반도체 전단 장비의 로컬 청정 공기 공급을 위해 FFU를 선택하는 방법은 무엇입니까?
전단 장비에 대한 로컬 청정 공기 공급의 특성
반도체 전공정 장비에는 접착제 현상기, 세정기, 에칭 장비, EFEM 등이 포함됩니다. 이러한 장비에는 일반적으로 웨이퍼 핸들링 메커니즘, 프로세스 챔버 및 정밀 센서가 포함됩니다. 장비 내부의 미세 환경은 청결도에 대한 요구 사항이 높으며 일부 장면은 ISO 클래스 1 수준에 도달할 수 있습니다.
EFEM은 장비의 전단 모듈로 내부 공간이 콤팩트해 웨이퍼 이송 과정에서 높은 청정도를 유지해야 한다. 이 시나리오에서는 클린룸 천장이라는 아이디어를 바탕으로 FFU를 선택할 수 없습니다. 장비의 내부 공간, 웨이퍼 핸들링 동작, 공기 흐름 구성을 기준으로 일치해야 합니다.
FFU 기계의 기본 구조와 구성을 이해하려면 다음으로 시작할 수 있습니다.Aili Industrial FFU 팬 필터 장치 부터 시작하여 전체 기계, 필터, 팬 및 컨트롤러 간의 관계를 전반적으로 이해하십시오.
청정도 수준은 필터 선택과 어떻게 일치합니까?
반도체 프런트 엔드 장비는 더 높은 청정도 수준 요구 사항을 갖습니다. EFEM의 내부 청정도는 ISO 클래스 1 수준에 도달할 수 있습니다. 이 청정도 수준에 따라 FFU와 일치하는 필터에는 일반적으로 U15 이상의 효율과 같은 ULPA 수준이 필요합니다.
필터 효율 등급은 EN1822 또는 IEST 표준을 준수해야 합니다. ISO 클래스 3~5 반도체 청정 시나리오의 경우 H14 HEPA 필터가 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 그러나 프런트 엔드 장비의 내부 미세 환경이 더 높은 요구 사항을 요구하는 경우 ULPA 필터를 선택해야 합니다. 필터와 기계 인터페이스의 매칭에 대해서는 다음을 참조하십시오.ULPA 초고효율 필터를 탑재한 FFU。
필터의 공장 누출 테스트는 단지 기초일 뿐이며 설치 후 밀봉 무결성도 확인해야 합니다. 장비 내부에는 일반적으로 액체 탱크 씰이나 나이프 에지 씰이 사용되며 누출률을 낮은 수준으로 제어해야 합니다. 액체 탱크 씰과 개스킷 씰의 선택에 대해서는 다음을 참조하십시오.탱크씰 고효율 필터 및액체탱크 밀폐형 ULPA 초고효율 필터의 구조적 특징에 대해 알아보세요 .
내부 공간 및 구조 확인 방법
프론트 엔드 장비 내부 공간은 일반적으로 웨이퍼 핸들링 로봇, 가이드 레일 및 센서가 차지합니다. FFU를 장비 상단이나 측면에 설치하는 경우 다음 여유 공간 조건을 확인해야 합니다. FFU 높이가 장비 상단 공간과 일치하는지 여부 FFU 공기 흡입구와 장비 상단 구조 사이의 거리; FFU 공기 출구 표면과 웨이퍼 핸들링 메커니즘의 가장 높은 지점 사이의 거리; FFU가 로봇의 모션 궤적에 영향을 미치는지 여부 FFU 유지보수 및 필터 교체를 위한 작동 공간.
장비 내부 공간이 협소한 경우 기존 FFU를 설치하지 못할 수도 있습니다. 초박형 FFU 또는 맞춤형 EFU가 더 적합할 수 있습니다. 공간이 매우 제한된 애플리케이션의 경우 다음을 참조하세요.70mm 초박형 EFU 및EFU 장비측 팬 필터 장치를 맞춤화하세요 . 컴팩트 솔루션을 이해하려면 Aili Industrial은 장비단 팬 필터 장치에 대한 완전한 생산 체인과 R&D 역량을 보유하고 있습니다. 앞서 70mm 초박형 EFU를 출시했습니다. 초박형 구조 설계 및 완벽한 기계 매칭 분야에서 실무적인 프로젝트 경험을 축적해 왔습니다. 장비의 내부 공간 및 공기 공급 요구 사항을 기반으로 초박형 FFU 또는 맞춤형 EFU 솔루션을 제공할 수 있습니다.
풍속과 균일성을 제어하는 방법
반도체 전공정 장비 내부에는 풍속 제어가 엄격하다. 웨이퍼 코팅, 현상, 세정 등의 공정에서 풍속이 너무 낮으면 오염물질이 제때 제거되지 않을 수 있으며, 풍속이 너무 높으면 웨이퍼 표면의 포토레지스트 코팅이 날아가거나 분사수의 흐름을 방해할 수 있습니다.
장비 유형에 따라 풍속 요구 사항이 다릅니다. 접착제 코팅 및 현상 장비의 풍속은 일반적으로 초당 0.3~1.0m로 제어해야 하며 청소 장비의 풍속은 초당 1.0~1.5m로 설정됩니다. 국부적인 소용돌이나 풍속의 급격한 변화를 방지하려면 풍속이 캐비티 단면 내에서 고르게 분포되어야 합니다.
