低粉塵化学媒体は、ろ過セクションからの粒子放出が懸念される装置側の用途に適していますが、特定の粒子ターゲット、空気流、およびその後のろ過と組み合わせて評価する必要があります。 粉塵が少ないということは、微粒子濾過が必要ないことを意味するものではなく、ガス適合性チェックの代わりになるものでもありません。装備を選定する際、粉落ち特性はあくまで条件の一つに過ぎません。
通常、機器の端のスペースはよりコンパクトで、フィルター材料は多くの場合、ウェーハ、光学部品、または精密機構のすぐ下流にあり、粒子放出の許容度は一般的な室内循環の許容度よりも低くなります。 部屋レベルのフィルターセクションの背後にはバッファーとして空気供給ダクトとエンドフィルターがありますが、機器側の化学フィルターセクションは保護対象物の直接上流に配置され、間に追加の粒子濾過の機会はありません。この場合、媒体自体の粉落ちの傾向、保護ネットの位置決め効果、フレームの密閉状態が下流側の粒子数に直接影響します。低ダストフィルター材の価値はまずこの位置に反映されます。
低ダストのフィルター材料が必要かどうかを判断するには、フィルターセクションの後に粒子が保護されているかどうか、および粒子に対する保護対象物の感度を確認することが重要です。 一般的なシナリオには、リソグラフィ装置の吸気口付近、EFEM の内部循環、ウェーハ一時保管キャビネット、マスク保管装置、検査または測定装置のローカル空気供給セクションが含まれます。これらの場所に共通するのは、ガスフィルターセクションと感応面の間の距離が短く、空気の流れの組織が比較的閉じており、粒子が一度放出されると簡単に希釈されないことです。装置端の空気取入口に必要なフィールドデータについては、こちらをご参照ください。リソグラフィー装置の空気入口の化学ろ過にはどのようなフィールド データが必要ですか? 。逆に、ケミカルフィルター部が空調ボックス内にあり、その下流にH13以上のパーティクルフィルターがある場合には、低発塵の優先度を適切に下げることができます。
低ダストは媒体の粒子濾過効率ではなく、媒体の放出傾向を表します。 これは、エアロゾル粒子に対する HEPA または ULPA の遮断効果に代わるものではありません。また、フィルター セクション全体が特定の清浄度レベルを満たすことを意味するものでもありません。装置側の一般的なアプローチは、化学フィルター セクションと粒子フィルター セクションを組み合わせることです。化学セクションは対象ガスを担当し、粒子セクションは下流の清浄度を担当します。両者の受け入れ方法や基準は異なります。低発塵フィルタ材質を理由に最終粒子ろ過をキャンセルした場合、ガス処理は基準値に達しているが粒子数が要件を満たさないリスクがあります。粒子濾過とガス濾過の分業に関する問題については、以下を参照してください。化学フィルター材料は下流に粒子汚染をもたらすのでしょうか?。
実際の下流の粒子の挙動は、同じ低粉塵媒体を異なるフレームやシール構造に設置した後では異なる場合があります。 メディアがしっかりと配置されているか、保護スクリーンがしっかりとフィットしているか、フレームにバリがないか、輸送や設置時に圧搾損傷がないかなどによって、粉落ちの結果が変わります。通常、機器側のフィルターエレメントのサイズは小さくなり、プリーツの密度とガスケットの圧縮は空気流の分布により影響を受けやすくなります。設置が適切でない場合、局所的な風速が高くなり、メディアの摩耗が悪化する可能性があります。したがって、低発塵濾材を評価する際には、濾材サンプルの粉体損失データだけを見るのではなく、製品全体の構造と取り付け手順を確認する必要があります。
装置側の化学ろ過に関しては、FFU マッチングとコンパクトなフィルターエレメントの 2 種類のニーズが大きくなっています。低発塵メディアを選択する場合、通常、フレーム構造、保護ネットの形状、および下流の粒子要件を確認する必要があります。メディアパラメータだけを見ると、インストールリンクの影響を見逃しがちです。 Aili Industry は、FFU マッチング、ボックス タイプ、フラット タイプ、および V 字型製品のメディア構成オプションを提供できます。装置のコンパクトな構造は、スペースや風量に応じて標準以外にも適応できます。元のシステムにインポートされたフィルターエレメントを交換する必要がある場合は、インターフェイスのサイズとメディアの要件に従ってチェックすることもできます。製造エンドには、モーター、ファン、制御システム、板金、完全な機械アセンブリが含まれます。フィルターセクションと空気供給構造の間のインターフェースは、同じパッケージ内に揃えることができます。商品がご覧になれますケミカルフィルタ製品シリーズページを参照してください。メディアタイプ、FFU一体型構成についてはケミカルフィルタFFUのページ、給気電源パッケージを参照できますFFUファンフィルターユニットのページです。特定のガス効果、粒子性能、交換サイクルは、対応する構成データと現場の作業条件に基づいて検証する必要があります。実際の結果は、現場での漏れ検出と粒子テストの結果の影響を受けます。
低塵フィルター材にはHEPAを搭載する必要はなくなりましたか?
いいえ。粉塵が少ないということは、媒体自体が放出される傾向を表しており、粒子フィルターの遮断効率に代わるものではありません。装置の末端で粒子濾過が必要かどうかは、清浄度レベルの要件に応じて別途確認する必要があります。
装置側で低発塵フィルター材が必要かどうかはどのように判断すればよいですか?
まず、フィルター セクションの下流に粒子保護装置があるかどうか、保護対象物が粒子の影響を受けやすいかどうか、空気の流れが閉じられているかどうかを確認します。 3 つの条件がすべて厳しい場合は、低発塵媒体と構造シールが優先的に評価される価値があります。
アイリ工業では装置スペースに合わせた低発塵フィルタ材を提供してもらえますか？
媒体と構造の形状は、装置の内部サイズ、空気量、下流の粒子要件に基づいてチェックでき、コンパクトなスペースを非標準的な方法で適応させることができます。具体的な構成については、対応する製品情報および現場の状況に基づいてご確認ください。
チェック項目 |
重要なポイントを確認する |
チェック項目 |
重要なポイントを確認する |
|---|---|---|---|
デバイスターゲット |
粒子の限界と位置を特定する |
メディア情報 |
リリーステスト条件を確認する |
組み合わせ順序 |
下流の粒子保護を確認する |
構造状態 |
保護ネットとシールの確認 |
設置品質 |
はみ出しやたわみを避ける |
現場検証 |
ガスと粒子を個別に検出 |
