ウェーハ一時保管キャビネットのケミカルフィルターは、保護要件、対象ガス、循環空気量、キャビネット内の物質放出量に応じて選択する必要があります。 キャビネットの外観や部屋の清潔さは、微小環境のガスや空気の流れの状態に代わることはできません。一時保管キャビネットは小さなスペースであり、そのフィルタリング ロジックは部屋レベルの構成とまったく同じではありません。

まずキャビネット内で何を保護する必要があるかを決定します

ウエハ一時保管庫のフィルタリング対象は、保管庫内に何を置くか、保管期間、保管庫の扉の開け方によって異なります。一時保管キャビネットは、プロセス間の短期間の滞在に使用することも、数時間またはそれ以上の保管に使用することもできます。キャビネットにはウェーハボックスのみを保管することも、キャリアと梱包材の両方を保管することもできます。 これらの違いは、ターゲットガスの在庫と容量要件に影響を与えます。保護対象をウェーハ表面、ボックス内の環境、キャビネット内の空気など明確にし、検出点やフィルタリング位置を決定する必要があります。一般的に「庫内はきれいでなければならない」と言うだけでは、これに匹敵する選択基準はありません。

キャビネット内の空気経路がフィルターセクションの位置を決定します

一時保管庫の循環風路は通常、空調ボックスよりも短く、フィルター部の位置が風量範囲に直接影響します。 一般的な配置には、キャビネット上部の循環、背面の空気の戻り、側面の空気の供給などが含まれます。フィルタ セクションは、キャビネットの特定の隅にだけ対処するのではなく、空気流がウェーハ保管領域をカバーできる場所に配置する必要があります。キャビネットの扉を頻繁に開ける場合、外気が入ってから循環フィルター部での処理が間に合うかどうかは、給気方向や風量によっても異なります。微環境と室内条件の違いについては、こちらをご参照ください。FOUP 保管エリアではどのような分子汚染物質を評価する必要がありますか?。

循環風量とフィルター部の抵抗値が一致している必要があります

通常、キャビネット内の循環空気量には限界があり、フィルター部の抵抗が循環効果に直接影響します。 風量が少ないと庫内の空気の交換回数が不十分となり、局所的に汚染物質が蓄積する場合があります。フィルター部の抵抗が高いとファンの能力が不足し、実際の循環量が設計値より小さくなります。機種選定の際は、筐体内の循環風量とその風量におけるフィルター部の抵抗、ファンが十分な静圧を確保できるかなどを確認してください。 V 字型構造により、限られたスペースで大きな濾過面積が得られ、低風量時の表面速度と抵抗の制御に役立ちます。コンパクトスペースでの構造比較はこちらをご参照ください。MAUケミカルフィルターはボックス型かV型を選ぶ？。

キャビネットの材質やシールも放出源となります

一時保管キャビネット内のシールストリップ、コーティング、プラスチック部品、およびラベル素材自体が有機または酸性成分を放出する可能性があります。 庫内のスペースが狭く、空気の入れ替え回数が少ない。これらの物質によって放出される累積的な影響は、室内環境よりも明らかである可能性があります。機種選定の際には外部入力に注意するとともに、筐体材質のガスの発生状況も把握する必要があります。必要に応じて、循環ろ過やキャビネット内の材料交換などにより管理します。低アウトガス材料に関する問題については、以下を参照してください。低アウトガス化学フィルター媒体は繊細なプロセスにどのような影響を及ぼしますか?。

Aili産業支援装置

ウエハ一時保管庫などの微小環境プロジェクトでは、通常、庫内の循環風量、フィルター部の設置スペース、保護対象物などを確認し、フィルターエレメントの形状や媒体構成を比較します。アイリ工業では、ボックスタイプ、平板タイプ、Vタイプの化学ろ過製品の選択パッケージを提供できます。ボックスタイプのMAUパッケージについては、こちらをご覧ください。MAUボックス型ケミカルフィルター、製品シリーズをご覧いただけますケミカルフィルターの製品ラインナップ。デバイス側アプリケーションが使用できるのは、ケミカルフィルターFFUタイプ、化学吸着層一体型HEPA/ULPAフィルター粒子濾過は、化学物質が1番目、粒子が2番目の構造で、AMCと粒子の両方を必要とする一時保管キャビネットなどの微小環境に適しています。コンパクトなフィルターエレメントはキャビネットスペースや循環風量に合わせてカスタマイズが可能です。製造エンドは、モーターとファン、制御システム、板金、完全な機械アセンブリの独立した研究開発と生産をカバーします。フィルタ部とキャビネット循環ファンのインターフェースと風量のマッチングを同一パッケージで確認できます。特定のガスの影響、適用環境、および交換サイクルは、対応する構成データと現場の作業条件に基づいて検証する必要があります。実際の結果は、現場での漏れ検知およびガス検知の結果に左右されます。

関連する質問と回答

一時保管庫内の循環風量が少ないのですが、ケミカルフィルターは大丈夫でしょうか？
はい、ただしフィルターセクションの抵抗とファン容量が一致する必要があります。風量が少ない場合は、表面速度が低く、抵抗が適度な構造を選択し、必要に応じてキャビネット内の空気交換回数を確認してください。

庫内に目立った臭いはありませんが、ケミカルフィルターを設置する必要がありますか?
判断基準は匂いだけではありません。非常に低濃度の一部の敏感な成分もウェーハに影響を与える可能性があります。これは、プロセス要件とキャビネット内の材料のガス放出条件に基づいて判断する必要があります。

アイリ工業は一時保管庫のスペースに合わせて非標準フィルターエレメントを製造できますか?
キャビネットサイズや循環風量に合わせてコンパクトなフィルターエレメント構造を確認でき、ケミカルフィルターFFU形状により薬液ろ過と粒子ろ過を一体化できます。具体的な構成については、製品情報や現場の状況に応じて確認する必要があります。

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