Bạn cần chú ý đến thông số nào nhất khi lựa chọn FFU cho phòng sạch bán dẫn?
Phòng sạch bán dẫn có yêu cầu toàn diện hơn về các thông số FFU
Phòng sạch bán dẫn có yêu cầu cao hơn về kiểm soát hạt, tổ chức luồng không khí và độ ổn định khi vận hành. Độ sạch của một số khu vực có thể đạt mức ISO Cấp 1 đến Cấp 3. Là thiết bị cốt lõi của việc cung cấp không khí được lọc tuần hoàn, việc lựa chọn thông số của FFU ảnh hưởng trực tiếp đến độ sạch của khu vực và hiệu quả bảo vệ quy trình.
Khi chọn FFU cho phòng sạch bán dẫn, bạn không thể chỉ nhìn vào một thông số. Thể tích không khí, áp suất tĩnh, mức lọc, độ đồng đều của tốc độ gió, tiếng ồn, phương pháp điều khiển và các thông số điện đều cần được kiểm tra cùng với các yêu cầu của quy trình. Các thông số có liên quan với nhau và cần được so sánh giữa toàn bộ máy và hệ thống.
Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về máy hoàn chỉnh FFU và hỗ trợ dự án bán dẫn, đồng thời có thể cung cấp các giải pháp cung cấp không khí dựa trên các điều kiện của nhà máy sản xuất tấm bán dẫn và thiết bị bán dẫn. Để biết cấu trúc cơ bản của máy FFU, vui lòng tham khảoBộ lọc quạt công nghiệp Aili FFU。
Cách kiểm tra thể tích không khí và áp suất tĩnh
Thể tích không khí xác định khả năng cung cấp không khí của FFU. Thể tích không khí của phòng sạch bán dẫn phải được tính toán dựa trên mức độ sạch, số lần thay đổi không khí hoặc khu vực bảo vệ. Đối với các khu vực có dòng chảy một chiều, có thể tính toán dựa trên tốc độ gió mục tiêu và khu vực được bảo vệ. Đối với các khu vực có dòng chảy không một chiều, có thể tính toán dựa trên số lần thay đổi không khí.
Áp suất tĩnh xác định khả năng vượt qua sức cản của hệ thống của FFU. FFU trong phòng sạch bán dẫn có thể cần được trang bị bộ lọc hiệu suất cao, đường dẫn khí hoặc kết cấu thiết bị và sức cản của hệ thống sẽ ảnh hưởng đến lượng không khí thực tế. Khi chọn một kiểu máy, hãy xác nhận giới hạn áp suất tĩnh ở thể tích không khí mục tiêu và xem xét sự thay đổi điểm vận hành sau khi tích tụ bụi trên bộ lọc.
Nên so sánh thể tích không khí và áp suất tĩnh trong cấu hình máy hoàn chỉnh, không chỉ áp suất tối đa của quạt trần. Để biết chi tiết, vui lòng tham khảoSự khác biệt giữa áp suất tĩnh bên ngoài của máy FFU và áp suất tối đa của quạt là gì? Hiểu thông số tầm cỡ.
Cách chọn mức lọc
Phòng sạch bán dẫn có yêu cầu cao hơn về mức độ lọc. Tương ứng với các cấp ISO Class 1 đến Class 3, các bộ lọc cấp ULPA thường được yêu cầu, chẳng hạn như hiệu suất U15 hoặc cao hơn. Đối với các cấp độ ISO Class 4 đến Class 5, bộ lọc H14 HEPA có thể đáp ứng được nhu cầu.
Cấp hiệu suất của bộ lọc cần phải tuân thủ các tiêu chuẩn EN1822 hoặc IEST. Khi lựa chọn, bạn cũng nên xác nhận phương pháp niêm phong và giao diện cài đặt của bộ lọc. Phòng sạch bán dẫn thường sử dụng phớt chặn bình chứa chất lỏng hoặc phớt chặn cạnh dao và tốc độ rò rỉ cần được kiểm soát ở mức thấp. Về việc kết hợp bộ lọc và giao diện máy, vui lòng tham khảoFFU được trang bị bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。
Cách xem xét tính đồng nhất của tốc độ gió
Phòng sạch bán dẫn, đặc biệt là các nhà máy sản xuất tấm bán dẫn, có yêu cầu cao về tính đồng đều của tốc độ gió. Tốc độ gió không đều có thể gây ra sự tích tụ hạt cục bộ hoặc xáo trộn luồng không khí, ảnh hưởng đến bề mặt wafer và thiết bị xử lý.
Tính đồng nhất của tốc độ gió cần được xác nhận thông qua nhiều điểm đo. Các điểm đo phải bao phủ bề mặt thoát khí, ranh giới nối của nhiều FFU và các khu vực chính của tấm bán dẫn. Về cách thể hiện tính đồng đều của tốc độ gió, bạn có thể tham khảoTính đồng nhất của tốc độ gió FFU thể hiện phương pháp tính điểm và độ lệch giải pháp như thế nào.