FFU 공기 공급의 균일성은 여러 측정 지점을 통해 확인되어야 합니다. 측정 지점은 웨이퍼 이송 경로 위의 FFU 공기 출구 표면과 캐비티의 주요 영역을 덮어야 합니다. 풍속 균일성 편차는 일반적으로 플러스 또는 마이너스 20% 내에서 제어되어야 합니다. 풍속 균일성의 표현에 관해서는 다음을 참조할 수 있습니다.FFU 풍속 균일성은 해결점과 편차 계산 방법을 어떻게 표현합니까?
진동과 소음을 고려하는 방법
프론트엔드 장비에는 정밀 웨이퍼 핸들링 로봇이 포함되어 있습니다. FFU 작동 중 진동은 로봇 포지셔닝 정확도나 웨이퍼 취급 안정성에 영향을 미칠 수 있습니다. FFU를 장비 구조물에 직접 장착하는 경우 로봇에 진동이 전달될 수 있습니다.
진동 감소 조치에는 진동 흡수 패드, 유연한 설치 또는 저진동 팬 선택이 포함될 수 있습니다. 장비 내부 소음은 일반적으로 낮은 수준으로 제어되어야 하며, 일부 애플리케이션에서는 저소음 및 방진 설계가 요구됩니다. Aili Industrial은 FFU 팬과 완전한 기계 구조에 대한 완전한 생산 능력을 보유하고 있으며 장비 진동 요구 사항에 따라 설치 방법과 팬 구성을 조정할 수 있습니다. 장비측 지원 솔루션은 다음을 참조하세요.장비측 팬 필터 장치。
공기 순환 경로는 어떻게 구성되어 있나요?
장비 내부의 공기 흐름 조직은 일반적으로 순환 방식을 채택합니다. FFU는 장비 상단에서 아래쪽으로 공기를 공급합니다. 공기 흐름은 웨이퍼 핸들링 영역을 통과한 후 바닥 또는 측면 복귀 공기 경로에서 돌아와 FFU를 통해 순환합니다. 이러한 순환 방식은 외부 가스의 유입을 줄이고 내부 미세환경의 청정도를 유지할 수 있습니다.
공기 흐름 경로 설계에서는 다음 사항을 고려해야 합니다. FFU 공기 공급 방향이 웨이퍼 처리 영역과 일치하는지 여부 환기 경로가 메커니즘이나 케이블에 의해 차단되었는지 여부 기류가 난기류를 발생시키지 않고 주요 구역을 덮을 수 있는지 여부 불활성 가스 환경이 필요한지 여부.
압력 차이에 협력하는 방법
외부에서 여과되지 않은 공기가 유입되는 것을 방지하기 위해 일반적으로 장비 내부에는 양압이 유지됩니다. FFU 공급 공기량과 환기 공기량의 균형에 따라 내부 압력이 결정됩니다. 장비마다 압력차 요구 사항이 다릅니다. 접착제 코팅기 및 현상기는 밀봉 특성이 강하며 압력 차이는 일반적으로 5~50Pa입니다. 접착제 제거제와 단일 칩 세척 기계는 휘발성 가스의 배출을 촉진해야 하며 압력 차이는 50~200Pa입니다.
프로젝트 커뮤니케이션 시 사전에 확인해야 할 사항
반도체 프런트엔드 장비의 FFU 선택 단계에서는 FFU 제조업체 및 장비 공급업체와 함께 다음 사항을 확인하는 것이 좋습니다. 장비의 내부 청정도 수준 요구 사항; 웨이퍼 핸들링 메커니즘의 내부 헤드룸 크기 및 이동 범위; 목표 풍속 및 균일성 요구 사항; 진동 및 소음 요구 사항; 공기 흐름 순환 경로; 압력차 제어 요구사항; 필터 효율 수준 및 밀봉 방법; 유지관리 공간 및 방법; 불활성 가스 환경이 필요한지 여부.
반도체 전공정 장비로 FFU나 EFU를 선택하신다면,전체 기계 구성에 대해 알아보려면 Aili Industrial FFU 팬 필터 장치를 참조하십시오.70mm 초박형 EFU 및EFU 장비측 팬 필터 장치를 맞춤화하여 장비측 컴팩트 솔루션에 대해 알아보거나 Aili Industrial에 문의하여 반도체 장비 지원 지원을 문의하세요.
결론적으로
반도체 전단 장비의 국지적 청정 공기 공급을 위한 FFU를 선택할 때는 공정 청정도 수준, 내부 공간, 공기 흐름 균일성 및 진동 요구 사항을 고려해야 합니다. EFEM과 같은 장비에는 ISO 클래스 1 내부 표준이 필요할 수 있으며 FFU 선택은 초박형 구조, 저진동 및 밀봉된 인터페이스와 일치해야 합니다. 필터 효율성, 풍속 제어, 진동 및 압력 차등은 모두 장비 프로세스 요구 사항과 일치해야 합니다.
Aili Industrial은 FFU 전체 기계 및 장비 측면 지원 분야에서 완전한 생산 능력을 보유하고 있습니다. 박스 구조, 팬 매칭, 필터 매칭, 제어 시스템까지 모두 자체 시스템 내에서 완료됩니다. 프론트 엔드 장비의 내부 구조에 따라 초박형 또는 맞춤형 공기 공급 솔루션을 제공할 수 있습니다. 반도체 장비 FFU 애플리케이션에 대해 자세히 알아보려면 다음을 방문하세요.Aili Industrial FFU 팬 필터 장치 , 프로젝트 지원을 위해 Aili Industrial에 문의하실 수도 있습니다.
