À quels paramètres devez-vous prêter le plus d’attention lors de la sélection de FFU pour une salle blanche de semi-conducteurs ?
Les salles blanches pour semi-conducteurs ont des exigences plus complètes en matière de paramètres FFU
Les salles blanches pour semi-conducteurs ont des exigences plus élevées en matière de contrôle des particules, d’organisation du flux d’air et de stabilité opérationnelle. La propreté de certaines zones peut atteindre les niveaux ISO Classe 1 à Classe 3. En tant qu'équipement de base de l'alimentation en air filtré en circulation, la sélection des paramètres de FFU affecte directement la propreté régionale et l'effet de protection des processus.
Lorsque vous sélectionnez FFU pour une salle blanche de semi-conducteurs, vous ne pouvez pas vous limiter à un seul paramètre. Le volume d'air, la pression statique, le niveau de filtration, l'uniformité de la vitesse du vent, le bruit, la méthode de contrôle et les paramètres électriques doivent tous être vérifiés en conjonction avec les exigences du processus. Les paramètres sont liés les uns aux autres et doivent être comparés entre l'ensemble de la machine et le système.
Aili Industrial dispose de capacités de production complètes de machines complètes FFU et de projets de semi-conducteurs, et peut fournir des solutions d'alimentation en air basées sur les conditions de l'usine de plaquettes et des équipements de semi-conducteurs. Pour la structure de base de la machine FFU, vous pouvez vous référer àUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU。
Comment vérifier le volume d'air et la pression statique
Le volume d'air détermine la capacité d'alimentation en air du FFU. Le volume d'air d'une salle blanche pour semi-conducteurs doit être calculé en fonction du niveau de propreté, du nombre de changements d'air ou de la zone de protection. Pour les zones à écoulement unidirectionnel, les calculs peuvent être effectués en fonction de la vitesse du vent cible et de la zone protégée. Pour les zones à flux non unidirectionnel, il peut être calculé en fonction du nombre de renouvellements d'air.
La pression statique détermine la capacité du FFU à surmonter la résistance du système. Les FFU dans les salles blanches pour semi-conducteurs peuvent devoir être équipés de filtres à haute efficacité, de chemins d'alimentation en air ou de structures d'équipement, et la résistance du système affectera le volume d'air réel. Lors de la sélection d'un modèle, confirmez la marge de pression statique au volume d'air cible et tenez compte du changement de point de fonctionnement après accumulation de poussière sur le filtre.
Le volume d'air et la pression statique doivent être comparés pour la configuration complète de la machine, et pas seulement pour la pleine pression du ventilateur nu. Pour plus de détails, veuillez vous référer àQuelle est la différence entre la pression statique externe de la machine FFU et la pleine pression du ventilateur ? Comprendre le paramètre calibre.
Comment choisir le niveau de filtrage
Les salles blanches pour semi-conducteurs ont des exigences plus élevées en matière de niveaux de filtration. Correspondant aux niveaux ISO Classe 1 à Classe 3, des filtres de niveau ULPA sont généralement requis, comme U15 ou une efficacité supérieure. Pour les niveaux ISO Classe 4 à Classe 5, les filtres H14 HEPA peuvent répondre aux besoins.
Le niveau d'efficacité du filtre doit être conforme aux normes EN1822 ou IEST. Lors de la sélection, vous devez également confirmer la méthode d'étanchéité et l'interface d'installation du filtre. Les salles blanches pour semi-conducteurs utilisent généralement des joints de réservoir de liquide ou des joints à lame de couteau, et le taux de fuite doit être contrôlé à un faible niveau. Concernant la correspondance des filtres et des interfaces machine, veuillez vous référer àFFU équipé d'un filtre ultra haute efficacité ULPA。
Comment considérer l'uniformité de la vitesse du vent
Les salles blanches de semi-conducteurs, en particulier les usines de plaquettes, ont des exigences élevées en matière d’uniformité de la vitesse du vent. Une vitesse de vent inégale peut provoquer une accumulation locale de particules ou une perturbation du flux d'air, affectant la surface de la plaquette et l'équipement de traitement.
L'uniformité de la vitesse du vent doit être confirmée par plusieurs points de mesure. Les points de mesure doivent couvrir la surface de sortie d'air, la limite d'épissage de plusieurs FFU et les zones clés de la tranche. Concernant l’expression de l’uniformité de la vitesse du vent, on peut se référer àComment l'uniformité de la vitesse du vent FFU exprime-t-elle la méthode de calcul du point de solution et de l'écart.
