为满足小型FFU项目对控制系统的需求，艾立工业自主研发出这款控制系统。采用86型触摸屏操作方式，将FFU或EFU的设备数量、风速、启停和运行状态集中到一个小型控制面板中。
最多32台 86型面板 触摸操作 FFU/EFU兼容
区域设置 风速设置 启停控制 状态查看
最多控制32台FFU或EFU 86×86×26mm 现场触摸操作 适用于FFU及EFU
设置区域FFU数量 设置工作风速 区域统一启停 查看通信及运行状态
相比大型洁净室的电脑上位机群控系统，86型控制器更加适合设备数量较少、控制区域相对简单、需要现场触摸操作的项目。
小型洁净室 | EFU机台 | 局部洁净区域 | 小型FFU系统 |
|---|---|---|---|
少量FFU集中控制 | 少量EFU设备控制 | 独立区域控制 | 小规模洁净设备 |
设备数量≤32台 | 现场触摸操作 | 无需大型上位机 | 墙面安装 |
具体项目是否适合采用86型控制器，需要根据FFU/EFU数量、控制要求及现场布局确认。
整个系统由86型触摸面板和外部控制器组成。
86型触摸屏 → 4P连接线 → 外部控制器 → FFU/EFU
外部控制器尺寸为145×89.5×40.5mm，触摸面板尺寸为86×86×26mm。面板可以通过安装挂板直接安装到86底壳，再将屏幕卡入挂板。
86型触摸面板采用常见的86型安装尺寸，安装方式简单，适合需要将控制界面设置在洁净室墙面或设备附近的场景。
面板尺寸 | 安装方式 | 操作方式 | 连接方式 |
|---|---|---|---|
86×86×26mm | 86底壳安装 | 触摸操作 | 4线连接 |
安装挂板 | 墙面安装 | 现场操作 | 外部控制器连接 |
面板通过附带安装挂板安装在86底壳上，再将屏幕卡装到挂板上。
单套86型触摸式群控系统最多可以控制32台FFU，用于设备数量较少的集中控制场景。
对于EFU机台，也可以按照项目设备数量进行配置，单套最多控制32台FFU或EFU。
FFU/EFU 1 → FFU/EFU 2 → FFU/EFU 3 → …… → FFU/EFU 32
FFU | EFU | 最大控制数量 | 适用项目 |
|---|---|---|---|
支持 | 支持 | 最多32台 | 小型FFU/EFU项目 |
进入“参数设置”页面后，可以设置某一区域的FFU数量以及工作风速百分比，并可以同时设置两种不同的目标转速。
区域FFU数量 | 工作风速百分比 | 转速设置1 | 转速设置2 |
|---|---|---|---|
设置区域内FFU数量 | 设置工作风速百分比 | 设置一种目标转速 | 设置另一种目标转速 |
资料显示，参数设置页面可以对某一区域的FFU数量及工作风速百分比进行设置，并可同时设置两种需要的转速。
设备启停页面可以根据设定的转速，使某一区域的FFU按照设定转速运行，也可以使该区域FFU全部暂停。
选择区域 → 设置运行转速 → 启动区域 → FFU按照设定转速运行
选择区域 → 点击暂停 → 区域FFU停止运行
区域选择 | 设定转速 | 统一启动 | 统一暂停 |
|---|---|---|---|
选择指定区域 | 设置运行速度 | 区域FFU运行 | 区域FFU暂停 |
资料明确说明，设备启停页面可以使某一区域FFU按照设定转速全部运行或全部暂停。
运行状态页面可以查看FFU的转速百分比和当前转速数值，也可以直接设置其中一台或多台FFU的转速。
查看转速百分比 | 查看当前转速 | 单台调速 | 多台调速 |
|---|---|---|---|
查看设定比例 | 查看当前数值 | 调整指定FFU | 调整指定多台FFU |
通讯状态页面可以直接查看指定区域内FFU的通信状态。
当通信出现异常时，对应的绿色状态标识会变成红色，方便现场人员判断设备通信情况。
正常通信 | 通信异常 | 指定区域 | 状态查看 |
|---|---|---|---|
绿色标识 | 红色标识 | 查看区域FFU | 触摸屏直接查看 |
86型控制器还提供3路AC220V小负载控制，可根据实际项目用于照明灯、杀菌灯等小负载设备。
继电器1 | 继电器2 | 继电器3 | 控制方式 |
|---|---|---|---|
第1路负载 | 第2路负载 | 第3路负载 | 触摸屏直接控制 |
照明灯 | 杀菌灯 | 其他小负载 | AC220V |
资料说明3路AC220V小负载可用于照明灯、杀菌灯等，并可通过触摸屏直接控制负载启停。
外部控制器设置4种接口，分别用于电源、负载、触摸屏和FFU通信。
3P接口 | 6P接口 | 4P接口 | 2P接口 |
