إن إمكانية التحكم في إطلاق الهواء المتبقي بعد تنظيف صندوق الرقاقة عن طريق الترشيح البيئي يتطلب التمييز بين المصدر الموجود في الصندوق والهواء الموجود في الغرفة. يمكن للترشيح الكيميائي البيئي معالجة تدفق الهواء الذي يمر فعليًا عبر قسم الترشيح فقط، ولا يمكنه إزالة البقايا وجميع الإطلاقات المستمرة داخل الحاوية تلقائيًا. لا يمكن حل المشكلة الموجودة في الصندوق بواسطة مرشح الغرفة.

هل يحدث إطلاق الغازات داخل الصندوق أم خارجه؟

يحدث إطلاق الغازات المتبقي بعد تنظيف شريط الرقاقة بشكل رئيسي في موقعين. يأتي إطلاق الغازات داخل الصندوق من كميات ضئيلة من المواد الكيميائية المتبقية على جسم الصندوق أو البطانة أو سطح الرقاقة بعد التنظيف. وهي تتبخر تدريجياً بعد إغلاق الصندوق، وقد يتراكم التركيز داخل الصندوق. يحدث إطلاق الغازات خارج الصندوق عند فتح الصندوق، أو التقاط الرقائق، أو ترك الصندوق مفتوحًا، وتدخل المواد المتطايرة المتبقية إلى الهواء المحيط. يقوم الترشيح البيئي بمعالجة جزء الهواء الذي يمر عبر قسم الفلتر في الأخير، ويكون له تأثير ضئيل على التراكم في الصندوق المغلق. لتحديد ما إذا كان الترشيح البيئي يمكن أن يساعد، أول شيء يجب طرحه هو: أين يحدث إطلاق الغازات بشكل رئيسي وفي أي حالة يبقى الصندوق لفترة أطول.

نطاق التصفية البيئية له حدود

يمكن لتدوير الغرفة أو الترشيح الكيميائي من جانب المعدات معالجة الهواء المرسل إلى قسم الفلتر بواسطة المروحة فقط. إذا تم إغلاق الصندوق وتخزينه، فإن الهواء الموجود في الصندوق لا يدور مع العالم الخارجي، ومهما كان قسم المرشح كبيرًا، فإنه لا يستطيع التعامل مع المادة المتطايرة الموجودة في الصندوق؛ إذا تم إطلاق الهواء الموجود في الصندوق إلى البيئة الدقيقة للمعدات أثناء عملية فتح الصندوق، وحدث أن هذا الجزء من الهواء يمر عبر قسم المرشح المحلي، فقد يكون الترشيح فعالاً. لذلك، فإن فعالية الترشيح البيئي عند إطلاق الغازات من شريط الرقاقة تعتمد على ما إذا كان مسار الهواء يغطي الموقع الذي يحدث فيه إطلاق الغازات، بدلاً من قدرة مادة الترشيح نفسها. فيما يتعلق بتقسيم العمل بين الترشيح المحلي وترشيح الغرفة، يرجى الرجوع إلىهل يمكن استخدام الفلتر الكيميائي بمفرده في الغرفة؟。

روابط التنظيف والتجفيف تستحق التحقق أولاً.

مصدر إطلاق الغازات المتبقية من صندوق الرقاقة موجود في عملية التنظيف والتجفيف، ويجب أيضًا إعطاء الأولوية لموضع التحكم هنا. إن اختيار عامل التنظيف، وعدد مرات الشطف، وطريقة التجفيف، ومدة الانتظار بعد التجفيف، كلها تؤثر على كمية البقايا. إذا كانت البقايا بعد التنظيف مرتفعة جدًا، فإن الاعتماد على الترشيح البيئي الخلفي 'لتغطية الجزء السفلي' غالبًا ما يحقق نصف النتيجة بمضاعفة الجهد. التسلسل الأكثر منطقية هو: التأكد أولاً من استقرار عملية التنظيف وظروف التجفيف، ثم تقييم متطلبات الترشيح المحلية للتخزين وفتح الصندوق. للحصول على أفكار حول كيفية استخدام بيانات عامل التنظيف لتحديد التلوث، يرجى الرجوع إلىهل يمكن استخدام أوراق بيانات سلامة عوامل التنظيف لاختيار المرشح الكيميائي؟。

