Cómo incluir los requisitos de baja desgasificación de los semiconductores FFU en el material y las condiciones de compra

¿Por qué no podemos escribir una sola frase sobre los requisitos de baja desgasificación?

Las salas blancas de semiconductores tienen requisitos de control de la contaminación molecular gaseosa (AMC). Los materiales dentro de la FFU pueden liberar trazas de gas durante el funcionamiento, como selladores, juntas, revestimientos, materiales aislantes de cables y piezas de plástico. Estas emisiones pueden afectar el entorno del proceso.

Por lo tanto, los proyectos de semiconductores pueden imponer requisitos de baja desgasificación al comprar FFU. Sin embargo, si las condiciones de compra sólo establecen 'baja desgasificación' o 'material de calidad limpia', el proveedor y el comprador pueden tener interpretaciones inconsistentes de los requisitos. Los resultados de la desgasificación pueden ser diferentes según diferentes materiales, diferentes métodos de prueba y diferentes entornos de uso.

Los requisitos de baja desgasificación deben definir claramente qué materiales están involucrados, qué métodos de evaluación se utilizan, bajo qué condiciones y cómo se verifican y modifican. Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en la fabricación de máquinas completas FFU y puede proporcionar soluciones de configuración de acuerdo con los requisitos de materiales del proyecto. Para conocer la estructura básica de la máquina FFU, consulteUnidad de filtrado de ventilador Aili Industrial FFU。

¿Qué materiales deben incluirse?

Los requisitos de baja desgasificación deberían especificar la gama de materiales involucrados. Los materiales que pueden estar involucrados en FFU incluyen: revestimientos de gabinetes o tratamientos de superficie; selladores y tiras selladoras; marcos de filtros y materiales de sellado; aislamiento y cubiertas de cables; carcasas de controladores y piezas de plástico; etiquetas y cintas; Lubricantes y tratamientos superficiales de sujetadores.

Diferentes materiales tienen diferentes ubicaciones y niveles de exposición en la FFU. Es más probable que las liberaciones de materiales ubicados cerca de la ruta de suministro de aire ingresen al área limpia. Por tanto, la gama de materiales se puede clasificar por ubicación y grado de exposición.

Cómo ponerse de acuerdo sobre el método de evaluación

El método de evaluación de la baja desgasificación debe ser claro. Los métodos comunes incluyen desorción térmica, cromatografía de gases-espectrometría de masas u otras pruebas de liberación de materiales. El método de evaluación debe describir la temperatura de la prueba, el tiempo, la preparación de la muestra y los indicadores de juicio.

Si el proyecto cuenta con estándares industriales o estándares corporativos, se pueden cotizar en las condiciones de contratación. Si no existen estándares claros, el método de evaluación se puede determinar consultando con el proveedor.

El método de evaluación debe estar escrito en el acuerdo técnico o en las condiciones de compra como base para la aceptación. Si solo escribe sobre baja desgasificación sin escribir el método, será difícil juzgar si cumple con los requisitos más adelante.

Cómo explicar el entorno de uso.

El comportamiento de desgasificación está relacionado con el entorno de uso. La temperatura, la humedad y las condiciones de funcionamiento pueden afectar la liberación del material. Por lo tanto, las condiciones de compra deben describir el entorno de uso de la FFU, incluido el rango de temperatura, el rango de humedad y el modo de funcionamiento.

Para las salas limpias de semiconductores, el ambiente suele tener control de temperatura y humedad. Sin embargo, la temperatura interna de la FFU puede ser ligeramente superior a la temperatura ambiente debido al funcionamiento del ventilador. Las condiciones de prueba de liberación de material pueden referirse a condiciones de uso reales.

Cómo acordar el control de cambios

Los requisitos de baja desgasificación también implican control de cambios. Si se cambian los proveedores de selladores, cables o piezas de plástico durante la producción de FFU, es posible que sea necesario reevaluar los nuevos materiales. El control de cambios debe aclarar qué cambios materiales deben notificarse a la parte del proyecto y si es necesario volver a probarlos o confirmarlos.

Los registros de cambios deben asociarse con la versión de configuración general de la máquina para facilitar la trazabilidad posterior.

Verificar y documentar cómo hacerlo.

El proveedor del material puede proporcionar una verificación de baja desgasificación con un informe de prueba, o el fabricante de la FFU puede proporcionar una lista y una declaración de materiales. Para materiales críticos, la parte del proyecto puede requerir informes de prueba o confirmación de muestra.

Los registros de verificación deben incluir el nombre del material, el proveedor, el método de prueba, los resultados de las pruebas y los modelos aplicables. Los registros deben corresponder a la configuración general de la máquina.

Cuestiones que deben confirmarse con antelación durante la comunicación del proyecto

En la etapa de confirmación de los requisitos de baja desgasificación de FFU para semiconductores, se recomienda confirmar lo siguiente con el fabricante: el alcance de los materiales involucrados; métodos de evaluación y estándares de juicio; condiciones ambientales de uso; proveedores de materiales e informes de pruebas; requisitos de control de cambios; métodos de verificación y registro; correspondencia con la configuración completa de la máquina; si se requiere confirmación del prototipo.

Si está formulando condiciones de compra de semiconductores FFU de baja desgasificación, puede visitarUnidad de filtro de ventilador Aili Industrial FFU para conocer la configuración completa de la máquina, también puede consultarFiltros químicos y control de contaminación molecular AMC Conozca las soluciones de control AMC o comuníquese con Aili Industries para obtener soporte de validación de materiales.

en conclusión

Los requisitos de baja desgasificación de las FFU de semiconductores deberían aclarar el alcance del material, el método de evaluación, el entorno de uso y el control de cambios. Es difícil juzgar si los selladores, juntas, revestimientos y cables cumplen con los requisitos del proyecto escribiendo únicamente sobre materiales de baja desgasificación o de calidad limpia. Los registros de verificación deben corresponder a la configuración general de la máquina y los cambios deben reevaluarse.

Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en la fabricación de máquinas completas FFU y puede proporcionar soluciones de configuración de acuerdo con los requisitos de materiales del proyecto. Si necesita saber más sobre los requisitos de materiales semiconductores FFU, puede visitarUnidad de filtro de ventilador FFU de Aili Industrial , también puede comunicarse con Aili Industrial para obtener soporte en el proyecto.