Làm thế nào để xem xét tiếng ồn
Phòng sạch bán dẫn thường có yêu cầu sản xuất liên tục và cần có nhân sự vận hành trong xưởng. Tiếng ồn FFU quá mức có thể ảnh hưởng đến môi trường làm việc và sự thoải mái của nhân viên. Các thông số tiếng ồn cần được xác nhận kết hợp với đo khoảng cách và tốc độ vận hành, thay vì chỉ nhìn vào một giá trị duy nhất.
Nếu nhiều FFU đang chạy cùng lúc, tiếng ồn trong phòng có thể bị chồng lên. Bạn có thể xác nhận tiếng ồn của một thiết bị và tiếng ồn dự kiến trong phòng khi chọn kiểu máy.
Cách chọn phương pháp điều khiển
FFU trong phòng sạch bán dẫn thường được kết nối với hệ thống điều khiển nhóm và các chế độ vận hành khác nhau được thiết lập tùy theo khu vực hoặc quy trình. Nếu dự án có điều khiển phân vùng, điều khiển lượng không khí không đổi hoặc yêu cầu phản hồi tốc độ gió, cần xác nhận rằng bộ điều khiển hỗ trợ các chức năng tương ứng.
Để biết các phương pháp điều khiển, vui lòng tham khảoBộ điều khiển màn hình cảm ứng điều khiển nhóm FFU/EFU vàHệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU . Aili Industrial có khả năng tự nghiên cứu hoàn chỉnh về hệ thống điều khiển FFU và có thể cung cấp các giải pháp điều khiển theo nhu cầu của các dự án bán dẫn.
Cách kiểm tra thông số điện
Các thông số điện bao gồm điện áp nguồn, công suất đầu vào, hệ số công suất và mức bảo vệ. Phòng sạch bán dẫn có thể có các yêu cầu về an toàn điện và nối đất. Khi lựa chọn, phải xác nhận các điều kiện cung cấp điện, dữ liệu nguồn và mức độ bảo vệ và phải kiểm tra sự phù hợp với hệ thống phân phối điện của dự án.
Để phân biệt giữa công suất đầu vào và hệ số công suất, vui lòng tham khảoCách phân biệt hệ số công suất FFU với công suất đầu vào để hiểu ý nghĩa các thông số.
Cách kiểm tra cấu trúc và thông số lắp đặt
FFU trong phòng sạch bán dẫn có thể được lắp đặt trên trần treo, trên thiết bị hoặc trên các giá đỡ cục bộ. Các thông số kết cấu bao gồm kích thước tổng thể của máy, kích thước lắp đặt, phương pháp bảo trì và khe hở khí vào. Nếu được lắp đặt phía trên thiết bị, cũng cần phải kiểm tra khả năng chịu tải, quỹ đạo mở nắp và khóa liên động an toàn.
Đối với các ứng dụng phía thiết bị, bạn có thể tham khảoBộ lọc quạt cuối thiết bị vàTùy chỉnh bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU để tìm hiểu về các giải pháp hỗ trợ.
Các vấn đề cần xác nhận trước trong quá trình truyền thông dự án
Trong giai đoạn lựa chọn FFU phòng sạch bán dẫn, nên xác nhận những điều sau với nhà sản xuất và nhà thiết kế FFU: mức độ sạch khu vực và mô hình luồng không khí; quá trình phát sinh bụi và gia nhiệt thiết bị; yêu cầu về thể tích không khí và áp suất tĩnh; mức độ lọc và phương pháp niêm phong; yêu cầu về độ đồng đều của tốc độ gió; yêu cầu về tiếng ồn; phương pháp kiểm soát; thông số điện; cấu trúc lắp đặt và điều kiện bảo trì.
Nếu bạn đang chọn FFU cho phòng sạch bán dẫn của mình, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt FFU công nghiệp Aili để tìm hiểu về cấu hình máy hoàn chỉnh, bạn cũng có thể tham khảoFFU được trang bị bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA để tìm hiểu về cấu hình bộ lọc hoặc liên hệ với Aili Industrial để được hỗ trợ lựa chọn ngành bán dẫn.
Tóm lại
Khi lựa chọn FFU cho phòng sạch bán dẫn, cần kiểm tra thể tích không khí, áp suất tĩnh, mức lọc, độ đồng đều tốc độ gió, tiếng ồn, phương pháp điều khiển và các thông số điện dựa trên mức độ sạch, quá trình phát sinh bụi và tổ chức luồng không khí. Các thông số cần được so sánh giữa toàn bộ máy và hệ thống chứ không chỉ một giá trị duy nhất. Các điều kiện về kết cấu và lắp đặt cũng cần được xác nhận đồng thời.
Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về máy hoàn chỉnh FFU và hỗ trợ dự án bán dẫn, đồng thời có thể cung cấp các giải pháp lựa chọn dựa trên điều kiện phòng sạch bán dẫn. Nếu bạn cần biết thêm về cấu hình FFU phòng sạch bán dẫn, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt Aili Industrial FFU , bạn cũng có thể liên hệ với Aili Industrial để được hỗ trợ dự án.
