Как предотвратить попадание газовых загрязнений в зону переноса пластин?

Чтобы уменьшить перекрестное попадание газовых загрязнений в зону передачи пластин, необходимо одновременно управлять потоком воздуха в источнике, зоне дверей и оборудовании, а затем настроить соответствующую химическую фильтрацию. Только увеличение производительности местного фильтрующего материала не может компенсировать все открытые границы или необоснованные воздушные пути. Проблема в зоне перекачки зачастую заключается не в самом фильтрующем элементе, а в том, откуда и куда поступает воздух.

Сначала определите входные пути перекрестного загрязнения.

Поступление газовых загрязнений в зону передачи пластин обычно происходит с трех направлений: проникновение воздуха из соседних технологических зон, выбросы, переносимые ФОУП или носителями, и выделение газов из материалов и рабочих процессов внутри оборудования. Способы распространения этих трех типов источников различны, и соответствующие положения управления также различны. Проникновение в прилегающие помещения в основном связано с разницей давления в зоне двери и временем открытия двери; носитель следует по пути передачи кассеты с пластинами; когда внутреннее газовыделение оборудования происходит за фильтрующей секцией, какая бы сильная входная фильтрация ни была, она не может его перекрыть. В ходе расследования следует сначала сравнить изменения концентрации в узлах передачи, прилегающих районах и периодах эксплуатации, чтобы подтвердить доминирующий путь, прежде чем принимать решение о мерах. О том, как определить, происходит ли загрязнение снаружи или изнутри, см.Как отличить загрязнение цеха снаружи или изнутри?。

Площадь двери и буферная структура определяют, сколько воздуха будет поступать внутрь.

Частота открытия дверей, стабильность перепада давления и настройки буферной комнаты между зоной передачи и соседними зонами напрямую влияют на величину перекрестного ввода. Определение разницы давлений не означает, что в динамических условиях работы не происходит мгновенного обратного потока. Обмен воздушных потоков в момент открытия двери, постоянная утечка логистического канала и колебания выхлопных газов могут привести к кратковременному входу. Общие направления улучшения включают: стабилизацию разницы давления в зоне двери, установку буферных секций, оптимизацию последовательности открытия двери и поддержание направленного потока воздуха на ключевых интерфейсах. Эти меры уменьшают количество поступающего загрязненного воздуха, а химическая фильтрация определяет, был ли очищен поступающий газ. Эти двое не могут заменить друг друга.

Локальную химическую фильтрацию следует размещать перед фактически защищаемым местом.

Расположение секции химического фильтра должно охватывать фактический путь воздуха, через который проходит пластина, а не просто устанавливаться в порту подачи воздуха. Внутри зоны транспортировки может существовать несколько микросред: внутренняя циркуляция EFEM, передаточная камера, место временного хранения и загрузочное отверстие, каждая из которых имеет разные источники воздуха и защитные объекты. Если секция фильтра обрабатывает только подачу воздуха в помещение, а загрязнения проникают изнутри оборудования или в момент открытия двери, тест на выходе все равно может не соответствовать стандартам. Разумный подход состоит в том, чтобы сначала нарисовать схему воздушного потока и отметить узлы, куда могут попасть загрязнения, а затем определить, следует ли размещать секцию фильтра на входе, циркуляционном контуре или в позиции местной защиты. О соответствии воздухозаборника EFEM требованиям к чистоте оборудования см.Насколько химическая фильтрация приточного воздуха EFEM соответствует требованиям чистоты оборудования?。

Производительность фильтрующего материала не может компенсировать недостатки организации воздушного потока.

При наличии открытых границ или неконтролируемого воздушного потока увеличение количества слоев носителя или емкости часто имеет ограниченный успех. Воздух в нефильтрованной секции не будет обрабатываться, поскольку фильтрующий элемент становится больше, а перекрестно поступающие загрязнения не изменят свой путь из-за высокой производительности среды. Последовательность управления передаточной зоной обычно следующая: сначала уменьшить неконтролируемую подачу (дверную зону, буфер, перепад давления), затем убедиться, что необходимый поток воздуха проходит через соответствующую секцию фильтра, и, наконец, проверить производительность и цикл замены фильтрующего материала. Если порядок обратный, легко получить ситуацию, когда «фильтрующий элемент заменяется чаще, но проблема остается той же». Информацию о разделении труда между местной и комнатной фильтрацией см.Можно ли использовать химический фильтр в комнате отдельно?。

Промышленное вспомогательное оборудование Aili

В таких проектах, как зона передачи пластин, мы обычно вместе с клиентом сначала рисуем воздушный путь, чтобы подтвердить, исходит ли загрязнение из области двери, носителя или внутренней части оборудования, а затем определяем, где следует разместить секцию фильтра. Если расположением является EFEM или местная циркуляция на конце оборудования, чаще используются компактные фильтрующие элементы и FFU; если это помещение или буферная секция, больше подойдут коробчатые или V-образные конструкции. Aili Industry может предоставить соответствующие продукты для химической фильтрации FFU, коробчатого, плоского и V-типа. Компактная конструкция оборудования может быть адаптирована к нестандартным конфигурациям в зависимости от пространства и объема воздуха. Если исходная система предполагает замену импортных фильтрующих элементов, ее также можно проверить на соответствие размеру интерфейса и требованиям среды. Производство охватывает двигатели, вентиляторы, системы управления, листовой металл и полную сборку машин. Интерфейсы между секцией фильтра и конструкцией подачи воздуха могут быть объединены в одном корпусе. Товары можно посмотретьСтраница серии химических фильтров , соответствие коробчатому типу можно найти на страницеХимический фильтр коробчатого типа MAU , интегрированную конфигурацию FFU можно отнести кхимического фильтра FFU . Страница Конкретное воздействие газа, применимая среда и цикл замены все еще необходимо проверять на основе соответствующих данных конфигурации и условий работы на месте. Фактические результаты зависят от результатов обнаружения утечек и газа на месте.

Связанные вопросы и ответы

Если разница давлений в зоне передачи квалифицирована, почему все еще существует пересечение газа?
Разница давлений управляет средним направлением потока, и кратковременный ввод может возникнуть в момент открытия двери, логистических каналов и колебаний вытяжного воздуха. Квалифицированная разница давлений не означает отсутствия пересечения в динамических условиях работы. Его необходимо оценивать на основе записей событий и обнаружения ключевых точек.

Достаточно ли просто добавить химический фильтр в вентиляционное отверстие?
Это зависит от того, куда попадает загрязнение. Если загрязнение происходит изнутри оборудования или при открытии дверцы, обработка только подачи воздуха может не покрыть его. Положение секции фильтра следует определять исходя из фактического пути прохождения воздуха.

Может ли компания Aili Industrial помочь в выборе местной фильтрации в зоне передачи?
Положение и форму секции фильтра можно проверить в зависимости от пути прохождения воздуха, места установки и целевого газа. Компактную конструкцию оборудования можно адаптировать нестандартным образом. Конкретную конфигурацию необходимо подтвердить на основе соответствующей информации о продукте и условий на месте.

Похожие статьи

• Как выбрать химические фильтры для вафельных шкафов?

• Какие молекулярные загрязнители необходимо оценить в зонах хранения FOUP?

• На какие источники АМС следует обращать внимание при подаче воздуха вокруг травильного оборудования?

• Могут ли зона мокрого процесса и зона фотолитографии использовать одну и ту же конфигурацию химической фильтрации?

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле