Comment choisir FFU pour l’approvisionnement local en air pur des équipements frontaux de semi-conducteurs ?

Caractéristiques de l'approvisionnement local en air pur pour les équipements front-end

L'équipement frontal pour semi-conducteurs comprend des machines de développement de colle, des machines de nettoyage, des équipements de gravure, EFEM, etc. Ces équipements contiennent généralement des mécanismes de manipulation de plaquettes, des chambres de traitement et des capteurs de précision. Le microenvironnement à l’intérieur de l’équipement a des exigences élevées en matière de propreté et certains scénarios peuvent atteindre le niveau ISO Classe 1.

En tant que module frontal de l'équipement, EFEM dispose d'un espace interne compact et doit maintenir une propreté élevée pendant le processus de transfert de tranche. Dans ce scénario, le FFU ne peut pas être sélectionné sur la base de l'idée d'un plafond de salle blanche. Il doit être adapté en fonction de l'espace interne de l'équipement, des actions de manipulation des plaquettes et de l'organisation du flux d'air.

Pour comprendre la structure de base et la configuration de la machine FFU, vous pouvez commencer parCommencez par l'unité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU pour établir une compréhension globale de la relation entre la machine complète, le filtre, le ventilateur et le contrôleur.

Comment le niveau de propreté correspond-il à la sélection du filtre ?

Les équipements frontaux de semi-conducteurs ont des exigences de niveau de propreté plus élevées. La propreté interne d’EFEM peut atteindre le niveau ISO Classe 1. Correspondant à ce niveau de propreté, le filtre correspondant FFU nécessite généralement un niveau ULPA, tel que U15 ou une efficacité supérieure.

Le niveau d'efficacité du filtre doit être conforme aux normes EN1822 ou IEST. Pour les scénarios de nettoyage des semi-conducteurs de classe ISO 3 à 5, les filtres HEPA H14 peuvent répondre aux besoins. Cependant, lorsque le microenvironnement interne de l'équipement frontal nécessite des exigences plus élevées, des filtres ULPA doivent être sélectionnés. Concernant la correspondance des filtres et des interfaces machine, veuillez vous référer àFFU équipé d'un filtre ultra haute efficacité ULPA。

Le test d'étanchéité du filtre en usine n'est que la base, et l'intégrité de l'étanchéité après l'installation doit également être confirmée. Des joints de réservoir de liquide ou des joints à lame de couteau sont généralement utilisés à l'intérieur de l'équipement, et le taux de fuite doit être contrôlé à un faible niveau. Pour la sélection du joint de réservoir de liquide et du joint d'étanchéité, veuillez vous référer àFiltre à haute efficacité pour joint de réservoir etDécouvrez les caractéristiques structurelles du filtre à ultra-haute efficacité ULPA scellé dans un réservoir de liquide .

Comment vérifier l'espace et la structure internes

L'espace à l'intérieur des équipements front-end est généralement occupé par des robots de manipulation de plaquettes, des rails de guidage et des capteurs. Lorsque le FFU est installé sur le dessus ou sur le côté de l'équipement, les conditions de dégagement suivantes doivent être confirmées : si la hauteur du FFU correspond à l'espace au-dessus de l'équipement ; la distance entre l'entrée d'air FFU et la structure supérieure de l'équipement ; la distance entre la surface de sortie d'air FFU et le point le plus élevé du mécanisme de manipulation des tranches ; si le FFU affecte la trajectoire de mouvement du robot ; et l'espace opérationnel pour la maintenance FFU et le remplacement des filtres.

Lorsque l'espace interne de l'équipement est restreint, les FFU conventionnels ne peuvent pas être installés. Un FFU ultra fin ou un EFU personnalisé peuvent être plus adaptés. Pour les applications avec un espace extrêmement limité, vous pouvez vous référer àEFU ultra-mince de 70 mm etPersonnalisez l'unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU pour comprendre la solution compacte. Aili Industrial dispose d'une chaîne de production complète et de capacités de R&D dans l'unité de filtre à ventilateur côté équipement. Il a lancé plus tôt l’EFU ultra-mince de 70 mm. Elle a accumulé une expérience pratique de projets dans la conception structurelle ultra-mince et l’adaptation complète des machines. Il peut fournir des solutions FFU ultra fines ou EFU personnalisées en fonction des exigences d'espace interne et d'alimentation en air de l'équipement.

Comment contrôler la vitesse et l'uniformité du vent

Le contrôle de la vitesse du vent est strict à l’intérieur des équipements frontaux à semi-conducteurs. Au cours de processus tels que le revêtement, le développement et le nettoyage des tranches, des vitesses de vent trop faibles peuvent empêcher l'élimination des polluants à temps, tandis que des vitesses de vent trop élevées peuvent projeter le revêtement de résine photosensible sur la surface de la tranche ou interférer avec le débit d'eau de pulvérisation.

Différents types d’équipements ont des exigences différentes en matière de vitesse du vent. La vitesse du vent des équipements de revêtement et de développement de colle doit généralement être contrôlée entre 0,3 et 1,0 mètres par seconde, et la vitesse du vent des équipements de nettoyage est réglée entre 1,0 et 1,5 mètres par seconde. La vitesse du vent doit être répartie uniformément dans la section transversale de la cavité pour éviter les tourbillons locaux ou les changements brusques de vitesse du vent.

