Cách ghi các yêu cầu về lượng khí thải thấp của FFU bán dẫn vào vật liệu và điều kiện mua hàng
Tại sao chúng ta không thể viết một câu về yêu cầu lượng khí thải thấp?
Phòng sạch bán dẫn có các yêu cầu kiểm soát ô nhiễm phân tử khí (AMC). Các vật liệu bên trong FFU có thể giải phóng một lượng khí nhỏ trong quá trình vận hành, chẳng hạn như chất bịt kín, miếng đệm, lớp phủ, vật liệu cách điện cáp và các bộ phận bằng nhựa. Những bản phát hành này có thể ảnh hưởng đến môi trường quy trình.
Do đó, các dự án bán dẫn có thể đưa ra yêu cầu về lượng khí thải thấp khi mua FFU. Tuy nhiên, nếu điều kiện mua hàng chỉ nêu rõ 'lượng khí thải thấp' hoặc 'vật liệu sạch' thì nhà cung cấp và người mua có thể có sự hiểu biết không nhất quán về các yêu cầu. Kết quả thoát khí có thể khác nhau dưới các vật liệu khác nhau, các phương pháp thử nghiệm khác nhau và môi trường sử dụng khác nhau.
Các yêu cầu về lượng khí thoát ra thấp phải xác định rõ ràng những vật liệu nào có liên quan, phương pháp đánh giá nào được sử dụng, trong những điều kiện nào và cách chúng được xác minh và thay đổi. Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về sản xuất máy hoàn chỉnh FFU và có thể cung cấp các giải pháp cấu hình theo yêu cầu vật liệu của dự án. Để biết cấu trúc cơ bản của máy FFU, vui lòng tham khảoBộ lọc quạt công nghiệp Aili FFU。
Cần bổ sung những vật liệu gì
Yêu cầu về lượng khí thoát ra thấp phải chỉ rõ phạm vi vật liệu liên quan. Các vật liệu có thể liên quan đến FFU bao gồm: lớp phủ tủ hoặc xử lý bề mặt; chất bịt kín và dải niêm phong; khung lọc và vật liệu bịt kín; cách điện cáp và áo khoác; vỏ bộ điều khiển và các bộ phận bằng nhựa; nhãn và băng; chất bôi trơn và xử lý bề mặt dây buộc.
Các vật liệu khác nhau có vị trí và mức độ phơi nhiễm khác nhau trong FFU. Chất thải từ các vật liệu nằm gần đường dẫn khí có thể dễ dàng xâm nhập vào khu vực sạch hơn. Do đó, phạm vi của vật liệu có thể được phân loại theo vị trí và mức độ tiếp xúc.
Cách thống nhất phương pháp đánh giá
Phương pháp đánh giá mức độ thoát khí thấp phải rõ ràng. Các phương pháp phổ biến bao gồm giải hấp nhiệt, sắc ký khí khối phổ hoặc thử nghiệm giải phóng vật liệu khác. Phương pháp đánh giá phải mô tả nhiệt độ thử nghiệm, thời gian, chuẩn bị mẫu và các chỉ số đánh giá.
Nếu dự án có tiêu chuẩn ngành hoặc tiêu chuẩn doanh nghiệp thì chúng có thể được trích dẫn trong điều kiện mua sắm. Nếu không có tiêu chuẩn rõ ràng, phương pháp đánh giá có thể được xác định với sự tư vấn của nhà cung cấp.
Phương pháp đánh giá phải được ghi vào thỏa thuận kỹ thuật hoặc điều kiện mua hàng để làm cơ sở cho việc nghiệm thu. Nếu chỉ viết về lượng khí thải thấp mà không viết phương pháp thì sau này sẽ khó đánh giá liệu nó có đáp ứng được yêu cầu hay không.
Cách giải thích môi trường sử dụng
Hành vi thoát khí có liên quan đến môi trường sử dụng. Nhiệt độ, độ ẩm và điều kiện hoạt động có thể ảnh hưởng đến việc giải phóng vật liệu. Do đó, các điều kiện mua hàng phải mô tả môi trường sử dụng của FFU, bao gồm phạm vi nhiệt độ, phạm vi độ ẩm và chế độ vận hành.
Đối với phòng sạch bán dẫn, môi trường thường có kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm. Tuy nhiên, nhiệt độ bên trong của FFU có thể cao hơn một chút so với nhiệt độ môi trường do hoạt động của quạt. Điều kiện thử nghiệm giải phóng vật liệu có thể tham khảo điều kiện sử dụng thực tế.
Cách đồng ý về kiểm soát thay đổi
Yêu cầu về lượng khí thải thấp cũng liên quan đến việc kiểm soát sự thay đổi. Nếu nhà cung cấp chất bịt kín, cáp hoặc bộ phận nhựa bị thay đổi trong quá trình sản xuất FFU, thì vật liệu mới có thể cần phải được đánh giá lại. Kiểm soát thay đổi cần làm rõ những thay đổi quan trọng nào cần được thông báo cho bên dự án và liệu chúng có cần được kiểm tra lại hoặc xác nhận hay không.
Các bản ghi thay đổi phải được liên kết với phiên bản cấu hình máy tổng thể để tạo điều kiện thuận lợi cho việc truy xuất nguồn gốc sau này.
Xác minh và ghi lại cách thực hiện
Nhà cung cấp vật liệu có thể cung cấp báo cáo thử nghiệm để xác minh lượng khí thải thấp hoặc nhà sản xuất FFU có thể cung cấp danh sách và tuyên bố vật liệu. Đối với các vật liệu quan trọng, bên dự án có thể yêu cầu báo cáo thử nghiệm hoặc xác nhận mẫu.
Hồ sơ xác minh phải bao gồm tên vật liệu, nhà cung cấp, phương pháp thử nghiệm, kết quả thử nghiệm và mô hình áp dụng. Các bản ghi phải tương ứng với cấu hình tổng thể của máy.
Các vấn đề cần xác nhận trước trong quá trình truyền thông dự án
Trong giai đoạn xác nhận các yêu cầu về lượng khí thải thấp của FFU bán dẫn, nên xác nhận những điều sau với nhà sản xuất: phạm vi của vật liệu liên quan; phương pháp đánh giá và tiêu chuẩn đánh giá; điều kiện môi trường sử dụng; nhà cung cấp nguyên liệu và báo cáo thử nghiệm; thay đổi yêu cầu kiểm soát; phương pháp xác minh và ghi chép; tương ứng với cấu hình máy hoàn chỉnh; liệu có cần xác nhận nguyên mẫu hay không.
Nếu bạn đang xây dựng các điều kiện mua chất bán dẫn FFU có lượng khí thải thấp, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt FFU công nghiệp Aili để tìm hiểu về cấu hình máy hoàn chỉnh, bạn cũng có thể tham khảoBộ lọc hóa học và Kiểm soát ô nhiễm phân tử AMC Tìm hiểu về các giải pháp kiểm soát AMC hoặc liên hệ với Aili Industries để được hỗ trợ xác nhận vật liệu.
Tóm lại
Yêu cầu thoát khí thấp của FFU bán dẫn phải làm rõ phạm vi vật liệu, phương pháp đánh giá, môi trường sử dụng và kiểm soát thay đổi. Rất khó để đánh giá liệu chất bịt kín, miếng đệm, lớp phủ và cáp có đáp ứng yêu cầu của dự án hay không nếu chỉ viết về các vật liệu có mức thoát khí thấp hoặc sạch. Hồ sơ xác minh phải tương ứng với cấu hình tổng thể của máy và các thay đổi cần được đánh giá lại.
Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về sản xuất máy hoàn chỉnh FFU và có thể cung cấp các giải pháp cấu hình theo yêu cầu vật liệu của dự án. Nếu bạn cần biết thêm về các yêu cầu vật liệu FFU bán dẫn, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt Aili Industrial FFU , bạn cũng có thể liên hệ với Aili Industrial để được hỗ trợ dự án.
