Làm cách nào để chọn FFU để cung cấp không khí sạch cục bộ cho thiết bị đầu cuối bán dẫn?
Đặc điểm cung cấp không khí sạch cục bộ cho thiết bị đầu cuối
Thiết bị đầu cuối bán dẫn bao gồm máy phát triển keo, máy làm sạch, thiết bị khắc, EFEM, v.v. Những thiết bị này thường chứa cơ chế xử lý wafer, buồng xử lý và cảm biến chính xác. Môi trường vi mô bên trong thiết bị có yêu cầu cao về độ sạch sẽ và một số cảnh có thể đạt mức ISO Loại 1.
Là mô-đun mặt trước của thiết bị, EFEM có không gian bên trong nhỏ gọn và cần duy trì độ sạch cao trong quá trình chuyển wafer. Trong trường hợp này, không thể chọn FFU dựa trên ý tưởng về trần phòng sạch. Nó cần phải được kết hợp dựa trên không gian bên trong của thiết bị, hoạt động xử lý tấm bán dẫn và tổ chức luồng không khí.
Để hiểu cấu trúc và cấu hình cơ bản của máy FFU, bạn có thể bắt đầu vớiBắt đầu với bộ lọc quạt Aili Industrial FFU để thiết lập sự hiểu biết tổng thể về mối quan hệ giữa máy, bộ lọc, quạt và bộ điều khiển hoàn chỉnh.
Mức độ sạch tương ứng với việc lựa chọn bộ lọc như thế nào?
Thiết bị đầu cuối bán dẫn có yêu cầu về mức độ sạch sẽ cao hơn. Độ sạch bên trong của EFEM có thể đạt mức ISO Class 1. Tương ứng với mức độ sạch này, bộ lọc phù hợp với FFU thường yêu cầu mức ULPA, chẳng hạn như hiệu suất U15 trở lên.
Cấp hiệu suất của bộ lọc cần phải tuân thủ các tiêu chuẩn EN1822 hoặc IEST. Đối với các kịch bản làm sạch chất bán dẫn ISO Lớp 3 đến 5, bộ lọc H14 HEPA có thể đáp ứng nhu cầu. Tuy nhiên, khi môi trường vi mô bên trong của thiết bị đầu cuối yêu cầu cao hơn thì cần phải chọn bộ lọc ULPA. Về việc kết hợp bộ lọc và giao diện máy, vui lòng tham khảoFFU được trang bị bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA。
Việc kiểm tra rò rỉ tại nhà máy của bộ lọc chỉ là cơ sở và tính toàn vẹn của niêm phong sau khi lắp đặt cũng cần được xác nhận. Phớt bình chứa chất lỏng hoặc phớt chặn cạnh dao thường được sử dụng bên trong thiết bị và tốc độ rò rỉ cần được kiểm soát ở mức thấp. Để lựa chọn phốt bể chứa chất lỏng và phốt đệm, vui lòng tham khảoBộ lọc hiệu quả cao bịt kín bể chứa vàTìm hiểu về đặc điểm cấu trúc của bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA kín thùng chứa chất lỏng .
Cách kiểm tra không gian và cấu trúc bên trong
Không gian bên trong thiết bị đầu cuối thường được chiếm giữ bởi các rô-bốt xử lý tấm bán dẫn, đường ray dẫn hướng và cảm biến. Khi FFU được lắp đặt ở phía trên hoặc phía bên của thiết bị, cần phải xác nhận các điều kiện khoảng trống sau: chiều cao của FFU có khớp với không gian phía trên thiết bị hay không; khoảng cách giữa cửa hút gió FFU và cấu trúc trên cùng của thiết bị; khoảng cách giữa bề mặt thoát khí FFU và điểm cao nhất của cơ cấu xử lý tấm bán dẫn; liệu FFU có ảnh hưởng đến quỹ đạo chuyển động của robot hay không; và không gian vận hành để bảo trì FFU và thay thế bộ lọc.
Khi không gian bên trong của thiết bị chật hẹp, FFU thông thường có thể không được lắp đặt. FFU siêu mỏng hoặc EFU tùy chỉnh có thể phù hợp hơn. Đối với những ứng dụng có dung lượng cực kỳ hạn chế, bạn có thể tham khảoEFU siêu mỏng 70mm vàTùy chỉnh bộ lọc quạt phía thiết bị EFU để hiểu giải pháp nhỏ gọn. Aili Industrial có chuỗi sản xuất hoàn chỉnh và khả năng R&D về bộ lọc quạt cuối thiết bị. Nó đã ra mắt EFU siêu mỏng 70mm trước đó. Nó đã tích lũy kinh nghiệm dự án thực tế về thiết kế kết cấu siêu mỏng và kết hợp máy hoàn chỉnh. Nó có thể cung cấp các giải pháp FFU siêu mỏng hoặc EFU tùy chỉnh dựa trên yêu cầu về không gian bên trong và cung cấp không khí của thiết bị.
Cách kiểm soát tốc độ gió và độ đồng đều
Việc kiểm soát tốc độ gió được thực hiện nghiêm ngặt bên trong thiết bị đầu cuối bán dẫn. Trong các quá trình như phủ wafer, phát triển và làm sạch, tốc độ gió quá thấp có thể khiến các chất ô nhiễm không được loại bỏ kịp thời, trong khi tốc độ gió quá cao có thể thổi bay lớp phủ quang điện trên bề mặt wafer hoặc cản trở dòng nước phun.
Các loại thiết bị khác nhau có yêu cầu về tốc độ gió khác nhau. Tốc độ gió của thiết bị phủ keo và phát triển thường cần được kiểm soát ở mức 0,3 đến 1,0 mét mỗi giây và tốc độ gió của thiết bị làm sạch được đặt ở mức 1,0 đến 1,5 mét mỗi giây. Tốc độ gió cần được phân bổ đều trong mặt cắt ngang của khoang để tránh hiện tượng xoáy cục bộ hoặc thay đổi tốc độ gió đột ngột.
Tính đồng nhất của nguồn cung cấp không khí FFU phải được xác nhận thông qua nhiều điểm đo. Các điểm đo phải bao phủ bề mặt cửa thoát khí FFU, phía trên đường truyền wafer và các khu vực chính của khoang. Độ lệch đồng đều tốc độ gió thường được yêu cầu kiểm soát trong khoảng cộng hoặc trừ 20%. Về cách thể hiện tính đồng đều của tốc độ gió, bạn có thể tham khảoTính đồng nhất của tốc độ gió FFU thể hiện phương pháp tính điểm và độ lệch giải pháp như thế nào.
Cách xem xét độ rung và tiếng ồn
Thiết bị đầu cuối chứa robot xử lý wafer chính xác. Rung trong quá trình vận hành FFU có thể ảnh hưởng đến độ chính xác định vị của robot hoặc độ ổn định khi xử lý tấm bán dẫn. Nếu FFU được gắn trực tiếp trên cấu trúc thiết bị, rung động có thể được truyền tới robot.
Các biện pháp giảm rung có thể xem xét các miếng đệm hấp thụ rung, lắp đặt linh hoạt hoặc lựa chọn quạt có độ rung thấp. Tiếng ồn bên trong của thiết bị thường cần được kiểm soát ở mức thấp và một số ứng dụng yêu cầu thiết kế chống ồn và chống rung thấp. Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về quạt FFU và cấu trúc máy hoàn chỉnh, đồng thời có thể điều chỉnh phương pháp lắp đặt và cấu hình quạt theo yêu cầu về độ rung của thiết bị. Để biết các giải pháp hỗ trợ về phía thiết bị, vui lòng tham khảoBộ lọc quạt bên thiết bị。
Con đường lưu thông không khí được tổ chức như thế nào?
Tổ chức luồng không khí bên trong thiết bị thường áp dụng phương pháp lưu thông. FFU cung cấp không khí đi xuống từ đỉnh thiết bị. Sau khi luồng không khí đi qua khu vực xử lý wafer, nó sẽ quay trở lại từ đường dẫn không khí quay trở lại phía dưới hoặc bên cạnh và sau đó lưu thông qua FFU. Phương pháp tuần hoàn này có thể làm giảm sự xâm nhập của khí bên ngoài và duy trì sự sạch sẽ của môi trường vi mô bên trong.
Thiết kế đường dẫn luồng khí cần xem xét: liệu hướng cấp khí FFU có phù hợp với khu vực xử lý tấm bán dẫn hay không; đường dẫn gió hồi có bị chặn bởi cơ cấu hoặc dây cáp hay không; liệu luồng không khí có thể bao phủ các khu vực quan trọng mà không tạo ra nhiễu loạn hay không; liệu môi trường khí trơ có cần thiết hay không.
Cách hợp tác với chênh lệch áp suất
Áp suất dương thường được duy trì bên trong thiết bị để ngăn chặn sự xâm nhập của không khí chưa được lọc từ bên ngoài. Sự cân bằng giữa lượng không khí cung cấp FFU và lượng không khí hồi lại quyết định áp suất bên trong. Các thiết bị khác nhau có yêu cầu chênh lệch áp suất khác nhau. Máy phủ keo và máy phát triển có đặc tính bịt kín mạnh và chênh lệch áp suất thường là 5 đến 50 Pa; máy tẩy keo và máy làm sạch chip đơn cần đẩy nhanh quá trình thải khí dễ bay hơi và chênh lệch áp suất là 50 đến 200 Pa.
Các vấn đề cần xác nhận trước trong quá trình truyền thông dự án
Trong giai đoạn lựa chọn FFU của thiết bị đầu cuối bán dẫn, nên xác nhận những điều sau với nhà sản xuất và nhà cung cấp thiết bị FFU: yêu cầu về mức độ sạch bên trong của thiết bị; kích thước khoảng không bên trong và phạm vi chuyển động của cơ cấu xử lý tấm bán dẫn; yêu cầu về tốc độ gió mục tiêu và tính đồng nhất; yêu cầu về độ rung và tiếng ồn; đường lưu thông luồng không khí; yêu cầu kiểm soát chênh lệch áp suất; mức độ hiệu quả của bộ lọc và phương pháp niêm phong; không gian và phương pháp bảo trì; liệu môi trường khí trơ có cần thiết hay không.
Nếu bạn đang chọn FFU hoặc EFU cho thiết bị đầu cuối bán dẫn của mình, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt FFU công nghiệp Aili để tìm hiểu về cấu hình máy hoàn chỉnh, bạn cũng có thể tham khảoEFU siêu mỏng 70mm vàTùy chỉnh bộ lọc quạt phía thiết bị EFU để tìm hiểu về giải pháp nhỏ gọn phía thiết bị hoặc liên hệ với Aili Industrial để được hỗ trợ hỗ trợ thiết bị bán dẫn.
Tóm lại
Việc chọn FFU để cung cấp không khí sạch cục bộ cho thiết bị đầu cuối bán dẫn cần tính đến mức độ sạch của quy trình, không gian bên trong, độ đồng đều của luồng không khí và các yêu cầu về độ rung. Các thiết bị như EFEM có thể yêu cầu tiêu chuẩn nội bộ ISO Loại 1 và việc lựa chọn FFU phải phù hợp với cấu trúc siêu mỏng, độ rung thấp và giao diện kín. Hiệu suất của bộ lọc, kiểm soát tốc độ gió, độ rung và chênh lệch áp suất đều cần phải phù hợp với yêu cầu quy trình của thiết bị.
Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về máy móc hoàn chỉnh của FFU và hỗ trợ phía thiết bị. Từ cấu trúc hộp, khớp quạt, khớp bộ lọc đến hệ thống điều khiển, tất cả đều được hoàn thiện trong hệ thống riêng của nó. Nó có thể cung cấp các giải pháp cung cấp không khí siêu mỏng hoặc tùy chỉnh theo cấu trúc bên trong của thiết bị đầu cuối. Nếu bạn cần tìm hiểu thêm về các ứng dụng FFU của thiết bị bán dẫn, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt Aili Industrial FFU , bạn cũng có thể liên hệ với Aili Industrial để được hỗ trợ dự án.