|---|---|---|---|
控制器供电 | 连接负载 | 连接触摸屏 | 连接FFU通信 |
220V电源 | 小负载控制 | 屏幕通信 | FFU通信 |
具体接口定义请参考艾立工业86型FFU/EFU群控操作说明书。
最多32台FFU/EFU | 86型触摸面板 | 小型项目适用 | EFU机台适用 |
|---|---|---|---|
单套最多控制32台 | 86×86×26mm | 适合少量设备 | 适合少量EFU |
区域参数设置 | 区域启停 | 单台调速 | 多台调速 |
设置FFU数量和转速 | 区域统一运行/暂停 | 单台设备调整 | 多台设备调整 |
通信状态查看 | 运行状态查看 | 3路小负载 | 墙面安装 |
查看通信异常 | 查看转速信息 | AC220V小负载 | 86底壳安装 |
参数项目 | 参数/说明 |
|---|---|
产品名称 | 86型FFU/EFU控制器 |
产品类型 | 86型面板式触摸群控系统 |
控制对象 | FFU、EFU |
最大控制数量 | 最多32台FFU或EFU |
面板尺寸 | 86×86×26mm |
外部控制器尺寸 | 145×89.5×40.5mm |
安装方式 | 86底壳安装 |
操作方式 | 触摸屏操作 |
FFU区域设置 | 支持 |
工作风速设置 | 支持百分比设置 |
转速设置 | 支持两种设定转速 |
区域启停 | 支持 |
单台FFU调速 | 支持 |
多台FFU调速 | 支持 |
FFU通信状态查看 | 支持 |
FFU运行状态查看 | 支持 |
AC220V小负载控制 | 3路 |
负载应用 | 照明灯、杀菌灯等小负载 |
控制器供电接口 | 3P |
负载接口 | 6P |
屏幕接口 | 4P |
FFU通信接口 | 2P |
屏幕连接方式 | 4线连接 |
适用场景 | 小型FFU项目、EFU机台等设备数量较少的场景 |
具体参数根据项目而定。
86型控制器更适合设备数量较少、需要现场触摸操作的FFU/EFU项目；当FFU数量较多、需要电脑端集中监控、数据统计、复杂区域管理或多系统对接时，可以根据项目需求配置电脑群控系统。
86型FFU/EFU控制器 | 电脑群控系统 |
|---|---|
最多32台FFU/EFU | 根据项目配置系统规模 |
86型触摸面板 | 电脑上位机 |
现场触摸操作 | 电脑集中管理 |
适合小型项目 | 适合较大规模集中管理 |
适合EFU机台 | 可根据项目建立多区域管理 |
结构相对简单 | 功能及数据管理更加丰富 |
设备数量较少 → 86型控制器
设备数量较多 → 电脑群控系统
最终方案根据FFU/EFU数量、现场布局及控制需求确定。
EFU机台 | 小型洁净室 | 局部洁净区域 | 小型洁净设备 |
|---|---|---|---|
少量EFU集中控制 | 少量FFU控制 | 独立区域控制 | 小规模设备控制 |
≤32台设备 | 触摸操作 | 墙面安装 | 区域启停 |
如果项目具有以下特点，可以优先考虑86型控制器：
设备数量较少 | 需要现场操作 | 主要控制FFU/EFU | 需要墙面安装 |
|---|---|---|---|
最多32台 | 触摸屏操作 | FFU或EFU | 86底壳安装 |
需要区域控制 | 需要调速 | 需要通信状态查看 | 需要小负载控制 |
区域启停 | 调整设备转速 | 查看通信状态 | 3路AC220V负载 |
86型触摸面板通过附带安装挂板安装在86底壳中，屏幕再卡装到安装挂板上。
86底壳 → 安装挂板 → 86型触摸屏 → 外部控制器
外部控制器采用145×89.5×40.5mm尺寸设计。
单套最多可以控制32台FFU或EFU。
主要适合设备数量较少的小型FFU项目，以及EFU机台等需要少量设备集中控制的应用场景。
该控制器资料明确支持FFU控制。作为FFU/EFU控制方案使用时，具体需要根据EFU的控制器、电机及通信配置确认。
触摸面板尺寸为86×86×26mm，可以安装在86底壳中。
可以。系统可以设置工作风速百分比，并可以直接设置一台或多台FFU的转速。
可以。通讯状态页面可以查看指定区域内FFU的通信状态，通信异常时绿色标识会变成红色。
可以。设备启停页面可以让某一区域的FFU按照设定转速运行，也可以全部暂停。
可以。控制器提供3路AC220V小负载控制，可用于照明灯、杀菌灯等小负载。
86型控制器采用触摸屏现场操作，单套最多控制32台FFU或EFU，更适合小型项目及EFU机台等设备数量较少的场景。电脑群控系统则适合需要更大规模设备集中监控和更多系统管理功能的项目。
