웨이퍼 임시 보관 캐비닛의 화학 필터는 보호 요구 사항, 대상 가스, 순환 공기량 및 캐비닛의 물질 방출에 따라 선택해야 합니다. 캐비닛 외관이나 실내 청결도는 미세 환경의 가스 및 공기 흐름 조건을 대체할 수 없습니다. 임시 보관 캐비닛은 작은 공간이며 필터링 논리는 방 수준 구성과 정확히 동일하지 않습니다.

먼저 캐비닛 내부에서 보호해야 할 항목을 결정합니다.

웨이퍼 임시 보관 캐비닛의 필터링 대상은 캐비닛에 배치되는 항목, 보관 기간 및 캐비닛 도어가 열리는 방식에 따라 다릅니다. 임시 보관 캐비닛은 프로세스 간 짧은 체류를 위해 사용될 수도 있고, 몇 시간 또는 그 이상 보관을 위해 사용될 수도 있습니다. 캐비닛은 웨이퍼 상자만 보관할 수도 있고 캐리어와 포장재를 모두 보관할 수도 있습니다. 이러한 차이는 대상 가스 재고 및 용량 요구 사항에 영향을 미칩니다. 보호 대상은 웨이퍼 표면, 박스 내부 환경, 캐비닛 내부 공기 등으로 명확하게 정의한 후 감지 지점과 필터링 위치를 결정해야 합니다. 일반적으로 '캐비닛 내부가 깨끗해야 한다'고만 한다면 비교할만한 선택 근거가 없습니다.

캐비닛의 공기 경로에 따라 필터 섹션의 위치가 결정됩니다.

임시 보관 캐비닛의 순환 공기 경로는 일반적으로 에어컨 상자의 순환 공기 경로보다 짧으며 필터 섹션의 위치는 공기 흐름 범위에 더 직접적인 영향을 미칩니다. 일반적인 배열에는 캐비닛 상단 순환, 후면 공기 복귀, 측면 공기 공급 등이 포함됩니다. 필터 섹션은 캐비닛의 특정 모서리만 다루는 것이 아니라 공기 흐름이 웨이퍼 보관 영역을 덮을 수 있는 곳에 배치해야 합니다. 캐비닛 도어를 자주 여는 경우 외부 공기가 유입된 후 순환 필터 섹션에 의해 적시에 처리될 수 있는지 여부도 공기 공급 방향과 공기량에 따라 달라집니다. 미세환경과 실내조건의 차이는 다음을 참고하세요.FOUP 보관 영역에 대해 어떤 분자 오염물질을 평가해야 합니까?。

순환 공기량과 필터 섹션 저항이 일치해야 합니다.

캐비닛의 순환 공기량은 일반적으로 제한되어 있으며 필터 섹션의 저항은 순환 효과에 직접적인 영향을 미칩니다. 공기량이 적으면 캐비닛의 공기 교환 횟수가 충분하지 않아 오염 물질이 국부적으로 축적될 수 있습니다. 필터부 저항이 높으면 팬 용량이 부족하여 실제 순환량이 설계 값보다 낮아집니다. 모델을 선택할 때 캐비닛 내부의 순환 공기량, 이 공기량에 따른 필터부의 저항, 팬이 충분한 정압을 제공할 수 있는지 여부를 확인해야 합니다. V자형 구조는 제한된 공간에서 넓은 여과 면적을 제공하여 적은 공기량에서도 표면 속도와 저항을 제어하는 ​​데 도움이 됩니다. 컴팩트한 공간에서의 구조 비교는 다음을 참고하세요.MAU는 박스형 또는 V형 화학 필터를 선택합니까?。

캐비닛 재료와 씰도 누출 원인입니다.

임시 보관 캐비닛 내부의 밀봉 스트립, 코팅, 플라스틱 부품 및 라벨 재료 자체에서 유기 또는 산성 성분이 방출될 수 있습니다. 캐비닛 내부 공간이 작고 공기 교환 횟수가 적습니다. 이러한 재료에 의해 방출되는 누적 효과는 실내 환경보다 더 분명할 수 있습니다. 모델을 선택할 때 외부 입력에 주의하는 것 외에도 캐비닛 재질의 가스 방출 상황도 이해해야 합니다. 필요한 경우 캐비닛 내 순환여과나 재료교체 등을 통해 제어합니다. 가스 방출이 적은 재료와 관련된 문제는 다음을 참조하십시오.민감한 공정에서 가스 방출이 적은 화학 필터 매체의 의미는 무엇입니까?。

Aili 산업 지원 장비

웨이퍼 임시 보관 캐비닛과 같은 미세 환경 프로젝트의 경우 일반적으로 캐비닛의 순환 공기량, 필터 섹션의 설치 공간 및 보호 대상을 확인한 다음 필터 요소 형태와 매체 구성을 비교합니다. Aili Industry는 박스형, 평판형 및 V형 화학 여과 제품에 대한 선택 패키지를 제공할 수 있습니다. 박스형 MAU 패키지는 다음을 참조하세요.MAU 박스형 케미컬필터 , 제품시리즈를 보실 수 있습니다.화학 필터 제품군 . 장치측 애플리케이션은 다음을 사용할 수 있습니다.화학 필터 FFU 형태, 통합 화학 흡착층HEPA/ULPA 필터 입자 여과, 화학물질 1차, 입자 2차 구조는 AMC와 입자가 모두 필요한 임시 보관 캐비닛과 같은 미세 환경에 적합합니다. 소형 필터 요소는 캐비닛 공간과 순환 공기량에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다. 제조 단계에는 모터 및 팬, 제어 시스템, 판금 및 전체 기계 조립의 독립적인 R&D 및 생산이 포함됩니다. 필터부와 캐비닛 순환팬 사이의 인터페이스와 풍량 매칭을 동일한 패키지에서 확인할 수 있습니다. 특정 가스 효과, 적용 가능한 환경 및 교체 주기는 해당 구성 데이터 및 현장 작업 조건을 기반으로 여전히 검증되어야 합니다. 실제 결과는 현장 누출 감지 및 가스 감지 결과에 따라 달라질 수 있습니다.

관련 질문과 답변

임시 보관 캐비닛의 순환 공기량이 적습니다. 케미컬 필터가 계속 작동할 수 있습니까?
예. 하지만 필터 섹션 저항과 팬 용량이 일치해야 합니다. 공기량이 적은 경우에는 표면 속도가 낮고 저항이 중간 정도인 구조를 선택해야 하며 캐비닛의 공기 교환 횟수가 요구 사항을 충족하는지 확인해야 합니다.

캐비닛에서 뚜렷한 냄새가 나지 않는데도 화학 필터를 설치해야 합니까?
냄새가 판단의 유일한 기초는 아닙니다. 일부 민감한 구성 요소의 농도가 매우 낮으면 웨이퍼에도 영향을 미칠 수 있습니다. 이는 공정 요구사항과 캐비닛 내 자재의 가스 방출 조건을 기준으로 판단해야 합니다.

Aili Industrial은 임시 보관 캐비닛 공간에 따라 비표준 필터 요소를 만들 수 있습니까?
캐비닛 크기와 순환 공기량에 따라 컴팩트한 필터 엘리먼트 구조를 확인할 수 있으며 케미컬 필터 FFU 형태는 케미컬 및 입자 여과를 통합할 수 있습니다. 구체적인 구성은 제품정보 및 현장여건에 따라 확인이 필요합니다.

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