La question de savoir si la libération d'air résiduel après le nettoyage de la boîte à plaquettes peut être contrôlée par une filtration environnementale nécessite de faire la distinction entre la source dans la boîte et l'air dans la pièce. La filtration chimique environnementale ne peut traiter que le flux d'air qui traverse réellement la section de filtration et ne peut pas éliminer automatiquement les résidus et tous les rejets soutenus à l'intérieur du conteneur. Le problème dans la boîte ne peut pas être résolu par le filtre d'ambiance.

Le dégazage se produit-il à l’intérieur ou à l’extérieur de la boîte ?

Le dégazage résiduel après nettoyage de la cassette de tranches se produit principalement à deux endroits. Le dégazage à l’intérieur de la boîte provient de traces de produits chimiques restant sur le corps de la boîte, le revêtement ou la surface de la plaquette après le nettoyage. Ils s'évaporent progressivement après la fermeture de la boîte et la concentration peut s'accumuler à l'intérieur de la boîte. Le dégazage à l'extérieur de la boîte se produit lorsque la boîte est ouverte, que les plaquettes sont ramassées ou que la boîte est laissée ouverte et que les substances volatiles résiduelles pénètrent dans l'air ambiant. La filtration environnementale traite la partie de l'air qui traverse la section filtrante de cette dernière et a peu d'effet sur l'accumulation dans la boîte fermée. Pour déterminer si la filtration environnementale peut aider, la première chose à se demander est : où se produisent principalement les dégazages et dans quel état la boîte reste-t-elle le plus longtemps.

La portée du filtrage environnemental a des limites

La circulation ambiante ou la filtration chimique côté équipement ne peuvent traiter que l'air envoyé dans la section filtrante par le ventilateur. Si la boîte est fermée et stockée, l'air à l'intérieur de la boîte ne circule pas avec le monde extérieur et, quelle que soit la taille de la section du filtre, elle ne peut pas traiter les matières volatiles contenues dans la boîte ; si l'air contenu dans la boîte est libéré dans le microenvironnement de l'équipement pendant l'opération d'ouverture de la boîte et que cette partie de l'air passe à travers la section de filtre locale, la filtration peut être efficace. Par conséquent, l’efficacité de la filtration environnementale sur le dégazage des cassettes de tranches dépend du fait que le chemin d’air couvre l’endroit où le dégazage se produit, plutôt que de la capacité du matériau filtrant lui-même. Concernant la division du travail entre filtration locale et filtration ambiante, veuillez vous référer àUn filtre chimique peut-il être utilisé seul dans une pièce ?。

Les liens de nettoyage et de séchage valent la peine d’être vérifiés en premier.

La source du dégazage résiduel de la boîte à plaquettes réside dans le processus de nettoyage et de séchage, et la position de contrôle doit également être prioritaire ici. Le choix du produit de nettoyage, le nombre de rinçages, la méthode de séchage et le temps de repos après séchage affecteront tous la quantité de résidus. Si les résidus après le nettoyage sont trop élevés, s'appuyer sur une filtration environnementale en aval pour « couvrir le fond » permettra souvent d'obtenir la moitié du résultat avec deux fois plus d'effort. Une séquence plus raisonnable est la suivante : confirmez d'abord si le processus de nettoyage et les conditions de séchage sont stables, puis évaluez les exigences locales de filtration pour le stockage et l'ouverture de la boîte. Pour des idées sur la façon dont les données sur les agents de nettoyage peuvent être utilisées pour identifier la contamination, veuillez vous référer àLes fiches de données de sécurité des agents de nettoyage peuvent-elles être utilisées pour la sélection des filtres chimiques ?。

La filtration partielle doit couvrir l'ouverture de la boîte et le stockage

S'il y a encore un dégagement d'air considérable après le nettoyage, la mise en place d'une filtration locale doit se concentrer sur l'opération de déballage et le processus de stockage, plutôt que sur le traitement général de l'air ambiant. La circulation au sein de l'armoire de stockage, l'alimentation en air locale au poste d'ouverture des cartons et la circulation interne au sein de l'EFEM sont autant de points de configuration plus proches de l'endroit où se produit le dégazage. Les caractéristiques communes de ces emplacements sont un espace restreint et un volume d’air limité. L'adéquation de la forme de l'élément filtrant et du volume d'air doit être vérifiée en fonction de la structure réelle. Concernant la configuration du filtrage du lien de stockage, veuillez vous référer àComment choisir des filtres chimiques pour les armoires de stockage de plaquettes ?。

Équipement de support industriel Aili

Pour des problèmes tels que le dégazage de la boîte à plaquettes, nous confirmons généralement avec le client si le dégazage se produit principalement à l'état fermé de la boîte ou pendant l'opération d'ouverture de la boîte, puis déterminons si le filtre local doit être placé dans l'armoire de stockage, la station d'ouverture de la boîte ou la section de circulation EFEM. Aili Industry peut fournir des packages de sélection pour les produits de filtration chimique de type boîte, plaque plate et type V. Pour les packages MAU de type boîte, veuillez vous référer àFiltre chimique de type boîte MAU , la série de produits peut être consultéeGamme de produits de filtres chimiques . Les applications côté équipement peuvent adopter la forme de filtration chimique FFU, intégrant une couche d'adsorption chimique et une filtration de particules HEPA/ULPA. La structure chimique d’abord particulaire convient aux micro-environnements tels que les armoires de stockage et l’EFEM. L'élément filtrant compact peut être personnalisé en fonction de l'espace de l'armoire et du volume d'air en circulation. L'extrémité fabrication couvre les moteurs, les ventilateurs, les systèmes de contrôle, la tôle et l'assemblage complet de la machine. Les interfaces entre la section filtre et le ventilateur de circulation de l'armoire peuvent être alignées dans le même emballage. L'effet spécifique du gaz, l'environnement applicable et le cycle de remplacement doivent encore être vérifiés sur la base des données de configuration correspondantes et des conditions de travail sur site. Les résultats réels sont soumis aux résultats de la détection des fuites et des gaz sur site.

Questions et réponses connexes

La pièce est équipée d'un filtre chimique. Le gaz libéré par la boîte à plaquettes doit-il être traité séparément ?
Cela dépend si la boîte est fermée pour le stockage. Lorsque l'air du caisson ne circule pas avec le local, le filtre d'ambiance ne peut pas gérer l'accumulation dans le caisson, et une circulation dans l'armoire de stockage ou une filtration locale au poste d'ouverture du caisson peuvent être nécessaires.

Le contenu résiduel de la cassette de plaquettes est élevé après le nettoyage. Faut-il d’abord le nettoyer ou le filtrer d’abord ?
Dans la plupart des cas, vérifiez d'abord le produit de nettoyage, les conditions de rinçage et de séchage. Si la source des résidus est contrôlée, la pression de filtration en aval sera beaucoup plus faible.

Aili Industrial peut-il aider à vérifier la filtration pendant le stockage des cassettes de plaquettes ?
Le mode de filtration locale peut être vérifié en fonction de la structure de l'armoire de stockage, du volume d'air en circulation et de la position d'évacuation de l'air. La configuration spécifique doit être confirmée en fonction des informations sur le produit et des conditions du site.

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