El filtro químico del gabinete de almacenamiento temporal de obleas debe seleccionarse de acuerdo con los requisitos de protección, el gas objetivo, el volumen de aire circulante y la liberación de material en el gabinete. La apariencia del gabinete o la limpieza de la habitación no pueden reemplazar las condiciones del flujo de aire y gas del microambiente. El gabinete de almacenamiento temporal es un espacio pequeño y su lógica de filtrado no es exactamente la misma que la configuración a nivel de habitación.

Primero determine qué es necesario proteger dentro del gabinete.

El objetivo de filtrado del gabinete de almacenamiento temporal de obleas depende de lo que se coloca en el gabinete, de cuánto tiempo se conserva y de cómo se abre la puerta del gabinete. El gabinete de almacenamiento temporal puede usarse para una estadía corta entre procesos, o puede usarse para almacenamiento de varias horas o incluso más; el gabinete sólo puede almacenar cajas de oblea, o puede almacenar tanto soportes como materiales de embalaje. Estas diferencias afectan los inventarios de gas objetivo y los requisitos de capacidad. El objeto de protección debe definirse claramente como la superficie de la oblea, el ambiente dentro de la caja o el aire en el gabinete, y luego se deben determinar los puntos de detección y las posiciones de filtrado. Si en general decimos 'el interior del armario debe estar limpio', no existe una base de selección comparable.

La ruta del aire en el gabinete determina la posición de la sección del filtro.

El recorrido del aire de circulación del gabinete de almacenamiento temporal suele ser más corto que el de la caja de aire acondicionado y la posición de la sección del filtro tiene un impacto más directo en la cobertura del flujo de aire. Las disposiciones comunes incluyen circulación superior del gabinete, retorno de aire posterior, suministro de aire lateral, etc. La sección del filtro debe colocarse donde el flujo de aire pueda cubrir el área de almacenamiento de obleas, en lugar de ocuparse solo de una determinada esquina del gabinete. Si la puerta del gabinete se abre con frecuencia, el hecho de que el aire exterior pueda ser procesado a tiempo por la sección del filtro de circulación después de ingresar también depende de la dirección del suministro de aire y del volumen de aire. En cuanto a la diferencia entre el microambiente y las condiciones de la habitación, consulte¿Qué contaminantes moleculares deben evaluarse en las áreas de almacenamiento de FOUP?。

El volumen de aire circulante y la resistencia de la sección del filtro deben coincidir

El volumen de aire circulante en el gabinete suele ser limitado y la resistencia de la sección del filtro afecta directamente el efecto de circulación. Cuando el volumen de aire es bajo, la cantidad de intercambios de aire en el gabinete es insuficiente y los contaminantes pueden acumularse localmente; cuando la resistencia de la sección del filtro es alta, la capacidad del ventilador es insuficiente, lo que hace que el volumen de circulación real sea inferior al valor de diseño. Al seleccionar un modelo, debe verificar el volumen de aire que circula en el gabinete, la resistencia de la sección del filtro debajo de este volumen de aire y si el ventilador puede proporcionar suficiente presión estática. La estructura en forma de V proporciona una gran área de filtración en un espacio limitado, lo que ayuda a controlar la velocidad de la superficie y la resistencia a volúmenes de aire bajos. Para una comparación estructural en un espacio compacto, consulte¿MAU elige filtro químico tipo caja o tipo V?。

Los materiales y sellos del gabinete también son fuentes de liberación.

Las tiras selladoras, revestimientos, piezas de plástico y materiales de etiquetas dentro del gabinete de almacenamiento temporal pueden liberar componentes orgánicos o ácidos. El espacio dentro del gabinete es pequeño y el número de intercambios de aire es bajo. El efecto acumulativo liberado por estos materiales puede ser más obvio que el ambiente de la habitación. Además de prestar atención a las entradas externas al seleccionar un modelo, también se debe comprender la situación de desgasificación del material del gabinete. Si es necesario, contrólelo mediante filtración circulante o reposición de material en el gabinete. Para problemas relacionados con materiales con baja desgasificación, consulte¿Cuáles son las implicaciones de los medios filtrantes químicos de baja desgasificación para procesos sensibles?。

Equipos de soporte industrial Aili

Para proyectos de microambientes, como gabinetes de almacenamiento temporal de obleas, generalmente primero confirmamos el volumen de aire circulante en el gabinete, el espacio de instalación de la sección del filtro y los objetos de protección, y luego comparamos la forma del elemento filtrante y la configuración del medio. Aili Industry puede proporcionar paquetes de selección para productos de filtración química tipo caja, placa plana y tipo V. Para paquetes MAU tipo caja, consulteFiltro químico tipo caja MAU , se puede ver la serie de productosGama de productos de filtros químicos . Las aplicaciones del lado del dispositivo pueden usarFiltro químico FFU , capa de adsorción química integrada contipo La filtración de partículas con filtro HEPA/ULPA , la estructura del producto químico primero y luego de las partículas, es adecuada para microambientes como gabinetes de almacenamiento temporales que requieren tanto AMC como partículas. El elemento filtrante compacto se puede personalizar según el espacio del gabinete y el volumen de aire circulante. La parte de fabricación cubre la investigación y el desarrollo independientes y la producción de motores y ventiladores, sistemas de control, chapa metálica y ensamblaje completo de máquinas. La interfaz y el volumen de aire coincidente entre la sección del filtro y el ventilador de circulación del gabinete se pueden verificar en el mismo paquete. El efecto específico del gas, el entorno aplicable y el ciclo de reemplazo aún deben verificarse en función de los datos de configuración correspondientes y las condiciones de trabajo en el sitio. Los resultados reales están sujetos a los resultados de la detección de fugas y de gas en el sitio.

Preguntas y respuestas relacionadas

El volumen de aire de circulación en el gabinete de almacenamiento temporal es pequeño, ¿puede seguir funcionando el filtro químico?
Sí, pero la resistencia de la sección del filtro y la capacidad del ventilador deben coincidir. Cuando el volumen de aire es pequeño, se debe seleccionar una estructura con baja velocidad superficial y resistencia moderada, y se debe confirmar que la cantidad de intercambios de aire en el gabinete cumpla con los requisitos.

No hay ningún olor evidente en el gabinete. ¿Aun así necesito instalar un filtro químico?
El olfato no es la única base para juzgar. La muy baja concentración de algunos componentes sensibles también puede afectar a la oblea. Esto debe juzgarse en función de los requisitos del proceso y las condiciones de liberación de gas de los materiales en el gabinete.

¿Puede Aili Industrial fabricar elementos filtrantes no estándar de acuerdo con el espacio del gabinete de almacenamiento temporal?
La estructura compacta del elemento filtrante se puede comprobar según el tamaño del gabinete y el volumen de aire circulante, y el filtro químico en forma FFU puede integrar filtración química y de partículas. La configuración específica debe confirmarse según la información del producto y las condiciones del sitio.

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Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.