يجب اختيار المرشح الكيميائي لخزانة التخزين المؤقتة للرقاقة وفقًا لمتطلبات الحماية والغاز المستهدف وحجم الهواء المتداول وإطلاق المواد في الخزانة. لا يمكن لمظهر الخزانة أو نظافة الغرفة أن يحل محل ظروف تدفق الغاز والهواء في البيئة الدقيقة. خزانة التخزين المؤقتة عبارة عن مساحة صغيرة، ومنطق التصفية الخاص بها ليس مطابقًا تمامًا للتكوين على مستوى الغرفة.

حدد أولاً ما يجب حمايته داخل الخزانة

يعتمد هدف التصفية لخزانة التخزين المؤقتة للرقاقة على ما يتم وضعه في الخزانة، ومدة الاحتفاظ بها، وكيفية فتح باب الخزانة. يمكن استخدام خزانة التخزين المؤقتة لفترة قصيرة بين العمليات، أو يمكن استخدامها للتخزين لعدة ساعات أو حتى لفترة أطول؛ قد تقوم الخزانة بتخزين صناديق الويفر فقط، أو يمكنها تخزين كل من الناقلات ومواد التعبئة والتغليف. تؤثر هذه الاختلافات على مخزونات الغاز المستهدفة ومتطلبات السعة. يجب أن يتم تعريف كائن الحماية بوضوح على أنه سطح الرقاقة، أو البيئة داخل الصندوق أو الهواء الموجود في الخزانة، ومن ثم يجب تحديد نقاط الكشف ومواضع التصفية. إذا قلنا بشكل عام 'يجب أن يكون الجزء الداخلي للخزانة نظيفًا'، فلا يوجد أساس قابل للمقارنة للاختيار.

يحدد مسار الهواء في الخزانة موضع قسم المرشح

عادة ما يكون مسار الهواء الدوراني لخزانة التخزين المؤقتة أقصر من مسار صندوق تكييف الهواء، ويكون لموضع قسم المرشح تأثير مباشر أكثر على تغطية تدفق الهواء. تشمل الترتيبات الشائعة الدوران العلوي للخزانة، وعودة الهواء الخلفي، وإمداد الهواء الجانبي، وما إلى ذلك. يجب وضع قسم المرشح حيث يمكن لتدفق الهواء أن يغطي منطقة تخزين الرقاقة، بدلاً من مجرد التعامل مع زاوية معينة من الخزانة. إذا تم فتح باب الخزانة بشكل متكرر، فإن ما إذا كان يمكن معالجة الهواء الخارجي بواسطة قسم المرشح الدائري في الوقت المناسب بعد الدخول يعتمد أيضًا على اتجاه إمداد الهواء وحجم الهواء. فيما يتعلق بالفرق بين البيئة الدقيقة وظروف الغرفة، يرجى الرجوع إلىما هي الملوثات الجزيئية التي يجب تقييمها في مناطق تخزين FOUP؟。

يجب أن يتطابق حجم الهواء المتداول ومقاومة قسم المرشح

عادة ما يكون حجم الهواء المتداول في الخزانة محدودًا، وتؤثر مقاومة قسم المرشح بشكل مباشر على تأثير الدوران. عندما يكون حجم الهواء منخفضًا، يكون عدد مبادلات الهواء في الخزانة غير كافٍ، وقد تتراكم الملوثات محليًا؛ عندما تكون مقاومة قسم المرشح عالية، تكون سعة المروحة غير كافية، مما يتسبب في أن يكون حجم الدوران الفعلي أقل من قيمة التصميم. عند اختيار الطراز، يجب عليك التحقق من حجم الهواء المتداول في الخزانة، ومقاومة قسم الفلتر الموجود أسفل حجم الهواء هذا، وما إذا كانت المروحة يمكنها توفير ضغط ثابت كافٍ. يوفر الهيكل على شكل حرف V مساحة ترشيح كبيرة في مساحة محدودة، مما يساعد على التحكم في سرعة السطح ومقاومته عند أحجام الهواء المنخفضة. للمقارنة الهيكلية في المساحة المدمجة، يرجى الرجوع إلىهل تختار MAU نوع الصندوق أو الفلتر الكيميائي من النوع V؟。

