Bộ lọc hóa học của tủ lưu trữ tạm thời wafer phải được lựa chọn theo yêu cầu bảo vệ, khí mục tiêu, thể tích không khí tuần hoàn và giải phóng vật liệu trong tủ. Hình thức bên ngoài của tủ hoặc độ sạch của phòng không thể thay thế được các điều kiện về khí và luồng không khí của môi trường vi mô. Tủ lưu trữ tạm thời là một không gian nhỏ và logic lọc của nó không hoàn toàn giống với cấu hình cấp phòng.

Đầu tiên xác định những gì cần bảo vệ bên trong tủ

Mục tiêu lọc của tủ lưu trữ tạm thời wafer phụ thuộc vào những gì được đặt trong tủ, thời gian lưu trữ và cách mở cửa tủ. Tủ lưu trữ tạm thời có thể được sử dụng trong thời gian ngắn giữa các quy trình hoặc có thể được sử dụng để lưu trữ trong vài giờ hoặc thậm chí lâu hơn; tủ chỉ có thể lưu trữ các hộp bánh xốp hoặc có thể lưu trữ cả vật liệu mang và vật liệu đóng gói. Những khác biệt này tác động đến lượng khí dự trữ mục tiêu và yêu cầu về công suất. Đối tượng bảo vệ phải được xác định rõ ràng là bề mặt wafer, môi trường bên trong hộp hoặc không khí trong tủ, sau đó xác định các điểm phát hiện và vị trí lọc. Nếu chúng ta chỉ nói chung chung “bên trong tủ phải sạch sẽ” thì không có căn cứ lựa chọn nào có thể so sánh được.

Đường dẫn khí trong tủ xác định vị trí phần lọc

Đường dẫn khí lưu thông của tủ đựng đồ tạm thời thường ngắn hơn đường dẫn khí của hộp điều hòa và vị trí của bộ phận lọc có tác động trực tiếp hơn đến phạm vi bao phủ của luồng khí. Các cách sắp xếp phổ biến bao gồm lưu thông phía trên tủ, hồi không khí phía sau, cấp không khí bên cạnh, v.v. Phần bộ lọc nên được đặt ở nơi luồng không khí có thể bao phủ khu vực lưu trữ wafer, thay vì chỉ xử lý một góc nhất định của tủ. Nếu cửa tủ được mở thường xuyên, việc bộ phận lọc tuần hoàn có thể xử lý không khí bên ngoài kịp thời sau khi đi vào hay không cũng phụ thuộc vào hướng cấp khí và lượng không khí. Về sự khác biệt giữa môi trường vi mô và điều kiện phòng, vui lòng tham khảoNhững chất gây ô nhiễm phân tử nào cần được đánh giá tại các khu vực lưu trữ FOUP?。

Lưu lượng không khí tuần hoàn và sức cản của phần bộ lọc phải phù hợp

Lượng không khí lưu thông trong tủ thường bị hạn chế và sức cản của phần bộ lọc ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu quả lưu thông. Khi thể tích không khí thấp, số lượng trao đổi không khí trong tủ không đủ và các chất ô nhiễm có thể tích tụ cục bộ; khi điện trở phần bộ lọc cao, công suất quạt không đủ khiến lưu lượng tuần hoàn thực tế thấp hơn giá trị thiết kế. Khi chọn model, bạn nên kiểm tra lượng không khí tuần hoàn trong tủ, điện trở của phần bộ lọc dưới lượng không khí này và liệu quạt có thể cung cấp đủ áp suất tĩnh hay không. Cấu trúc hình chữ V cung cấp diện tích lọc lớn trong không gian hạn chế, giúp kiểm soát tốc độ bề mặt và lực cản ở thể tích không khí thấp. Để so sánh cấu trúc trong không gian nhỏ gọn, vui lòng tham khảoMAU chọn loại hộp hay loại lọc hóa học loại V?。

