¿Para qué aplicaciones del lado del equipo son adecuados los materiales filtrantes con bajo contenido de polvo?

Los medios químicos con bajo contenido de polvo son adecuados para aplicaciones en el lado del equipo donde la liberación de partículas de la sección de filtración es una preocupación, pero deben evaluarse junto con objetivos de partículas específicos, el flujo de aire y la filtración posterior. La baja cantidad de polvo no significa que no se requiera filtración de partículas, ni sustituye las comprobaciones de idoneidad del gas. Al seleccionar el equipo, la característica de caída de polvo es sólo una de las condiciones.

¿Por qué el equipo está más preocupado por la caída de polvo del material filtrante?

El espacio final del equipo suele ser más compacto, el material filtrante suele estar inmediatamente después de la oblea, los componentes ópticos o los mecanismos de precisión, y la tolerancia a la liberación de partículas es menor que la de una circulación general en la habitación. Hay conductos de suministro de aire y filtros finales detrás de la sección de filtro a nivel de la habitación como amortiguadores, mientras que la sección de filtro químico del lado del equipo puede ubicarse directamente aguas arriba del objeto protegido, sin oportunidades adicionales de filtración de partículas en el medio. En este caso, la tendencia del propio medio a perder polvo, el efecto de posicionamiento de la red protectora y el estado de sellado del marco afectarán directamente el recuento de partículas aguas abajo. El valor del material filtrante con bajo contenido de polvo se refleja primero en esta posición.

¿Qué escenarios del lado del dispositivo merecen una evaluación prioritaria?

Para determinar si se necesita material filtrante con bajo contenido de polvo, la clave es ver si hay protección contra partículas después de la sección del filtro y la sensibilidad del objeto protegido a las partículas. Los escenarios comunes incluyen: cerca de la entrada de aire de equipos de litografía, circulación interna de EFEM, gabinetes de almacenamiento temporal de obleas, equipos de almacenamiento de máscaras y secciones de suministro de aire local de equipos de inspección o medición. Lo que estas ubicaciones tienen en común es que la distancia entre la sección del filtro de gas y la superficie sensible es corta, la organización del flujo de aire es relativamente cerrada y las partículas no se diluyen fácilmente una vez liberadas. Con respecto a qué datos de campo se requieren para la entrada de aire en el extremo del equipo, consulte¿Qué datos de campo se necesitan para la filtración química de la entrada de aire de los equipos de litografía? . Por el contrario, si la sección del filtro químico está ubicada en la caja del aire acondicionado y hay un filtro de partículas H13 o de grado superior aguas abajo, la prioridad de bajo polvo se puede reducir adecuadamente.

Un nivel bajo de polvo no significa que se pueda prescindir de la filtración de partículas

La cantidad baja de polvo describe la tendencia del medio a liberarse, no su eficiencia de filtración de partículas. No puede reemplazar el efecto de interceptación de HEPA o ULPA sobre las partículas de aerosol, ni significa que toda la sección del filtro cumpla con un cierto nivel de limpieza. Un enfoque común en el lado del equipo es combinar una sección de filtro químico con una sección de filtro de partículas. La sección química es responsable del gas objetivo y la sección de partículas es responsable de la limpieza posterior. Los métodos y criterios de aceptación para los dos son diferentes. Si se cancela la filtración de partículas terminal debido a la selección de medios filtrantes con bajo contenido de polvo, el riesgo es que el tratamiento del gas alcance el estándar pero el recuento de partículas no cumpla con los requisitos. Para problemas relacionados con la división del trabajo entre partículas y filtración de gases, consulte¿Los materiales de filtrado químicos traerán contaminación por partículas río abajo?。

La estructura combinada afecta la pérdida real de polvo más que el propio medio.

El comportamiento real de las partículas aguas abajo puede ser diferente después de que se instala el mismo medio con bajo contenido de polvo en diferentes marcos y estructuras de sellado. Si el medio está colocado firmemente, si la pantalla protectora se ajusta bien, si hay rebabas en el marco y si hay algún daño por compresión durante el transporte y la instalación, todo esto cambiará el resultado de la pérdida de polvo. El tamaño del elemento filtrante en el extremo del equipo suele ser más pequeño y la densidad de los pliegues y la compresión de la junta de sellado son más sensibles a la distribución del flujo de aire. Cuando la instalación no está en su lugar, la velocidad del viento local es alta, lo que también puede agravar el desgaste del medio. Por lo tanto, al evaluar los medios filtrantes con bajo contenido de polvo, debe observar la estructura y las instrucciones de instalación de todo el producto, en lugar de simplemente observar los datos de pérdida de polvo de la muestra del medio.

Equipos de soporte industrial Aili

En cuanto a la filtración química del lado del equipo, estamos más expuestos a dos tipos de necesidades: combinación de FFU y elementos filtrantes compactos. Al seleccionar medios con bajo contenido de polvo, generalmente es necesario confirmar la estructura del marco, la forma de la red protectora y los requisitos de partículas posteriores. Es fácil pasar por alto el impacto del enlace de instalación al observar únicamente los parámetros del medio. Aili Industry puede proporcionar opciones de configuración de medios para productos compatibles con FFU, tipo caja, tipo plano y en forma de V. La estructura compacta del equipo se puede adaptar de forma no estándar según el espacio y el volumen de aire. Si se trata de reemplazar el elemento filtrante importado en el sistema original, también se puede verificar de acuerdo con el tamaño de la interfaz y los requisitos del medio. La parte de fabricación abarca motores, ventiladores, sistemas de control, chapa y montaje completo de máquinas. Las interfaces entre la sección de filtro y la estructura de suministro de aire se pueden alinear en el mismo paquete. Se pueden ver los productosPágina de la serie de productos de filtros químicos para obtener información sobre los tipos de medios; se puede consultar la configuración integrada de FFUPágina FFU del filtro químico , se puede consultar el paquete de energía de suministro de airePágina de la unidad de filtrado del ventilador FFU . El efecto específico del gas, el rendimiento de las partículas y el ciclo de reemplazo aún deben verificarse en función de los datos de configuración correspondientes y las condiciones de trabajo en el sitio. Los resultados reales están sujetos a los resultados de la detección de fugas y de las pruebas de partículas en el sitio.

Preguntas y respuestas relacionadas

¿Ya no es necesario equipar el material del filtro de bajo polvo con HEPA?
No. El nivel bajo de polvo describe la tendencia del medio a liberarse y no puede sustituir la eficiencia de interceptación del filtro de partículas. Si se requiere filtración de partículas terminales en el extremo del equipo debe confirmarse por separado de acuerdo con los requisitos del nivel de limpieza.

¿Cómo juzgar si se necesita material de filtro bajo en polvo al final del equipo?
Primero verifique si hay protección contra partículas detrás de la sección del filtro, si el objeto protegido es sensible a las partículas y si el flujo de aire está cerrado. Cuando las tres condiciones son severas, los medios con poco polvo y el sellado estructural merecen una evaluación prioritaria.

¿Puede Aili Industrial proporcionar material de filtro con bajo contenido de polvo que coincida con el espacio del equipo?
La forma del medio y la estructura se puede verificar en función de las dimensiones internas del equipo, el volumen de aire y los requisitos de partículas aguas abajo, y los espacios compactos se pueden adaptar de formas no estándar. La configuración específica debe confirmarse según la información del producto correspondiente y las condiciones in situ.

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Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.