تعتبر مواد الخزانة والأختام أيضًا من مصادر الإطلاق

قد تؤدي شرائط الختم والطلاءات والأجزاء البلاستيكية ومواد الملصقات الموجودة داخل خزانة التخزين المؤقتة إلى إطلاق مكونات عضوية أو حمضية. المساحة داخل الخزانة صغيرة وعدد مبادلات الهواء منخفض. قد يكون التأثير التراكمي الناتج عن هذه المواد أكثر وضوحًا من بيئة الغرفة. بالإضافة إلى الاهتمام بالمدخلات الخارجية عند اختيار النموذج، يجب عليك أيضًا فهم حالة إطلاق الغازات لمواد الخزانة. إذا لزم الأمر، يمكنك التحكم فيه من خلال الترشيح الدائري أو استبدال المواد في الخزانة. بالنسبة للمشكلات التي تنطوي على مواد منخفضة إطلاق الغازات، يرجى الرجوع إلىما هي الآثار المترتبة على وسائط الترشيح الكيميائي المنخفضة إطلاق الغازات بالنسبة للعمليات الحساسة؟。

Aili معدات الدعم الصناعي

بالنسبة لمشاريع البيئة الدقيقة مثل خزانات التخزين المؤقتة للرقائق، فإننا عادةً ما نتأكد أولاً من حجم الهواء المتداول في الخزانة، ومساحة التثبيت لقسم المرشح وكائنات الحماية، ثم نقارن شكل عنصر المرشح وتكوين الوسائط. يمكن لشركة Aili Industry توفير حزم اختيار لمنتجات الترشيح الكيميائي من النوع الصندوقي واللوح المسطح والنوع V. للحصول على حزم MAU من النوع الصندوقي، يرجى الرجوع إلىمرشح كيميائي من نوع صندوق MAU ، يمكن الاطلاع على سلسلة المنتجاتمجموعة منتجات الفلتر الكيميائي . يمكن استخدام التطبيقات من جانب الجهازمرشح كيميائي نوع FFU ، طبقة امتصاص كيميائية متكاملة معترشيح الجسيمات بمرشح HEPA/ULPA ، هيكل المادة الكيميائية أولاً والجسيمات الثانية مناسب للبيئات الدقيقة مثل خزانات التخزين المؤقتة التي تتطلب كلاً من AMC والجزيئات. يمكن تخصيص عنصر الفلتر المدمج وفقًا لمساحة الخزانة وحجم الهواء المتداول. يغطي طرف التصنيع البحث والتطوير المستقل وإنتاج المحركات والمراوح وأنظمة التحكم والصفائح المعدنية وتجميع الماكينة بالكامل. يمكن التحقق من مطابقة الواجهة وحجم الهواء بين قسم الفلتر ومروحة تدوير الخزانة في نفس الحزمة. لا يزال يتعين التحقق من تأثير الغاز المحدد والبيئة القابلة للتطبيق ودورة الاستبدال بناءً على بيانات التكوين المقابلة وظروف العمل في الموقع. تخضع النتائج الفعلية لنتائج الكشف عن التسرب والكشف عن الغاز في الموقع.

الأسئلة والأجوبة ذات الصلة

حجم الهواء المتداول في خزانة التخزين المؤقتة صغير، فهل يمكن للمرشح الكيميائي أن يعمل؟
نعم، ولكن يجب أن تتطابق مقاومة قسم المرشح وسعة المروحة. عندما يكون حجم الهواء صغيرًا، يجب اختيار هيكل ذو سرعة سطح منخفضة ومقاومة معتدلة، ويجب التأكد من عدد تبادلات الهواء في الخزانة لتلبية المتطلبات.

لا توجد رائحة واضحة في الخزانة، هل ما زلت بحاجة إلى تركيب مرشح كيميائي؟
الرائحة ليست الأساس الوحيد للحكم. قد يؤثر التركيز المنخفض جدًا لبعض المكونات الحساسة أيضًا على الرقاقة. وينبغي الحكم على ذلك بناءً على متطلبات العملية وظروف إطلاق الغاز للمواد الموجودة في الخزانة.

هل يمكن لشركة Aili Industrial تصنيع عناصر مرشح غير قياسية وفقًا لمساحة خزانة التخزين المؤقتة؟
يمكن فحص هيكل عنصر المرشح المدمج وفقًا لحجم الخزانة وحجم الهواء المتداول، ويمكن لشكل المرشح الكيميائي FFU دمج ترشيح المواد الكيميائية والجسيمات. يجب تأكيد التكوين المحدد بناءً على معلومات المنتج وظروف الموقع.

مقالات ذات صلة

• كيف ينبغي منع التلوث الغازي من العبور إلى منطقة نقل الرقاقات؟

• هل يمكن التحكم في إطلاق الغازات المتبقية بعد تنظيف شريط الرقاقة عن طريق الترشيح البيئي؟

• كيف يتوافق الترشيح الكيميائي لمدخل الهواء EFEM مع متطلبات نظافة المعدات؟

• هل تتطلب بيئة تخزين القناع ترشيحًا كيميائيًا؟

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول