La investigación del AMC sobre el suministro de aire alrededor del equipo de grabado debe basarse en los materiales relevantes, las operaciones del equipo, las áreas adyacentes y las fuentes externas de aire fresco. No se pueden inferir todos los gases basándose en el nombre del proceso de grabado, ni se puede utilizar el suministro de aire limpio para reemplazar el control de los gases de escape del proceso. El aire suplementario es un medio de protección, no un medio de tratamiento de emisiones.

Primero, distinga entre aire suplementario y escape de proceso.

La función del aire suplementario alrededor del equipo de grabado es mantener la condición del aire del microambiente o área de operación del equipo, mientras que el escape del proceso requiere sistemas especiales de escape y tratamiento. A menudo se habla de ambos juntos. La sección de filtro del sistema de aire de reposición maneja el aire ambiental que ingresa a los alrededores del equipo. El gas de escape generado por el proceso debe descargarse a través del tubo de escape y no debe 'diluirse' confiando en la filtración del aire de reposición. Si el aire de escape es insuficiente o no se aplican medidas de sellado, el gas de proceso puede entrar en la zona de aire suplementario. En este caso, es necesario solucionar primero el problema de los gases de escape en lugar de reforzar la filtración de aire suplementaria. Distinguir estos dos sistemas es el requisito previo para investigar el origen del AMC.

AMC externo que el aire suplementario puede traer

Si el aire suplementario es aire fresco o proviene de un área adyacente, se puede llevar AMC externo al área circundante del equipo. Las fuentes incluyen gases ácidos y emisiones orgánicas en el aire exterior, volátiles de procesos húmedos adyacentes o áreas de limpieza y otras emisiones de procesos transportadas por sistemas de aire de retorno. La ubicación y la configuración de los medios de la sección del filtro de aire de reposición deben diseñarse para estas fuentes externas. Si la entrada de aire de reposición está cerca de la salida de escape o de una fuente de contaminación, la carga introducida puede ser mayor. Durante la investigación, se debe registrar la ubicación de la entrada de aire y el entorno circundante para determinar la proporción de entrada externa en la carga total. En cuanto al método para distinguir la contaminación externa e interna, consulte¿Cómo distinguir si la contaminación del taller viene del exterior o del interior?。

Las operaciones de equipos y las emisiones de materiales son otra fuente

Las operaciones de mantenimiento del propio equipo de grabado, la apertura de la cámara, la sustitución de consumibles y el almacenamiento de materiales periféricos pueden provocar liberaciones a corto plazo. Estas emisiones ocurren cerca del equipo, a diferencia de las entradas externas de aire de reposición, y pueden concentrarse durante períodos de operación específicos. Si la sección del filtro de aire de reposición está ubicada aguas arriba del equipo y la liberación ocurre aguas abajo, la sección del filtro no cubrirá esta parte de la contaminación. Durante la investigación, se deben combinar los registros de operación del equipo y el período de aparición del olor o concentración para determinar la contribución de la liberación interna. Con respecto a la configuración de filtrado del microambiente del lado del dispositivo, consulte¿Cómo corresponde la filtración química de entrada de aire EFEM a los requisitos de limpieza del equipo?。

No se pueden ignorar las regiones adyacentes y la propagación entre regiones

La periferia del equipo de grabado suele estar adyacente a otros procesos. La niebla ácida, el gas alcalino o la liberación orgánica de áreas adyacentes pueden ingresar a través de áreas de puertas, espacios o aire de retorno compartido. Las rutas de propagación de estas fuentes son diferentes de las de los sistemas de aire de reposición y la configuración de filtrado debe cubrir la ruta de aire real. Si la transmisión entre regiones es obvia, puede ser más directo mejorar las particiones, las diferencias de presión o el escape local que agregar secciones de filtro de aire suplementarias. Durante la investigación, se deben comparar los cambios de concentración y período de tiempo alrededor del equipo y las áreas adyacentes para confirmar la ruta dominante.

Equipos de soporte industrial Aili

Para el paquete de filtración de aire suplementario alrededor del equipo de grabado, generalmente recomendamos que los clientes primero investiguen por separado la entrada externa, la liberación del equipo y la transmisión del área adyacente, y luego determinen si la sección del filtro debe colocarse en la entrada de aire suplementario, la sección de circulación o la ubicación local en el extremo del equipo. Aili Industry puede proporcionar paquetes de selección para productos de filtración química tipo caja, placa plana y tipo V. Para paquetes MAU tipo caja, consulteFiltro químico tipo caja MAU , se puede ver la serie de productosGama de productos de filtros químicos . Las aplicaciones del lado del dispositivo pueden usarFiltro químico FFU , capa de adsorción química integrada contipo Filtración de partículas con filtro HEPA/ULPA , la sección de suministro de aire local se puede configurar de acuerdo con el espacio del equipo y el gas objetivo. La parte de fabricación cubre la investigación y el desarrollo independientes y la producción de motores y ventiladores, sistemas de control, chapa metálica y ensamblaje completo de máquinas. La ruta de suministro de aire, la posición de la sección del filtro y el punto de funcionamiento del ventilador se pueden verificar en el mismo paquete, y las estructuras no estándar se pueden ajustar de acuerdo con la disposición del equipo. El efecto específico del gas, el entorno aplicable y el ciclo de reemplazo aún deben verificarse en función de los datos de configuración correspondientes y las condiciones de trabajo en el sitio. Los resultados reales están sujetos a los resultados de la detección de fugas y de gas en el sitio.

Preguntas y respuestas relacionadas

El equipo de grabado está equipado con un filtro químico para el suministro de aire. ¿Todavía es necesario tratar los gases de escape del proceso?
necesidad. La filtración de aire suplementaria procesa el aire ambiente que ingresa al entorno del equipo. Los gases de escape del proceso deben procesarse por separado a través de los sistemas de escape y de tratamiento. Los dos no pueden reemplazarse mutuamente.

¿La ubicación de la entrada de aire suplementaria tiene algún impacto en el AMC?
influyente. Cuando la entrada de aire está cerca de la salida de escape o de una fuente de contaminación, la carga puede ser mayor. Durante la investigación, se debe registrar la ubicación de la entrada de aire y el entorno circundante.

¿Puede Aili Industrial ayudar en la selección de filtración de aire suplementaria para el área de grabado?
La ubicación de la sección del filtro y la forma del producto se pueden verificar según la ruta de suministro de aire, el gas objetivo y el espacio del equipo. El plan específico debe confirmarse en función de los datos del producto y las condiciones de trabajo en el sitio.

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