nous disons simplement « l'intérieur du meuble doit être propre », il n'existe pas de base de sélection comparable.

Le chemin de l'air dans l'armoire détermine la position de la section filtrante

Le trajet de l'air de circulation de l'armoire de stockage temporaire est généralement plus court que celui du boîtier de climatisation, et la position de la section filtrante a un impact plus direct sur la couverture du flux d'air. Les dispositions courantes incluent la circulation sur le dessus de l'armoire, le retour d'air arrière, l'alimentation en air latérale, etc. La section du filtre doit être placée là où le flux d'air peut couvrir la zone de stockage des plaquettes, plutôt que de simplement s'occuper d'un certain coin de l'armoire. Si la porte de l'armoire est ouverte fréquemment, la question de savoir si l'air extérieur peut être traité par la section de filtre de circulation à temps après son entrée dépend également de la direction de l'alimentation en air et du volume d'air. Concernant la différence entre le microenvironnement et les conditions ambiantes, veuillez vous référer àQuels contaminants moléculaires doivent être évalués pour les zones de stockage FOUP ?。

Le volume d’air en circulation et la résistance de la section du filtre doivent correspondre

Le volume d'air en circulation dans l'armoire est généralement limité et la résistance de la section filtrante affecte directement l'effet de circulation. Lorsque le volume d'air est faible, le nombre de renouvellements d'air dans l'armoire est insuffisant et des polluants peuvent s'accumuler localement ; lorsque la résistance de la section du filtre est élevée, la capacité du ventilateur est insuffisante, ce qui fait que le volume de circulation réel est inférieur à la valeur de conception. Lors de la sélection d'un modèle, vous devez vérifier le volume d'air en circulation dans l'armoire, la résistance de la section filtrante sous ce volume d'air et si le ventilateur peut fournir une pression statique suffisante. La structure en forme de V offre une grande zone de filtration dans un espace limité, aidant à contrôler la vitesse et la résistance de la surface à de faibles volumes d'air. Pour une comparaison structurelle dans un espace compact, veuillez vous référer àMAU choisit un filtre chimique de type boîte ou de type V ?。

Les matériaux des armoires et les joints sont également des sources de rejet

Les bandes d'étanchéité, les revêtements, les pièces en plastique et les matériaux d'étiquetage à l'intérieur de l'armoire de stockage temporaire peuvent eux-mêmes libérer des composants organiques ou acides. L'espace à l'intérieur de l'armoire est petit et le nombre d'échanges d'air est faible. L'effet cumulatif dégagé par ces matériaux peut être plus évident que l'environnement de la pièce. En plus de prêter attention aux apports externes lors de la sélection d'un modèle, vous devez également comprendre la situation de dégazage du matériau de l'armoire. Si nécessaire, contrôlez-le par filtration circulante ou par remplacement de matériau dans l'armoire. Pour les problèmes impliquant des matériaux à faible dégazage, veuillez vous référer àQuelles sont les implications des médias filtrants chimiques à faible dégazage pour les processus sensibles ?。

Équipement de support industriel Aili

Pour les projets de micro-environnement tels que les armoires de stockage temporaire de plaquettes, nous confirmons généralement d'abord le volume d'air circulant dans l'armoire, l'espace d'installation de la section filtrante et les objets de protection, puis comparons la forme de l'élément filtrant et la configuration du média. Aili Industry peut fournir des packages de sélection pour les produits de filtration chimique de type boîte, plaque plate et type V. Pour les packages MAU de type boîte, veuillez vous référer àFiltre chimique de type boîte MAU , la série de produits peut être consultéeGamme de produits de filtres chimiques . Les applications côté appareil peuvent utiliserFiltre chimique forme FFU , couche d'adsorption chimique intégrée avecFiltration de particules par filtre HEPA/ULPA , la structure des produits chimiques d'abord, puis des particules, convient aux micro-environnements tels que les armoires de stockage temporaires qui nécessitent à la fois de l'AMC et des particules. L'élément filtrant compact peut être personnalisé en fonction de l'espace de l'armoire et du volume d'air en circulation. L'activité fabrication couvre la R&D indépendante et la production de moteurs et de ventilateurs, de systèmes de contrôle, de tôlerie et d'assemblage complet de machines. L'interface et la correspondance du volume d'air entre la section de filtre et le ventilateur de circulation de l'armoire peuvent être vérifiées dans le même emballage. L'effet spécifique du gaz, l'environnement applicable et le cycle de remplacement doivent encore être vérifiés sur la base des données de configuration correspondantes et des conditions de travail sur site. Les résultats réels sont soumis aux résultats de la détection des fuites et des gaz sur site.

Questions et réponses connexes

Le volume d'air de circulation dans l'armoire de stockage temporaire est faible, le filtre chimique peut-il toujours fonctionner ?
Oui, mais la résistance de la section du filtre et la capacité du ventilateur doivent correspondre. Lorsque le volume d'air est faible, une structure avec une faible vitesse de surface et une résistance modérée doit être sélectionnée, et le nombre d'échanges d'air dans l'armoire doit être confirmé pour répondre aux exigences.

Il n’y a pas d’odeur évidente dans le meuble, dois-je quand même installer un filtre chimique ?
L'odorat n'est pas la seule base de jugement. La très faible concentration de certains composants sensibles peut également affecter la plaquette. Ceci doit être jugé en fonction des exigences du processus et des conditions de dégagement de gaz des matériaux présents dans l'armoire.

Aili Industrial peut-il fabriquer des éléments filtrants non standard en fonction de l'espace de l'armoire de stockage temporaire ?
La structure compacte de l'élément filtrant peut être vérifiée en fonction de la taille de l'armoire et du volume d'air en circulation, et la forme du filtre chimique FFU peut intégrer la filtration chimique et particulaire. La configuration spécifique doit être confirmée en fonction des informations sur le produit et des conditions du site.

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