半導体FFUの低アウトガス要件を材料および購入条件に書き込む方法

低アウトガス要件について一文だけ書けるのはなぜでしょうか?

半導体クリーンルームには、ガス状分子汚染 (AMC) に対する管理要件があります。 FFU 内のシーラント、ガスケット、コーティング、ケーブル絶縁材、プラスチック部品などの材料は、動作中に微量のガスを放出する可能性があります。これらのリリースはプロセス環境に影響を与える可能性があります。

したがって、半導体プロジェクトは、FFU を購入する際に低アウトガス要件を提示する場合があります。ただし、購入条件に「低アウトガス」または「クリーングレードの材料」のみが記載されている場合、供給者と購入者の要件に対する理解が一致していない可能性があります。ガス放出の結果は、材料、試験方法、使用環境が異なると異なる場合があります。

低ガス放出要件では、どの材料が関係するか、どのような評価方法が使用されるか、どのような条件下で、どのように検証および変更されるかを明確に定義する必要があります。 Aili Industrial は FFU 完成機製造における完全な生産能力を備えており、プロジェクトの材料要件に応じた構成ソリューションを提供できます。 FFUマシンの基本構造については、こちらをご覧ください。Aili Industrial FFUファンフィルターユニット。

どのような資料を含める必要があるか

低ガス放出要件では、関与する材料の範囲を指定する必要があります。 FFU に含まれる可能性のある材料には、キャビネットのコーティングまたは表面処理が含まれます。シーラントとシーリングストリップ。フィルター枠とシール材。ケーブルの絶縁体とジャケット。コントローラーのハウジングとプラスチック部品。ラベルとテープ。潤滑剤とファスナーの表面処理。

材質が異なれば、FFU 内の位置と暴露レベルも異なります。空気供給経路の近くにある物質からの放出物は、クリーンエリアに侵入する可能性が高くなります。したがって、物質の範囲は場所と暴露の程度によって分類できます。

評価方法の合意方法

低アウトガスの評価方法が明確である必要がある。一般的な方法には、加熱脱離、ガスクロマトグラフィー質量分析、またはその他の物質放出試験が含まれます。評価方法には、試験温度、試験時間、サンプルの調製、判定指標を記載する必要があります。

プロジェクトに業界標準や企業標準がある場合は、調達条件にそれらを引用することができます。明確な基準がない場合は、評価方法をサプライヤーと相談して決定することができます。

評価方法は、承認の根拠として技術契約書または購入条件に記載する必要があります。方法を書かずに低アウトガスだけを書いてしまうと、後から要件を満たしているかどうかの判断が難しくなります。

使用環境の説明方法

ガスの放出挙動は使用環境に関係します。温度、湿度、および動作条件は、材料の放出に影響を与える可能性があります。したがって、購入条件には、温度範囲、湿度範囲、動作モードなどの FFU の使用環境を記載する必要があります。

半導体クリーンルームでは、通常、温度と湿度が管理された環境になります。ただし、ファンの動作により、FFU の内部温度が周囲温度よりわずかに高くなる場合があります。材料リリーステスト条件は、実際の使用条件を参照できます。

変更管理に同意する方法

低ガス放出要件には、変更管理も含まれます。 FFU の製造中にシーラント、ケーブル、またはプラスチック部品のサプライヤーが変更された場合、新しい材料を再評価する必要がある場合があります。変更管理では、どの重要な変更をプロジェクト関係者に通知する必要があるか、またそれらの変更を再テストまたは確認する必要があるかを明確にする必要があります。

その後のトレーサビリティを容易にするために、変更記録はマシン構成全体のバージョンに関連付けられる必要があります。

その方法を確認して文書化する

低ガス放出の検証は、材料サプライヤーがテストレポートとともに提供することも、FFU メーカーが材料リストと声明を提供することもできます。重要な材料の場合、プロジェクト当事者はテストレポートまたはサンプルの確認を要求する場合があります。

検証記録には、材料名、供給者、試験方法、試験結果、および適用可能なモデルが含まれている必要があります。レコードはマシン全体の構成に対応している必要があります。

プロジェクトコミュニケーション時に事前に確認すべき事項

半導体 FFU の低アウトガス要件を確認する段階では、以下の点をメーカーに確認することをお勧めします。評価方法と判断基準。使用環境条件。材料サプライヤーとテストレポート。変更管理要件。検証および記録方法。完全なマシン構成との対応。プロトタイプの確認が必要かどうか。

半導体 FFU の低アウトガス購入条件を策定している場合は、次のサイトをご覧ください。Aili Industrial FFU ファン フィルター ユニットの完全なマシン構成については、こちらも参照してください。化学フィルターと AMC 分子汚染制御AMC 制御ソリューションについて学ぶか、材料検証サポートについては Aili Industries にお問い合わせください。

結論は

半導体FFUの低アウトガス要件は、材料範囲、評価方法、使用環境、変更管理を明確にする必要があります。低アウトガスまたはクリーングレードの材料についてのみ記載するだけでは、シーラント、ガスケット、コーティング、およびケーブルがプロジェクトの要件を満たしているかどうかを判断するのは困難です。検証記録はマシン全体の構成に対応している必要があり、変更は再評価する必要があります。

Aili Industrial は FFU 完成機製造における完全な生産能力を備えており、プロジェクトの材料要件に応じた構成ソリューションを提供できます。半導体 FFU の材料要件について詳しく知りたい場合は、次のサイトを参照してください。Aili Industrial FFU ファン フィルター ユニット、プロジェクト サポートについては、Aili Industrial にお問い合わせいただくことも歓迎します。