Comment considérer le bruit
Les salles blanches pour semi-conducteurs ont généralement des exigences de production continue et du personnel doit opérer dans l’atelier. Un bruit FFU excessif peut affecter l’environnement de travail et le confort du personnel. Les paramètres de bruit doivent être confirmés en combinaison avec la mesure de la distance et la vitesse de fonctionnement, plutôt que de se limiter à une seule valeur.
Si plusieurs FFU fonctionnent en même temps, le bruit de la pièce peut se superposer. Vous pouvez confirmer le bruit d’une seule unité et le bruit ambiant attendu lors de la sélection d’un modèle.
Comment choisir la méthode de contrôle
Les FFU dans les salles blanches pour semi-conducteurs sont généralement connectées au système de contrôle de groupe et différents modes de fonctionnement sont définis en fonction des zones ou des processus. Si le projet comporte des exigences en matière de contrôle des cloisons, de contrôle du volume d'air constant ou de rétroaction de la vitesse du vent, il convient de confirmer que le contrôleur prend en charge les fonctions correspondantes.
Pour les méthodes de contrôle, veuillez vous référer àContrôleur d'écran tactile de contrôle de groupe FFU/EFU etSystème de contrôle de groupe informatique FFU . Aili Industrial dispose de capacités complètes d'auto-recherche sur les systèmes de contrôle FFU et peut fournir des solutions de contrôle en fonction des besoins des projets de semi-conducteurs.
Comment vérifier les paramètres électriques
Les paramètres électriques incluent la tension d'alimentation, la puissance d'entrée, le facteur de puissance et le niveau de protection. Les salles blanches pour semi-conducteurs peuvent avoir des exigences en matière de sécurité électrique et de mise à la terre. Lors de la sélection, les conditions d'alimentation électrique, les données d'alimentation et le niveau de protection doivent être confirmés, et la correspondance avec le système de distribution électrique du projet doit être vérifiée.
Pour la distinction entre la puissance d'entrée et le facteur de puissance, veuillez vous référer àComment distinguer le facteur de puissance FFU de la puissance d'entrée pour comprendre la signification des paramètres.
Comment vérifier les paramètres de structure et d'installation
Les FFU dans les salles blanches pour semi-conducteurs peuvent être installées sur des plafonds suspendus, au-dessus des équipements ou sur des supports locaux. Les paramètres structurels incluent la taille globale de la machine, les dimensions d'installation, les méthodes de maintenance et le dégagement d'entrée d'air. S'il est installé sur le dessus de l'équipement, le support de charge, le rail d'ouverture du couvercle et le verrouillage de sécurité doivent également être vérifiés.
Pour les applications côté appareil, vous pouvez vous référer àUnité de filtrage du ventilateur d'extrémité de l'équipement etPersonnalisez l’unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU pour en savoir plus sur les solutions de prise en charge.
Problèmes qui doivent être confirmés à l'avance lors de la communication du projet
Lors de l’étape de sélection des FFU pour salle blanche de semi-conducteurs, il est recommandé de confirmer les éléments suivants avec le fabricant et le concepteur de FFU : niveau de propreté régional et modèle de flux d’air ; génération de poussières de processus et chauffage des équipements ; exigences en matière de volume d'air et de pression statique ; niveau de filtration et méthode d'étanchéité ; exigences d'uniformité de la vitesse du vent ; exigences en matière de bruit ; méthodes de contrôle; paramètres électriques ; structure d'installation et conditions de maintenance.
Si vous sélectionnez un FFU pour votre salle blanche de semi-conducteurs, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU pour en savoir plus sur la configuration complète de la machine, vous pouvez également vous référer àFFU est équipé d'un filtre à ultra-haute efficacité ULPA pour en savoir plus sur la configuration du filtre, ou contactez Aili Industrial pour une assistance dans la sélection de l'industrie des semi-conducteurs.
en conclusion
Lors de la sélection de FFU pour une salle blanche de semi-conducteurs, il est nécessaire de vérifier le volume d'air, la pression statique, le niveau de filtration, l'uniformité de la vitesse du vent, le bruit, la méthode de contrôle et les paramètres électriques en fonction du niveau de propreté, de la génération de poussière du processus et de l'organisation du flux d'air. Les paramètres doivent être comparés entre l’ensemble de la machine et le système, et non pas seulement une seule valeur. Les conditions structurelles et d’installation doivent également être confirmées simultanément.
Aili Industrial dispose de capacités de production complètes en machines complètes FFU et en support de projets de semi-conducteurs, et peut fournir des solutions de sélection basées sur les conditions de salle blanche des semi-conducteurs. Si vous avez besoin d'en savoir plus sur la configuration FFU des salles blanches pour semi-conducteurs, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU , vous êtes également invités à contacter Aili Industrial pour une assistance au projet.
