直接答案:ISO 5不直接规定FFU必须使用HEPA还是ULPA。过滤器应根据工艺颗粒控制要求、目标风量、设计阻力、密封和检测要求选择。若提高过滤效率等级,还要重新校核FFU在装配该过滤器后的实际风量,并通过现场颗粒浓度测试验证洁净目标。
ISO 14644-1以空气中悬浮颗粒的浓度对洁净室和洁净区分类。ISO 5说明的是需要达到的空气洁净结果,并不能单独决定某一款过滤器的型号。选用HEPA或ULPA空气过滤器时,还须考虑工艺、送风和安装条件。
如果整个房间要求达到ISO 5,应结合全室送风布置、人员与设备发尘及回风路径确定过滤方案。如果要求主要集中在设备附近,应明确局部洁净区的范围及设备端送风条件。
两类项目可能采用不同的FFU布置和过滤器配置。不能只凭“ISO 5”三个字,把所有位置统一指定为ULPA过滤器;也不能忽略关键工艺区域更严格的颗粒控制要求。
过滤器资料应注明效率检测条件,以及设计风量下的初始阻力。将过滤器装入FFU风机过滤单元后,应核对整机在项目运行档位和阻力条件下能否达到目标风量。
若项目选择ULPA过滤器,或从原方案升级过滤等级,需要同步复核风机工作点、功耗与风速分布。更高过滤效率并不能代替足够的送风和合理的气流组织。
过滤器外形尺寸、框架及密封方式应与FFU箱体匹配。项目还应明确过滤器检测资料、装机后的密封检查要求,以及吊顶或设备端的检修、更换空间。过滤器本身合格,但安装处发生泄漏,仍会影响实际洁净效果。
验收时,应在技术协议约定的运行状态下检查FFU风量、气流分布及颗粒浓度。洁净室性能测试也应采用与气流类型和运行状态相适应的方法;ISO 14644-3提供了相应的测试方法框架。
艾立工业可结合ISO 5区域范围、工艺颗粒控制要求、目标风量及安装条件,匹配过滤器、风机、电机与箱体结构。批量项目建议先用样机确认过滤器密封和整机性能,再将过滤器配置、测试条件与现场验收要求写入技术协议。具体配置以项目工况和测试结果为准。
判断是否需要ULPA的关键,不是等级名称本身,而是项目的颗粒控制要求、整机送风能力与现场验证结果。