L'uniformité de l'alimentation en air FFU doit être confirmée par plusieurs points de mesure. Les points de mesure doivent couvrir la surface de sortie d'air du FFU, au-dessus du chemin de transfert de la plaquette et des zones clés de la cavité. L'écart d'uniformité de la vitesse du vent doit généralement être contrôlé à plus ou moins 20 %. Concernant l’expression de l’uniformité de la vitesse du vent, on peut se référer àComment l'uniformité de la vitesse du vent FFU exprime-t-elle la méthode de calcul du point de solution et de l'écart.

Comment prendre en compte les vibrations et le bruit

L’équipement frontal contient des robots de manipulation de plaquettes de précision. Les vibrations pendant le fonctionnement du FFU peuvent affecter la précision du positionnement du robot ou la stabilité de la manipulation des plaquettes. Si le FFU est monté directement sur la structure de l'équipement, des vibrations peuvent être transmises au robot.

Les mesures de réduction des vibrations peuvent envisager des coussinets absorbant les vibrations, une installation flexible ou le choix de ventilateurs à faibles vibrations. Le bruit interne des équipements doit généralement être contrôlé à un faible niveau, et certaines applications nécessitent une conception à faible bruit et anti-vibration. Aili Industrial dispose de capacités de production complètes de ventilateurs FFU et de structures de machines complètes, et peut ajuster la méthode d'installation et la configuration du ventilateur en fonction des exigences de vibration de l'équipement. Pour les solutions de support côté équipement, veuillez vous référer àUnité de filtrage du ventilateur côté équipement。

Comment s’organise le parcours de circulation de l’air ?

L'organisation du flux d'air à l'intérieur de l'équipement adopte généralement la méthode de circulation. Le FFU fournit de l’air vers le bas depuis le haut de l’équipement. Une fois que le flux d'air a traversé la zone de manipulation des tranches, il revient par le chemin de retour d'air inférieur ou latéral, puis circule à travers le FFU. Cette méthode de circulation peut réduire l'entrée de gaz externe et maintenir la propreté du microenvironnement interne.

La conception du trajet du flux d'air doit prendre en compte : si la direction de l'alimentation en air du FFU correspond à la zone de manipulation des plaquettes ; si le chemin de retour d'air est bloqué par des mécanismes ou des câbles ; si le flux d'air peut couvrir des zones clés sans générer de turbulences ; si un environnement de gaz inerte est requis.

Comment coopérer avec la différence de pression

Une pression positive est généralement maintenue à l’intérieur de l’équipement pour empêcher la pénétration d’air non filtré de l’extérieur. L’équilibre entre le volume d’air soufflé et le volume d’air repris FFU détermine la pression interne. Différents équipements ont des exigences différentes en matière de différence de pression. Les machines d'enduction de colle et les machines de développement ont de fortes propriétés d'étanchéité et la différence de pression est généralement de 5 à 50 Pa ; les dissolvants de colle et les machines de nettoyage monopuce doivent accélérer l'évacuation des gaz volatils, et la différence de pression est de 50 à 200 Pa.

Problèmes qui doivent être confirmés à l'avance lors de la communication du projet

Lors de l'étape de sélection FFU des équipements frontaux à semi-conducteurs, il est recommandé de confirmer les éléments suivants avec le fabricant FFU et le fournisseur de l'équipement : les exigences de niveau de propreté interne de l'équipement ; la taille de la hauteur libre interne et la plage de mouvement du mécanisme de manipulation des tranches ; cibler les exigences en matière de vitesse et d'uniformité du vent ; exigences en matière de vibrations et de bruit ; chemin de circulation du flux d'air ; exigences de contrôle de la différence de pression ; niveau d'efficacité du filtre et méthode d'étanchéité ; espace et méthode de maintenance ; si un environnement de gaz inerte est requis.

Si vous choisissez FFU ou EFU pour votre équipement frontal à semi-conducteurs, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU pour en savoir plus sur la configuration complète de la machine, vous pouvez également vous référer àEFU ultra-mince de 70 mm etPersonnalisez l'unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU pour en savoir plus sur la solution compacte côté équipement, ou contactez Aili Industrial pour obtenir une assistance en matière d'équipement semi-conducteur.

en conclusion

La sélection de FFU pour l'approvisionnement local en air pur des équipements frontaux de semi-conducteurs doit prendre en compte le niveau de propreté du processus, l'espace interne, l'uniformité du flux d'air et les exigences en matière de vibrations. Les équipements tels que l'EFEM peuvent nécessiter des normes internes ISO de classe 1, et la sélection des FFU doit correspondre à une structure ultra fine, à de faibles vibrations et à des interfaces scellées. L’efficacité du filtre, le contrôle de la vitesse du vent, les vibrations et la différence de pression doivent tous correspondre aux exigences du processus de l’équipement.

Aili Industrial dispose de capacités de production complètes de machines complètes FFU et de support côté équipement. De la structure du boîtier à l'adaptation des ventilateurs, en passant par l'adaptation des filtres au système de contrôle, tout est complété dans son propre système. Il peut fournir des solutions d'alimentation en air ultra-minces ou personnalisées en fonction de la structure interne de l'équipement frontal. Si vous avez besoin d'en savoir plus sur les applications FFU des équipements semi-conducteurs, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU , vous êtes également invités à contacter Aili Industrial pour une assistance au projet.