So schreiben Sie die Anforderungen an die geringe Ausgasung von Halbleiter-FFU in die Material- und Einkaufsbedingungen ein
Warum können wir nicht einfach einen Satz über die Anforderungen an eine geringe Ausgasung schreiben?
In Halbleiter-Reinräumen gelten Kontrollanforderungen für gasförmige molekulare Kontamination (AMC). Materialien im Inneren der FFU können während des Betriebs Spuren von Gas freisetzen, wie z. B. Dichtstoffe, Dichtungen, Beschichtungen, Kabelisolationsmaterialien und Kunststoffteile. Diese Releases können Auswirkungen auf die Prozessumgebung haben.
Daher können Halbleiterprojekte beim Kauf von FFU niedrige Ausgasungsanforderungen stellen. Wenn in den Einkaufsbedingungen jedoch nur „geringe Ausgasung“ oder „sauberes Material“ angegeben ist, kann es sein, dass Lieferant und Käufer die Anforderungen unterschiedlich verstehen. Die Ausgasungsergebnisse können je nach Material, unterschiedlichen Testmethoden und unterschiedlichen Einsatzumgebungen unterschiedlich sein.
Anforderungen an eine geringe Ausgasung sollten klar definieren, um welche Materialien es sich handelt, welche Bewertungsmethoden unter welchen Bedingungen verwendet werden und wie sie überprüft und geändert werden. Aili Industrial verfügt über umfassende Produktionskapazitäten im FFU-Komplettmaschinenbau und kann Konfigurationslösungen entsprechend den Materialanforderungen des Projekts bereitstellen. Den Grundaufbau der FFU-Maschine finden Sie unterAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit。
Welche Materialien müssen enthalten sein?
Anforderungen an eine geringe Ausgasung sollten den Bereich der beteiligten Materialien spezifizieren. Zu den Materialien, die an FFU beteiligt sein können, gehören: Gehäusebeschichtungen oder Oberflächenbehandlungen; Dichtungsmittel und Dichtungsstreifen; Filterrahmen und Dichtungsmaterialien; Kabelisolierungen und -mäntel; Reglergehäuse und Kunststoffteile; Etiketten und Bänder; Schmiermittel und Oberflächenbehandlungen für Verbindungselemente.
Unterschiedliche Materialien haben unterschiedliche Standorte und Expositionsniveaus in der FFU. Freisetzungen aus Materialien, die sich in der Nähe des Luftzufuhrpfads befinden, können mit größerer Wahrscheinlichkeit in den Reinraum gelangen. Daher kann das Materialspektrum nach Standort und Grad der Exposition klassifiziert werden.
So vereinbaren Sie die Bewertungsmethode
Die Bewertungsmethode für geringe Ausgasung sollte klar sein. Zu den gängigen Methoden gehören Thermodesorption, Gaschromatographie-Massenspektrometrie oder andere Materialfreisetzungstests. Die Bewertungsmethode sollte die Testtemperatur, die Testzeit, die Probenvorbereitung und die Beurteilungsindikatoren beschreiben.
Sofern für das Projekt Industriestandards oder Unternehmensstandards gelten, können diese in den Vergabebedingungen genannt werden. Liegen keine klaren Standards vor, kann die Bewertungsmethode in Absprache mit dem Lieferanten festgelegt werden.
Die Bewertungsmethode sollte als Grundlage für die Abnahme in der technischen Vereinbarung oder den Einkaufsbedingungen festgehalten werden. Wenn Sie nur über geringe Ausgasung schreiben, ohne die Methode zu schreiben, wird es später schwierig zu beurteilen, ob sie den Anforderungen entspricht.
So erklären Sie die Nutzungsumgebung
Das Ausgasungsverhalten hängt mit der Nutzungsumgebung zusammen. Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Betriebsbedingungen können die Materialfreisetzung beeinflussen. Daher sollten die Einkaufsbedingungen die Einsatzumgebung der FFU beschreiben, einschließlich Temperaturbereich, Feuchtigkeitsbereich und Betriebsmodus.