Vật liệu tủ và seal cũng là nguồn phát tán

Các dải niêm phong, lớp phủ, bộ phận nhựa và vật liệu nhãn bên trong tủ bảo quản tạm thời có thể tự giải phóng các thành phần hữu cơ hoặc axit. Không gian bên trong tủ nhỏ và số lượng trao đổi không khí thấp. Hiệu ứng tích lũy do những vật liệu này tạo ra có thể rõ ràng hơn môi trường trong phòng. Ngoài việc chú ý đến đầu vào bên ngoài khi chọn model, bạn cũng nên hiểu rõ tình trạng thoát khí của vật liệu tủ. Nếu cần, hãy kiểm soát nó thông qua lọc tuần hoàn hoặc thay thế vật liệu trong tủ. Đối với các vấn đề liên quan đến vật liệu thoát khí thấp, vui lòng tham khảoÝ nghĩa của phương tiện lọc hóa học thải khí thấp đối với các quy trình nhạy cảm là gì?。

Thiết bị hỗ trợ công nghiệp Aili

Đối với các dự án môi trường vi mô như tủ lưu trữ tạm thời wafer, trước tiên chúng tôi thường xác nhận lượng không khí lưu thông trong tủ, không gian lắp đặt của phần bộ lọc và các đối tượng bảo vệ, sau đó so sánh dạng phần tử bộ lọc và cấu hình phương tiện. Aili Industry có thể cung cấp các gói lựa chọn cho các sản phẩm lọc hóa học loại hộp, tấm phẳng và loại V. Đối với các gói MAU dạng hộp, vui lòng tham khảoBộ lọc hóa học loại hộp MAU , dòng sản phẩm có thể được xemDòng sản lọc hóa học phẩm Các ứng dụng phía thiết bị có thể sử dụngLọc hóa học dạng FFU, tích hợp lớp hấp phụ hóa học vớiLọc hạt HEPA/ULPA , cấu trúc hạt hóa học thứ nhất và hạt thứ hai phù hợp với môi trường vi mô như tủ lưu trữ tạm thời yêu cầu cả AMC và hạt. Phần tử lọc nhỏ gọn có thể được tùy chỉnh theo không gian tủ và lượng không khí tuần hoàn. Giai đoạn sản xuất bao gồm hoạt động R&D độc lập và sản xuất động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Có thể kiểm tra giao diện và thể tích không khí phù hợp giữa phần bộ lọc và quạt tuần hoàn trong tủ trong cùng một gói. Hiệu ứng khí cụ thể, môi trường áp dụng và chu trình thay thế vẫn cần được xác minh dựa trên dữ liệu cấu hình tương ứng và điều kiện làm việc tại chỗ. Kết quả thực tế tùy thuộc vào kết quả phát hiện rò rỉ và phát hiện khí tại chỗ.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

Lượng không khí lưu thông trong tủ bảo quản tạm thời nhỏ, bộ lọc hóa chất còn hoạt động được không?
Có, nhưng điện trở phần bộ lọc và công suất quạt cần phải phù hợp. Khi thể tích không khí nhỏ, nên chọn cấu trúc có vận tốc bề mặt thấp và lực cản vừa phải, đồng thời số lượng trao đổi không khí trong tủ phải được xác nhận là đáp ứng yêu cầu.

Không có mùi rõ ràng trong tủ, tôi có cần lắp bộ lọc hóa học nữa không?
Mùi không phải là cơ sở duy nhất để đánh giá. Nồng độ rất thấp của một số thành phần nhạy cảm cũng có thể ảnh hưởng đến tấm bán dẫn. Điều này cần được đánh giá dựa trên các yêu cầu của quy trình và điều kiện thoát khí của vật liệu trong tủ.

Aili Industrial có thể tạo ra các bộ phận lọc phi tiêu chuẩn theo không gian tủ lưu trữ tạm thời không?
Cấu trúc phần tử lọc nhỏ gọn có thể được kiểm tra theo kích thước tủ và thể tích không khí tuần hoàn, đồng thời bộ lọc hóa học dạng FFU có thể tích hợp lọc hóa học và lọc hạt. Cấu hình cụ thể cần được xác nhận dựa trên thông tin sản phẩm và điều kiện trang web.

Bài viết liên quan

• Làm thế nào để ngăn chặn ô nhiễm khí xâm nhập vào khu vực chuyển wafer?

• Có thể kiểm soát lượng khí thải còn sót lại sau khi làm sạch băng wafer bằng cách lọc môi trường không?

• Lọc hóa học đầu vào không khí của EFEM tương ứng với yêu cầu về độ sạch của thiết bị như thế nào?

• Môi trường bảo quản khẩu trang có cần lọc hóa chất không?

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận