ISO 5 クリーンルーム用の FFU フィルターはどのように選択すればよいですか? ULPAを使用する必要がありますか?

直接の答え: ISO 5 では、FFU が HEPA と ULPA のどちらを使用しなければならないかを直接指定していません。フィルターは、プロセス粒子制御要件、目標空気量、設計抵抗、シールおよび検査要件に基づいて選択する必要があります。濾過効率レベルを向上させる場合には、フィルター設置後のFFUの実風量を再確認し、現場での粒子濃度試験により清浄度目標を確認する必要があります。

ISO 14644-1 では、空気中の浮遊粒子の濃度に基づいてクリーン ルームとクリーン エリアを分類しています。 ISO 5 では、達成する必要がある空気清浄効果について説明していますが、これだけで特定のフィルターのモデルを決定することはできません。選択HEPA または ULPA エア フィルターを使用する場合は、プロセス、空気供給、設置条件も考慮する必要があります。

最初の質問: ISO 5 は部屋全体をカバーすることを必要としますか、それともローカルのプロセスエリアをカバーする必要がありますか?

部屋全体が ISO 5 を満たす必要がある場合は、部屋全体の給気レイアウト、人員や機器による発塵、戻り空気の経路に基づいて濾過計画を決定する必要があります。要件が主に装置付近に集中している場合は、局所クリーンエリアの範囲と装置端での空気供給条件を明確に定義する必要があります。

2 種類のプロジェクトは、異なる FFU 配置とフィルター構成を使用する場合があります。 「ISO 5」という言葉だけを頼りにすべての場所を ULPA フィルターとして指定することはできません。また、主要なプロセス領域におけるより厳格な粒子制御要件を無視することはできません。

もう一度見てください。FFU にフィルターを取り付けた後、空気量はまだ十分ですか?

フィルタデータは、設計風量での効率試験条件と初期抵抗を示す必要があります。フィルターを取り付けますFFU ファンフィルターユニットの後、機械全体がプロジェクトの動作ギアと抵抗条件の下で目標の風量を達成できるかどうかをチェックする必要があります。

プロジェクトが選択されている場合ULPA フィルターの場合、または元のソリューションから濾過レベルをアップグレードする場合は、ファンの動作点、消費電力、風速分布を同時に検討する必要があります。より高い濾過効率は、適切な空気供給と合理的な空気流構成に代わるものではありません。

最終確認: 密閉、検査、交換は可能ですか?

フィルターの全体の寸法、フレーム、シール方法は FFU ボックスと一致する必要があります。プロジェクトでは、フィルターのテストデータ、設置後の密閉検査要件、天井または機器側のメンテナンスと交換のためのスペースも明確にする必要があります。フィルター自体は認定されていますが、設置場所での漏れは実際の洗浄効果に影響を与えます。

受け入れの際、FFU の空気量、空気流分布、粒子濃度を技術契約で指定された動作条件下でチェックする必要があります。クリーンルームの性能テストでは、空気の流れのタイプと動作条件に適した方法を使用する必要があります。 ISO 14644-3 は、対応するテスト方法のフレームワークを提供します。

Aili Industrial は、ISO 5 の領域範囲、プロセス粒子制御要件、目標空気量、設置条件を組み合わせてフィルター、ファン、モーター、ボックス構造に適合させることができます。バッチ プロジェクトの場合は、まずプロトタイプを使用してフィルターの密閉性と全体的な機械の性能を確認し、次にフィルターの構成、テスト条件、および現場での受け入れ要件を技術契約に記載することをお勧めします。特定の構成は、プロジェクトの作業条件とテスト結果によって異なります。

ULPAが必要かどうかを判断する鍵となるのは、グレード名そのものではなく、プロジェクトの粒子制御要件、完成機のエア供給能力、現場での検証結果です。