ガス状汚染物がウェーハ搬送領域に侵入するのをどのように防ぐべきでしょうか?

ウェーハ搬送エリアへのガス状汚染物質の交差侵入を減らすには、ソース、ドアエリア、装置のエアフローを同時に管理し、適切な化学濾過を設定する必要があります。 局所的なフィルター媒体の容量を増やすだけでは、開いた境界や不当な空気経路をすべて補うことはできません。移送領域における問題は、多くの場合、フィルターエレメント自体ではなく、空気がどこから来てどこへ行くかにあります。

まず、相互汚染の流入経路を特定します。

ウェーハ搬送エリアへのガス状汚染物質の流入は、通常 3 つの方向から発生します。隣接するプロセス エリアからの空気の侵入、FOUP またはキャリアによって運ばれる放出、および装置内の材料や動作プロセスからのガスの放出です。 これら 3 種類の音源は伝播方法が異なり、対応する制御位置も異なります。隣接エリアへの侵入は、主にドアエリアの圧力差とドアが開くタイミングに関係します。キャリアはウェーハカセットの搬送経路をたどります。装置内部のガス放出がフィルターセクションの下流で発生する場合、入口濾過がどれほど強力であっても、それをカバーすることはできません。調査にあたっては、送電ノード、隣接エリア、運用期間の濃度変化を比較し、ドミナントパスを確認した上で対策を決定する必要があります。外部からの汚染か内部からの汚染かの見分け方については、こちらをご参照ください。作業場の汚染が外部から来るのか内部から来るのかを区別するにはどうすればよいですか?。

ドアの面積とバッファ構造により、流入する空気の量が決まります。

ドアの開く頻度、圧力差の安定性、送信エリアと隣接エリア間のバッファールームの設定は、相互入力の量に直接影響します。 圧力差を評価しても、動的な作業条件下で瞬間的な逆流が存在しないことを意味するものではありません。ドアを開けた瞬間の気流の入れ替え、物流経路の継続的な漏れ、排気の変動などにより、短期的な入力が発生する可能性があります。一般的な改善の方向性としては、ドア領域の圧力差の安定化、緩衝セクションの設定、ドアを開ける順序の最適化、主要なインターフェースでの方向性のある空気の流れの維持などが挙げられます。これらの対策で削減できるのは「どれだけ汚染された空気が入ってくるか」ですが、化学濾過は「入ってくるガスが処理されているかどうか」に関係します。この 2 つは互いに置き換えることはできません。

局所的な化学ろ過は、実際の保護場所の上流に設置する必要があります。

ケミカルフィルターセクションの位置は、単に空気供給出口に設置されるのではなく、ウェーハが通過する実際の空気経路をカバーする必要があります。 移送エリア内には複数の微小環境が存在する場合があります。EFEM 内部循環、移送チャンバー、一時保管位置、積み込みポートなど、それぞれに異なる空気源と保護対象物があります。フィルター部が室内空気供給のみを担当しており、機器内部やドアを開けた瞬間から異物が侵入した場合でも、出口試験で基準を満たさない可能性があります。合理的なアプローチは、まず空気経路図を作成し、汚染が侵入する可能性のあるノードにマークを付けてから、フィルター セクションを入口、循環ループ、または局所保護位置のいずれに配置するかを決定することです。 EFEM吸気口と装置の清浄度要件の対応については、こちらをご参照ください。EFEM 空気入口の化学ろ過は、機器の清浄度要件にどのように対応していますか?。

フィルター素材の容量が気流組織の欠陥を補うことができない

境界が開いていたり、空気の流れが制御されていない場合、メディア層の数や容量を増やしても効果が限られていることがよくあります。 フィルタエレメントが大きくなるため、フィルタされていないセクションの空気は処理されず、媒体の容量が大きいため、交差流入する汚染物質はその経路を変更しません。通常、移送エリアの制御シーケンスは、まず制御されていない入力（ドア面積、バッファ、圧力差）を減らし、次に必要な空気流がマッチングフィルタセクションを通過することを確認し、最後にフィルタ材の容量と交換サイクルを確認します。順序が逆の場合、フィルターエレメントの交換頻度が高くなる可能性がありますが、問題は変わりません。局所濾過と室内濾過の分業についてはこちらをご覧ください。ケミカルフィルターは室内で単独で使用できますか?。

Aili産業支援装置

ウエハ搬送エリアなどのプロジェクトでは、通常、まずお客様と空気経路を描き、汚染の原因がドア部分なのか、キャリアなのか、それとも装置内部なのかを確認し、フィルタ部分をどこに配置するかを決定します。設置場所が EFEM または装置端の局所循環である場合、コンパクトなフィルターエレメントと FFU がより一般的に使用されます。部屋や緩衝区画であれば、ボックス型やV字型の構造が適しています。アイリ工業はFFUマッチング、ボックスタイプ、フラットタイプ、Vタイプの化学ろ過製品を提供できます。装置のコンパクトな構造は、スペースや風量に応じて標準以外の構成にも適応できます。元のシステムにインポートされたフィルターエレメントの交換が含まれる場合は、インターフェイスのサイズとメディアの要件に従ってチェックすることもできます。製造エンドには、モーター、ファン、制御システム、板金、完全な機械アセンブリが含まれます。フィルタセクションと空気供給構造の間のインターフェースは、同じパッケージ内に位置合わせすることができます。商品がご覧になれますケミカルフィルタ製品シリーズページ、ボックスタイプのマッチングを参照できますMAUボックス型ケミカルフィルタ、FFU一体型構成を参照可能ケミカルフィルターFFUのページです。特定のガスの影響、適用環境、および交換サイクルは、対応する構成データと現場の作業条件に基づいて検証する必要があります。実際の結果は、現場での漏れ検知およびガス検知の結果に左右されます。

関連する質問と回答

トランスミッション領域の圧力差が適切である場合、なぜガスのクロスオーバーが発生するのでしょうか?
圧力差によって平均的な流れの方向が管理され、ドアを開けた瞬間、物流経路や排気の変動時に短期的な入力が発生する可能性があります。適格な圧力差は、動的な動作条件下でクロスオーバーがないことを意味するものではありません。イベント記録とキーポイント検出に基づいて判断する必要があります。

給気口にケミカルフィルターを追加するだけで十分ですか？
それは汚染がどこから侵入するかによって異なります。装置内部やドアを開けた瞬間からの汚染の場合、給気だけではカバーできない場合があります。フィルタ部の位置は実際の空気の経路に基づいて決定してください。

Aili Industrial は、トランスミッションエリアにおけるローカルフィルタの選択を支援できますか?
風路や設置スペース、対象ガスに合わせてフィルター部の位置や製品形状を確認できます。装置のコンパクトな構造は、非標準的な方法で適応させることができます。具体的な構成については、対応する製品情報および現場の状況に基づいてご確認ください。

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