يجب أن يغطي الترشيح المحلي عملية فتح الصندوق وتخزينه

إذا كان لا يزال هناك قدر كبير من إطلاق الهواء بعد التنظيف، فيجب أن يركز ترتيب الترشيح المحلي على عملية التفريغ وعملية التخزين، بدلاً من معالجة هواء الغرفة بشكل عام. إن الدوران في خزانة التخزين، وإمداد الهواء المحلي في محطة فتح الصندوق، والتدوير الداخلي في EFEM كلها نقاط تكوين أقرب إلى الموقع الذي يحدث فيه إطلاق الغازات. الخصائص المشتركة لهذه المواقع هي المساحة الصغيرة وحجم الهواء المحدود. يجب التحقق من مطابقة شكل عنصر الفلتر وحجم الهواء وفقًا للهيكل الفعلي. فيما يتعلق بتكوين التصفية لرابط التخزين، يرجى الرجوع إلىكيفية اختيار المرشحات الكيميائية لخزانات تخزين الويفر؟。

Aili معدات الدعم الصناعي

بالنسبة لمشاكل مثل إطلاق الغازات في صندوق البسكويت، فإننا عادة نؤكد مع العميل ما إذا كان إطلاق الغازات يحدث بشكل رئيسي في حالة إغلاق الصندوق أو أثناء عملية فتح الصندوق، ثم نحدد ما إذا كان يجب وضع المرشح المحلي في خزانة التخزين، أو محطة فتح الصندوق، أو قسم التدوير EFEM. يمكن لشركة Aili Industry توفير حزم اختيار لمنتجات الترشيح الكيميائي من النوع الصندوقي واللوح المسطح والنوع V. للحصول على حزم MAU من النوع الصندوقي، يرجى الرجوع إلىمرشح كيميائي من نوع صندوق MAU ، يمكن الاطلاع على سلسلة المنتجاتمجموعة منتجات الفلتر الكيميائي . يمكن للتطبيقات من جانب المعدات أن تعتمد شكل الترشيح الكيميائي FFU، الذي يدمج طبقة الامتزاز الكيميائي وترشيح جسيمات HEPA/ULPA. هيكل الجسيمات الكيميائية الأولى مناسب للبيئات الدقيقة مثل خزانات التخزين وEFEM. يمكن تخصيص عنصر الفلتر المدمج وفقًا لمساحة الخزانة وحجم الهواء المتداول. تغطي نهاية التصنيع المحركات والمراوح وأنظمة التحكم والصفائح المعدنية وتجميع الماكينة بالكامل. يمكن محاذاة الواجهات بين قسم المرشح ومروحة دوران الخزانة في نفس مجموعة الحزم. لا يزال يتعين التحقق من تأثير الغاز المحدد والبيئة القابلة للتطبيق ودورة الاستبدال بناءً على بيانات التكوين المقابلة وظروف العمل في الموقع. تخضع النتائج الفعلية لنتائج الكشف عن التسرب والكشف عن الغاز في الموقع.

الأسئلة والأجوبة ذات الصلة

الغرفة مجهزة بفلتر كيميائي. هل يجب معالجة الغاز المنبعث من صندوق الرقاقة بشكل منفصل؟
يعتمد على ما إذا كان الصندوق مغلقًا للتخزين. عندما لا يتم تدوير الهواء الموجود في الصندوق مع الغرفة، لا يستطيع مرشح الغرفة التعامل مع التراكم في الصندوق، وقد تكون هناك حاجة لتدوير الهواء في خزانة التخزين أو الترشيح المحلي في محطة فتح الصندوق.

المحتوى المتبقي من علبة الويفر مرتفع بعد التنظيف. هل يجب تنظيفه أولا أم يجب تصفيته أولا؟
في معظم الحالات، تحقق أولاً من عامل التنظيف وظروف الشطف والتجفيف. إذا تم التحكم في مصدر المخلفات، فإن ضغط الترشيح الخلفي سيكون أصغر بكثير.

هل يمكن لشركة Aili Industrial المساعدة في فحص الترشيح أثناء تخزين شريط الكاسيت؟
يمكن فحص وضع الترشيح المحلي بناءً على هيكل خزانة التخزين وحجم الهواء المتداول وموضع إطلاق الهواء. يجب تأكيد التكوين المحدد بناءً على معلومات المنتج وظروف الموقع.

مقالات ذات صلة

• ما هي الملوثات الجزيئية التي يجب تقييمها في مناطق تخزين FOUP؟

• كيف يتوافق الترشيح الكيميائي لمدخل الهواء EFEM مع متطلبات نظافة المعدات؟

• كيف ينبغي منع التلوث الغازي من العبور إلى منطقة نقل الرقاقات؟

• ما هي العلاقة بين تعفير القناع والتلوث الكيميائي للهواء؟

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول