Comment inscrire les exigences de faible dégazage des semi-conducteurs FFU dans les conditions matérielles et d'achat
Pourquoi ne pouvons-nous pas simplement écrire une phrase sur les exigences en matière de faibles dégazages ?
Les salles blanches pour semi-conducteurs ont des exigences de contrôle de la contamination moléculaire gazeuse (AMC). Les matériaux à l'intérieur du FFU peuvent libérer des traces de gaz pendant le fonctionnement, tels que des produits d'étanchéité, des joints, des revêtements, des matériaux d'isolation des câbles et des pièces en plastique. Ces versions peuvent affecter l'environnement du processus.
Par conséquent, les projets de semi-conducteurs peuvent proposer de faibles exigences de dégazage lors de l’achat de FFU. Cependant, si les conditions d'achat indiquent uniquement « faible dégazage » ou « matériau de qualité propre », le fournisseur et l'acheteur peuvent avoir une compréhension incohérente des exigences. Les résultats de dégazage peuvent être différents selon les matériaux, les méthodes de test et les environnements d'utilisation.
Les exigences en matière de faible dégazage doivent définir clairement quels matériaux sont impliqués, quelles méthodes d'évaluation sont utilisées, dans quelles conditions et comment elles sont vérifiées et modifiées. Aili Industrial dispose de capacités de production complètes dans la fabrication de machines complètes FFU et peut fournir des solutions de configuration en fonction des exigences matérielles du projet. Pour la structure de base de la machine FFU, veuillez vous référer àUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU。
Quels matériaux doivent être inclus
Les exigences en matière de faibles dégazages doivent préciser la gamme de matériaux impliqués. Les matériaux pouvant être impliqués dans le FFU comprennent : les revêtements d’armoires ou les traitements de surface ; produits d'étanchéité et bandes d'étanchéité; cadres de filtres et matériaux d'étanchéité ; isolation et gaines de câbles ; boîtiers de contrôleur et pièces en plastique ; étiquettes et rubans adhésifs; lubrifiants et traitements de surface des fixations.
Différents matériaux ont des emplacements et des niveaux d'exposition différents dans le FFU. Les rejets provenant de matériaux situés à proximité du chemin d’alimentation en air peuvent être plus susceptibles de pénétrer dans la zone propre. Par conséquent, la gamme de matériaux peut être classée par emplacement et degré d’exposition.
Comment se mettre d'accord sur la méthode d'évaluation
La méthode d’évaluation du faible dégazage doit être claire. Les méthodes courantes incluent la désorption thermique, la chromatographie en phase gazeuse-spectrométrie de masse ou d'autres tests de libération de matériaux. La méthode d'évaluation doit décrire les indicateurs de température, de durée, de préparation des échantillons et de jugement de l'essai.
Si le projet répond à des normes industrielles ou à des normes d’entreprise, celles-ci peuvent être mentionnées dans les conditions de passation des marchés. S'il n'existe pas de normes claires, la méthode d'évaluation peut être déterminée en consultation avec le fournisseur.
La méthode d'évaluation doit être inscrite dans l'accord technique ou les conditions d'achat comme base d'acceptation. Si vous écrivez uniquement sur le faible dégazage sans écrire la méthode, il sera difficile de juger plus tard si elle répond aux exigences.
Comment expliquer l'environnement d'utilisation
Le comportement de dégazage est lié à l'environnement d'utilisation. La température, l'humidité et les conditions de fonctionnement peuvent affecter la libération du matériau. Par conséquent, les conditions d'achat doivent décrire l'environnement d'utilisation du FFU, y compris la plage de température, la plage d'humidité et le mode de fonctionnement.
Pour les salles blanches de semi-conducteurs, l’environnement dispose généralement d’un contrôle de la température et de l’humidité. Cependant, la température interne du FFU peut être légèrement supérieure à la température ambiante en raison du fonctionnement du ventilateur. Les conditions des tests de libération du matériau peuvent faire référence aux conditions d'utilisation réelles.
Comment se mettre d'accord sur le contrôle des changements
Les faibles exigences en matière de dégazage impliquent également un contrôle des changements. Si les fournisseurs de produits d'étanchéité, de câbles ou de pièces en plastique sont modifiés au cours de la production de FFU, les nouveaux matériaux devront peut-être être réévalués. Le contrôle des modifications doit clarifier quelles modifications importantes doivent être notifiées à la partie projet et si elles doivent être retestées ou confirmées.
Les enregistrements de modifications doivent être associés à la version globale de la configuration de la machine pour faciliter la traçabilité ultérieure.
Vérifier et documenter comment le faire
Une vérification du faible dégazage peut être fournie par le fournisseur de matériaux avec un rapport de test, ou le fabricant de FFU peut fournir une liste et une déclaration de matériaux. Pour les matériaux critiques, la partie au projet peut exiger des rapports de test ou une confirmation d'échantillon.
Les enregistrements de vérification doivent inclure le nom du matériau, le fournisseur, la méthode de test, les résultats des tests et les modèles applicables. Les enregistrements doivent correspondre à la configuration globale de la machine.
Problèmes qui doivent être confirmés à l'avance lors de la communication du projet
Lors de l’étape de confirmation des exigences de faible dégazage des FFU des semi-conducteurs, il est recommandé de confirmer les éléments suivants auprès du fabricant : la portée des matériaux impliqués ; méthodes d'évaluation et normes de jugement; conditions environnementales d'utilisation; fournisseurs de matériaux et rapports de tests ; les exigences en matière de contrôle des changements ; méthodes de vérification et d'enregistrement; correspondance avec la configuration complète de la machine ; si une confirmation du prototype est requise.
Si vous formulez des conditions d'achat de semi-conducteurs FFU à faible dégazage, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU pour en savoir plus sur la configuration complète de la machine, vous pouvez également vous référer àFiltres chimiques et contrôle de la contamination moléculaire AMC Découvrez les solutions de contrôle AMC ou contactez Aili Industries pour obtenir une assistance en matière de validation des matériaux.
en conclusion
Les faibles exigences de dégazage des FFU semi-conducteurs devraient clarifier la portée du matériau, la méthode d'évaluation, l'environnement d'utilisation et le contrôle des modifications. Il est difficile de juger si les produits d'étanchéité, les joints, les revêtements et les câbles répondent aux exigences du projet en écrivant uniquement sur les matériaux à faible dégazage ou de qualité propre. Les enregistrements de vérification doivent correspondre à la configuration globale de la machine et les modifications doivent être réévaluées.
Aili Industrial dispose de capacités de production complètes dans la fabrication de machines complètes FFU et peut fournir des solutions de configuration en fonction des exigences matérielles du projet. Si vous avez besoin d'en savoir plus sur les exigences en matière de matériaux semi-conducteurs FFU, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU , vous êtes également invités à contacter Aili Industrial pour une assistance au projet.
