Как прописать требования к низкому выделению газов полупроводниковых FFU в материал и условия покупки?

Почему мы не можем написать одно предложение о низких требованиях к дегазации?

В чистых помещениях для полупроводников действуют требования по контролю газообразного молекулярного загрязнения (AMC). Материалы внутри FFU, такие как герметики, прокладки, покрытия, изоляционные материалы для кабелей и пластиковые детали, могут выделять следовые количества газа во время работы. Эти выпуски могут повлиять на среду процесса.

Поэтому полупроводниковые проекты могут выдвигать низкие требования к дегазации при покупке ФФУ. Однако если в условиях закупки указано только «низкое выделение газа» или «чистый материал», поставщик и покупатель могут иметь противоречивое понимание требований. Результаты газовыделения могут различаться в зависимости от материалов, методов тестирования и условий использования.

Требования к низкому выделению газов должны четко определять, какие материалы используются, какие методы оценки используются, при каких условиях и как они проверяются и изменяются. Aili Industrial обладает полными производственными возможностями по производству комплексных машин FFU и может предоставить решения по конфигурации в соответствии с требованиями к проектным материалам. Базовую структуру машины FFU вы можете найти вФильтрующий вентилятор Aili Industrial FFU。

Какие материалы необходимо включить

Требования к низкому выделению газа должны указывать диапазон используемых материалов. К материалам, которые могут быть задействованы в FFU, относятся: покрытия корпуса или обработка поверхности; герметики и уплотнительные ленты; каркасы фильтров и уплотнительные материалы; изоляция и оболочка кабеля; корпуса контроллеров и пластиковые детали; этикетки и ленты; смазочные материалы и обработка поверхности крепежных изделий.

Различные материалы имеют разное расположение и уровни воздействия в ФФУ. Выбросы из материалов, расположенных вблизи путей подачи воздуха, могут с большей вероятностью попасть в чистую зону. Поэтому ассортимент материалов можно классифицировать по месту расположения и степени воздействия.

Как согласовать метод оценки

Метод оценки низкого уровня газовыделения должен быть понятен. Общие методы включают термическую десорбцию, газовую хроматографию-масс-спектрометрию или другие испытания на высвобождение материала. Метод оценки должен описывать температуру испытания, время, подготовку проб и показатели оценки.

Если в проекте присутствуют отраслевые стандарты или корпоративные стандарты, они могут быть указаны в условиях закупки. Если четких стандартов нет, метод оценки можно определить по согласованию с поставщиком.

Метод оценки должен быть указан в техническом соглашении или условиях закупки в качестве основания для приемки. Если написать только о низкой дегазации, не написав метода, потом будет сложно судить, соответствует ли он требованиям.

Как объяснить среду использования

Поведение газовыделения связано со средой использования. Температура, влажность и условия эксплуатации могут повлиять на выброс материала. Поэтому условия приобретения должны описывать условия использования ФФУ, включая температурный диапазон, диапазон влажности и режим работы.

В чистых помещениях для производства полупроводников окружающая среда обычно контролируется по температуре и влажности. Однако внутренняя температура FFU может быть немного выше температуры окружающей среды из-за работы вентилятора. Условия испытания материала на высвобождение могут относиться к фактическим условиям использования.

Как договориться о контроле изменений

Низкие требования к дегазации также предполагают контроль изменений. Если в процессе производства FFU меняются поставщики герметиков, кабелей или пластиковых деталей, возможно, потребуется переоценка новых материалов. Управление изменениями должно разъяснять, о каких существенных изменениях необходимо уведомить сторону проекта и нужно ли их повторно тестировать или подтверждать.

Записи об изменениях должны быть связаны с общей версией конфигурации машины, чтобы облегчить последующую отслеживаемость.

Проверьте и задокументируйте, как это сделать.

Подтверждение низкого выделения газа может быть предоставлено поставщиком материала вместе с отчетом об испытаниях, либо производитель FFU может предоставить список материалов и заявление. Для критически важных материалов участник проекта может потребовать протоколы испытаний или подтверждение образца.

Записи о проверке должны включать название материала, поставщика, метод испытаний, результаты испытаний и применимые модели. Записи должны соответствовать общей конфигурации машины.

Проблемы, которые должны быть подтверждены заранее во время обсуждения проекта

На этапе подтверждения требований к низкому уровню газовыделения полупроводниковых ФФУ рекомендуется уточнить у производителя следующее: состав используемых материалов; методы оценки и стандарты суждения; экологические условия использования; поставщики материалов и протоколы испытаний; требования к контролю изменений; методы проверки и записи; соответствие полной конфигурации машины; требуется ли подтверждение прототипа.

Если вы формулируете условия закупки полупроводниковых ФФУ с низким выделением газов, вы можете посетитьПромышленный вентиляторный фильтр Aili FFU, чтобы узнать о полной конфигурации машины, вы также можете обратиться кХимические фильтры и контроль молекулярного загрязнения AMC Узнайте о решениях AMC по контролю или свяжитесь с Aili Industries для получения поддержки при проверке материалов.

в заключение

Требования к низкому выделению газов для полупроводниковых FFU должны уточнять объем материалов, метод оценки, среду использования и контроль изменений. Трудно судить, соответствуют ли герметики, прокладки, покрытия и кабели требованиям проекта, написав только о материалах с низким выделением газов или о чистых материалах. Записи о проверке должны соответствовать общей конфигурации машины, а изменения необходимо повторно оценить.

Aili Industrial обладает полными производственными возможностями по производству комплексных машин FFU и может предоставить решения по конфигурации в соответствии с требованиями к проектным материалам. Если вам нужно узнать больше о требованиях к материалам полупроводниковых ФФУ, вы можете посетитьВентиляционно-фильтрующий блок Aili Industrial FFU . Вы также можете связаться с Aili Industrial для поддержки проекта.