반도체 FFU의 낮은 가스 방출 요구 사항을 재료 및 구매 조건에 기재하는 방법
낮은 가스 방출 요구 사항에 대해 한 문장으로 작성할 수 없는 이유는 무엇입니까?
반도체 클린룸에는 AMC(기체 분자 오염)에 대한 제어 요구 사항이 있습니다. FFU 내부의 재료는 작동 중에 밀봉제, 개스킷, 코팅, 케이블 절연 재료 및 플라스틱 부품과 같은 미량의 가스를 방출할 수 있습니다. 이러한 릴리스는 프로세스 환경에 영향을 미칠 수 있습니다.
따라서 반도체 프로젝트에서는 FFU를 구매할 때 낮은 가스 방출 요구 사항을 제시할 수 있습니다. 그러나 구매 조건에 '낮은 가스 방출' 또는 '청정 등급 재료'만 명시되어 있는 경우 공급자와 구매자는 요구 사항을 일관되지 않게 이해하고 있을 수 있습니다. 가스 방출 결과는 재료, 테스트 방법, 사용 환경에 따라 다를 수 있습니다.
낮은 가스 방출 요건은 어떤 재료가 관련되는지, 어떤 평가 방법이 사용되는지, 어떤 조건에서, 어떻게 검증 및 변경되는지를 명확하게 정의해야 합니다. Aili Industrial은 FFU 완전 기계 제조 분야에서 완전한 생산 능력을 보유하고 있으며 프로젝트 자재 요구 사항에 따라 구성 솔루션을 제공할 수 있습니다. FFU 기계의 기본 구조는 다음을 참조하십시오.Aili 산업용 FFU 팬 필터 장치。
어떤 자료가 포함되어야합니까?
낮은 가스 방출 요구 사항은 관련 재료의 범위를 지정해야 합니다. FFU에 포함될 수 있는 재료는 다음과 같습니다: 캐비닛 코팅 또는 표면 처리; 실런트 및 실링 스트립; 필터 프레임 및 밀봉재; 케이블 절연 및 재킷; 컨트롤러 하우징 및 플라스틱 부품; 라벨 및 테이프; 윤활제 및 패스너 표면 처리.
FFU에서는 재료마다 위치와 노출 수준이 다릅니다. 공기 공급 경로 가까이에 위치한 물질에서 방출된 물질은 청정 구역으로 유입될 가능성이 더 높습니다. 따라서 소재의 범위는 위치와 노출 정도에 따라 분류될 수 있습니다.
평가방법에 동의하는 방법
낮은 가스 방출에 대한 평가 방법은 명확해야 합니다. 일반적인 방법에는 열 탈착, 가스 크로마토그래피-질량 분석법 또는 기타 물질 방출 테스트가 포함됩니다. 평가 방법은 시험 온도, 시간, 시료 준비 및 판단 지표를 기술해야 합니다.
프로젝트에 산업 표준이나 기업 표준이 있는 경우 조달 조건에서 이를 인용할 수 있습니다. 명확한 기준이 없는 경우, 평가방법은 공급업체와 협의하여 결정할 수 있습니다.
평가방법은 기술협약이나 구매조건에 기술되어 승인의 근거가 되어야 합니다. 방법을 쓰지 않고 낮은 outgassing에 대해서만 쓴다면 나중에 요건을 충족하는지 판단하기 어려울 것입니다.
사용환경 설명방법
가스 방출 동작은 사용 환경과 관련이 있습니다. 온도, 습도 및 작동 조건은 물질 방출에 영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 구매 조건에는 온도 범위, 습도 범위 및 작동 모드를 포함하여 FFU의 사용 환경이 설명되어 있어야 합니다.
반도체 클린룸의 경우 일반적으로 온도와 습도 조절이 가능한 환경입니다. 단, 팬 동작으로 인해 FFU 내부 온도가 주변 온도보다 약간 높을 수 있습니다. 재료 방출 테스트 조건은 실제 사용 조건을 참조할 수 있습니다.
변경 통제에 동의하는 방법
낮은 가스 방출 요구 사항에는 변경 제어도 포함됩니다. FFU 생산 중에 실런트, 케이블 또는 플라스틱 부품 공급업체가 변경되면 새로운 재료를 재평가해야 할 수도 있습니다. 변경 통제는 프로젝트 당사자에게 어떤 중요한 변경 사항을 알려야 하는지, 그리고 재테스트나 확인이 필요한지 여부를 명확히 해야 합니다.
변경 기록은 후속 추적을 용이하게 하기 위해 전체 기계 구성 버전과 연관되어야 합니다.
수행 방법을 확인하고 문서화합니다.
낮은 가스 방출 검증은 재료 공급업체가 테스트 보고서를 통해 제공하거나 FFU 제조업체가 재료 목록 및 명세서를 제공할 수 있습니다. 중요한 자료의 경우 프로젝트 당사자가 테스트 보고서 또는 샘플 확인을 요구할 수 있습니다.
검증 기록에는 재료명, 공급업체, 테스트 방법, 테스트 결과 및 적용 모델이 포함되어야 합니다. 기록은 전체 기계 구성과 일치해야 합니다.
프로젝트 커뮤니케이션 시 사전에 확인해야 할 사항
반도체 FFU의 낮은 가스 방출 요구 사항 확인 단계에서는 제조업체와 함께 다음 사항을 확인하는 것이 좋습니다. 관련 재료의 범위; 평가방법 및 판단기준 사용 환경 조건; 재료 공급업체 및 테스트 보고서 변경 통제 요구사항; 검증 및 기록 방법; 전체 기계 구성과의 대응; 프로토타입 확인이 필요한지 여부.
반도체 FFU 저탈가스 구매 조건을 수립하고 계시다면,전체 기계 구성에 대해 알아보려면 Aili Industrial FFU 팬 필터 장치를 참조하십시오.화학 필터 및 AMC 분자 오염 제어 AMC 제어 솔루션에 대해 알아보거나 Aili Industries에 문의하여 재료 검증 지원을 받으십시오.
결론적으로
반도체 FFU의 낮은 가스 방출 요구 사항은 재료 범위, 평가 방법, 사용 환경 및 변경 제어를 명확하게 해야 합니다. 가스 방출이 적거나 깨끗한 등급의 재료에 대해서만 작성하여 실란트, 개스킷, 코팅 및 케이블이 프로젝트 요구 사항을 충족하는지 판단하기가 어렵습니다. 확인 기록은 전체 시스템 구성과 일치해야 하며 변경 사항을 재평가해야 합니다.
Aili Industrial은 FFU 완전 기계 제조 분야에서 완전한 생산 능력을 보유하고 있으며 프로젝트 자재 요구 사항에 따라 구성 솔루션을 제공할 수 있습니다. 반도체 FFU 재료 요구사항에 대해 더 자세히 알고 싶으시면 다음을 방문하세요.Aili Industrial FFU 팬 필터 장치 , 프로젝트 지원을 위해 Aili Industrial에 문의하실 수도 있습니다.