In Halbleiter-Reinräumen verfügt die Umgebung normalerweise über eine Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle. Aufgrund des Lüfterbetriebs kann die Innentemperatur der FFU jedoch etwas höher als die Umgebungstemperatur sein. Die Testbedingungen für die Materialfreigabe können sich auf tatsächliche Nutzungsbedingungen beziehen.
So vereinbaren Sie eine Änderungskontrolle
Anforderungen an eine geringe Ausgasung erfordern auch eine Änderungskontrolle. Wenn während der FFU-Produktion der Lieferant von Dichtungsmitteln, Kabeln oder Kunststoffteilen gewechselt wird, kann es sein, dass die neuen Materialien neu bewertet werden müssen. Die Änderungskontrolle sollte klarstellen, welche wesentlichen Änderungen der Projektpartei mitgeteilt werden müssen und ob sie erneut getestet oder bestätigt werden müssen.
Änderungsaufzeichnungen sollten mit der Gesamtkonfigurationsversion der Maschine verknüpft werden, um die spätere Rückverfolgbarkeit zu erleichtern.
Überprüfen und dokumentieren Sie die Vorgehensweise
Der Nachweis einer geringen Ausgasung kann vom Materiallieferanten mit einem Testbericht erbracht werden, oder der FFU-Hersteller kann eine Materialliste und -erklärung bereitstellen. Für kritische Materialien kann die Projektpartei Prüfberichte oder Musterbestätigungen verlangen.
Die Verifizierungsaufzeichnungen sollten Materialname, Lieferant, Testmethode, Testergebnisse und anwendbare Modelle enthalten. Die Aufzeichnungen sollten der gesamten Maschinenkonfiguration entsprechen.
Probleme, die im Rahmen der Projektkommunikation vorab bestätigt werden sollten
In der Bestätigungsphase der Anforderungen an die Halbleiter-FFU mit geringer Ausgasung wird empfohlen, Folgendes mit dem Hersteller zu bestätigen: den Umfang der beteiligten Materialien; Bewertungsmethoden und Beurteilungsstandards; Umgebungsbedingungen der Nutzung; Materiallieferanten und Prüfberichte; Anforderungen an die Änderungskontrolle; Überprüfungs- und Aufzeichnungsmethoden; Übereinstimmung mit der kompletten Maschinenkonfiguration; ob eine Prototypenbestätigung erforderlich ist.
Wenn Sie Einkaufsbedingungen für Halbleiter-FFU mit geringer Ausgasung formulieren, können Sie hier vorbeischauenAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit beziehenUm mehr über die komplette Maschinenkonfiguration zu erfahren, können Sie sich auch auf die Chemische Filter und AMC-Kontrolle molekularer Kontaminationen Erfahren Sie mehr über AMC-Kontrolllösungen oder kontaktieren Sie Aili Industries für Unterstützung bei der Materialvalidierung.
abschließend
Die Anforderungen an die geringe Ausgasung von Halbleiter-FFU sollten den Materialumfang, die Bewertungsmethode, die Einsatzumgebung und die Änderungskontrolle klären. Es ist schwierig zu beurteilen, ob Dichtstoffe, Dichtungen, Beschichtungen und Kabel die Projektanforderungen erfüllen, wenn man nur über Materialien mit geringer Ausgasung oder sauberer Qualität schreibt. Verifizierungsdatensätze sollten der gesamten Maschinenkonfiguration entsprechen und Änderungen müssen neu bewertet werden.
Aili Industrial verfügt über umfassende Produktionskapazitäten im FFU-Komplettmaschinenbau und kann Konfigurationslösungen entsprechend den Materialanforderungen des Projekts bereitstellen. Wenn Sie mehr über die Anforderungen an Halbleiter-FFU-Materialien erfahren möchten, besuchen SieAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit , Sie können sich auch gerne an Aili Industrial wenden, um Projektunterstützung zu erhalten.