需要根据设备数量和控制需求重新配置群控方案，可以考虑采用电脑群控系统或增加相应控制系统。具体方案需要结合项目情况确定。
如果您的项目需要控制的FFU/EFU数量不多，同时希望通过墙面触摸屏完成设备启停、风速调整、运行状态和通信状态查看，可以根据设备数量和现场布局选择艾立工业86型FFU/EFU控制器。
提供设备数量 | 提供设备型号 | 提供现场布局 | 说明控制需求 |
|---|---|---|---|
FFU/EFU数量 | FFU/EFU型号 | 安装位置及区域 | 启停、调速、状态查看 |
提供项目资料 → 确认设备数量 → 确认控制需求 → 确定控制器配置
艾立工业提供多种类型FFU，可按维护方式、功能特性、应用场景及尺寸规格进行分类选型，同时支持非标定制。
维护人员无需攀爬，在地面即可完成滤网更换，有效降低登高作业风险。
采用底部更换滤网设计，单台滤网更换耗时较短，适用于层高不低于2.4m的洁净室。风量范围900-1500m³/h，运行噪音≤58dB，箱体材质可选304不锈钢、镀铝锌板、铝板、烤漆钢板等不同的材质。
维护人员从吊顶上方技术夹层进行操作，不占用洁净室内部作业空间。
采用顶部更换滤网方式，这是传统FFU的标准维护方式，适用于吊顶上方有足够维护空间的洁净室，适合常规洁净室吊顶安装场景。
适配EFEM、Load Port等半导体微环境，满足层高受限空间的洁净需求。
专为半导体制造设备及紧凑型空间研发，风机主体厚度压缩至70mm。采用自研直流电机与高精度动平衡铝合金风轮。可选配PTFE无硼超细滤网。控制接口支持RS485/Modbus协议，箱体材质可选轻量化铝合金或不锈钢。
搭载直流无刷电机，可比交流FFU节能30%-50%，支持无级调速与智能群控。
采用直流无刷电机驱动，电能转化效率更高，平均功率约60W-180W。支持0-100%无级调速。运行噪音约52-58分贝，比交流FFU低5-7分贝。支持RS485/Modbus协议接入中央监控系统。
电机与电气系统满足防爆规范要求，专为锂电新能源等易燃易爆环境设计。
针对锂电池产线的实际工艺段和防爆分区，进行设备材质、电机选型与电气设计的针对性优化。采用防爆电机与防静电箱体材质，满足相关防爆规范要求。曾为锂电池新建产线加急定制，5天内完成生产、配送与现场调试。
防静电FFU集成静电消除装置实时中和气流电荷，避免静电放电对精密电子产品的损害。
针对半导体与电子制造特性，箱体材质及滤网均可提供防静电处理选项。通过集成静电消除装置，电离空气产生正负离子，有效中和气流中的静电荷。可选防静电复合涂层，表面电阻稳定，粉尘吸附量可有效降低。
艾立工业不锈钢FFU全不锈钢箱体耐腐蚀且不易滋生微生物，适用于医药、食品等卫生要求较高的场景。
箱体采用SUS304或SUS316L不锈钢制造，具有较强的耐腐蚀和抗氧化能力。适用于食品工业、生物医药、腐蚀性气体环境等对卫生要求较高的场景。表面经精细化抛光处理，便于清洁和消毒，结构设计减少缝隙与死角。
艾立工业大风量FFU风速可定制至2m/s以上，满足精密涂布、干燥固化等对大风量送风的工艺要求。
适用于对送风量有较高要求的工艺场景，如精密涂布、干燥固化等需要较强气流携带热量的工序。电机功率和风机选型按高风量需求重新匹配，确保大风量下仍保持较低噪音和稳定运行。
专为松下、ASM、富士等主流贴片机定制，机身高度可定制。
可直接无缝嵌装在贴片机顶部安全罩上，无需对进行改造。可选除静电款，带屏幕款等。除松下外，也可适配ASM、富士、雅马哈等品牌机型。
专为EFEM、Load Port、Sorter、Stocker、OHT及半导体清洗设备配套，支持与设备PLC联动控制。
对气流均匀性、无振动及长期连续运行有较高要求，适配各类半导体设备通讯协议。典型应用场景包括EFEM设备前端模块、晶圆传送盒接口、晶圆分选机、晶圆仓储系统、OHT天车内部微环境及半导体清洗设备等。
适用于TFT-LCD、AMOLED等面板产线，满足Array、Cell、Module工序对洁净度的差异化需求。
面板制造中，微小灰尘或纤维均可导致亮点、暗点、坏点等缺陷。艾立工业FFU可形成稳定的垂直层流送风，风速稳定在0.45m/s，确保粒子沉降效率较优。针对AMC气态分子污染物，可搭配化学过滤器去除酸碱及有机物。洁净度可满足LCD生产ISO 4-5级、OLED生产ISO 3-4级的要求。
艾立工业锂电行业专用FFU适用于极片涂布、电芯卷绕、电解液注液等工艺环节，从容应对高粉尘环境。
锂电池生产中，金属碎屑及导电性粉尘直接影响电池性能与安全性。艾立工业防护款FFU单元配HEPA或ULPA过滤器，高效拦截粉尘及纤维污染物。注液区可选用防爆FFU，杜绝静电火花风险，确保生产安全。
