كيفية اختيار FFU لإمداد الهواء النظيف المحلي لمعدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات؟

خصائص إمدادات الهواء النظيف المحلي للمعدات الأمامية

تشتمل المعدات الأمامية لأشباه الموصلات على آلات تطوير الغراء، وآلات التنظيف، ومعدات الحفر، وEFEM، وما إلى ذلك. تحتوي هذه المعدات عادةً على آليات معالجة الرقاقات، وغرف المعالجة، وأجهزة الاستشعار الدقيقة. تتطلب البيئة الدقيقة داخل المعدات متطلبات عالية للنظافة، ويمكن أن تصل بعض السيناريوهات إلى مستوى ISO Class 1.

باعتبارها الوحدة الأمامية للمعدات، تتمتع EFEM بمساحة داخلية مدمجة وتحتاج إلى الحفاظ على نظافة عالية أثناء عملية نقل الرقاقة. في هذا السيناريو، لا يمكن اختيار FFU بناءً على فكرة سقف الغرفة النظيفة. يجب أن تتم مطابقتها بناءً على المساحة الداخلية للمعدات، وإجراءات التعامل مع الرقاقة، وتنظيم تدفق الهواء.

لفهم الهيكل الأساسي وتكوين جهاز FFU، يمكنك البدء بهابدأ بوحدة مرشح المروحة Aili Industrial FFU لتأسيس فهم شامل للعلاقة بين الماكينة الكاملة والفلتر والمروحة ووحدة التحكم.

كيف يتوافق مستوى النظافة مع اختيار الفلتر؟

تتمتع معدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات بمتطلبات مستوى نظافة أعلى. يمكن أن تصل النظافة الداخلية لـ EFEM إلى مستوى ISO Class 1. بالتوافق مع مستوى النظافة هذا، عادةً ما يتطلب الفلتر المطابق لـ FFU مستوى ULPA، مثل U15 أو كفاءة أعلى.

يجب أن تتوافق درجة كفاءة الفلتر مع معايير EN1822 أو IEST. بالنسبة لسيناريوهات تنظيف أشباه الموصلات من الفئة 3 إلى 5 من ISO، يمكن لمرشحات H14 HEPA تلبية الاحتياجات. ومع ذلك، عندما تتطلب البيئة الدقيقة الداخلية للمعدات الأمامية متطلبات أعلى، يجب تحديد مرشحات ULPA. فيما يتعلق بمطابقة المرشحات وواجهات الماكينة، يرجى الرجوع إلىFFU مجهز بمرشح ULPA عالي الكفاءة。

إن اختبار تسرب المصنع للمرشح هو الأساس فقط، ويجب أيضًا تأكيد سلامة الختم بعد التثبيت. عادةً ما يتم استخدام أختام خزان السائل أو أختام حافة السكين داخل المعدات، ويجب التحكم في معدل التسرب عند مستوى منخفض. لاختيار ختم خزان السائل وختم الحشية، يرجى الرجوع إلىختم الخزان مرشح عالي الكفاءة وتعرف على الميزات الهيكلية لمرشح ULPA فائق الكفاءة لخزان السائل .

كيفية التحقق من المساحة الداخلية والهيكل

عادةً ما يتم شغل المساحة داخل المعدات الأمامية بواسطة روبوتات معالجة الرقاقات وقضبان التوجيه وأجهزة الاستشعار. عند تثبيت FFU على الجزء العلوي أو الجانبي من الجهاز، يجب تأكيد شروط التخليص التالية: ما إذا كان ارتفاع FFU يتطابق مع المساحة الموجودة أعلى الجهاز؛ المسافة بين مدخل الهواء FFU والهيكل العلوي للمعدات؛ المسافة بين سطح مخرج الهواء FFU وأعلى نقطة في آلية معالجة الرقاقة؛ ما إذا كان FFU يؤثر على مسار حركة الروبوت؛ ومساحة التشغيل لصيانة FFU واستبدال الفلتر.

عندما تكون المساحة الداخلية للمعدات ضيقة، قد لا يتم تثبيت FFU التقليدي. قد يكون FFU فائق النحافة أو EFU المخصص أكثر ملاءمة. بالنسبة للتطبيقات ذات المساحة المحدودة للغاية، يمكنك الرجوع إلى70 ملم EFU وقم بتخصيص وحدة مرشح المروحة من جانب المعدات EFU لفهم الحل المدمج. تمتلك Aili Industrial سلسلة إنتاج كاملة وقدرات بحث وتطوير في وحدة مرشح المروحة الطرفية للمعدات. لقد أطلقت EFU فائق النحافة مقاس 70 مم في وقت سابق. لقد تراكمت لديها خبرة عملية في المشروع في التصميم الهيكلي فائق النحافة والمطابقة الكاملة للآلة. يمكنها توفير حلول FFU رفيعة جدًا أو حلول EFU مخصصة استنادًا إلى المساحة الداخلية ومتطلبات إمداد الهواء للمعدات.

كيفية التحكم في سرعة الرياح وانتظامها

التحكم في سرعة الرياح صارم داخل المعدات الأمامية لأشباه الموصلات. أثناء عمليات مثل طلاء الرقاقة والتطوير والتنظيف، قد تمنع سرعات الرياح المنخفضة جدًا إزالة الملوثات في الوقت المناسب، في حين أن سرعات الرياح العالية جدًا قد تؤدي إلى نفخ الطبقة المقاومة للضوء الموجودة على سطح الرقاقة أو تتداخل مع تدفق ماء الرش.

أنواع المعدات المختلفة لها متطلبات مختلفة لسرعة الرياح. عادة ما تحتاج سرعة الرياح لطلاء الغراء ومعدات التطوير إلى التحكم بـ 0.3 إلى 1.0 متر في الثانية، ويتم ضبط سرعة الرياح لمعدات التنظيف على 1.0 إلى 1.5 متر في الثانية. يجب أن يتم توزيع سرعة الرياح بالتساوي داخل المقطع العرضي للتجويف لتجنب الدوامات المحلية أو التغيرات المفاجئة في سرعة الرياح.

ينبغي التأكد من توحيد إمدادات الهواء FFU من خلال نقاط قياس متعددة. يجب أن تغطي نقاط القياس سطح مخرج الهواء FFU، فوق مسار نقل الرقاقة والمناطق الرئيسية للتجويف. عادةً ما يلزم التحكم في انحراف انتظام سرعة الرياح في حدود زائد أو ناقص 20%. فيما يتعلق بالتعبير عن توحيد سرعة الرياح، يمكنك الرجوع إلىكيف يعبر توحيد سرعة الرياح FFU عن نقطة الحل وطريقة حساب الانحراف.

كيفية النظر في الاهتزاز والضوضاء

تحتوي المعدات الأمامية على روبوتات دقيقة للتعامل مع الرقاقات. قد يؤثر الاهتزاز أثناء تشغيل FFU على دقة تحديد موضع الروبوت أو استقرار معالجة الرقاقة. إذا تم تركيب وحدة FFU مباشرة على هيكل المعدات، فقد تنتقل الاهتزازات إلى الروبوت.

يمكن أن تأخذ تدابير تقليل الاهتزاز في الاعتبار منصات امتصاص الاهتزاز، أو التثبيت المرن، أو اختيار مراوح منخفضة الاهتزاز. عادةً ما يلزم التحكم في الضوضاء الداخلية للمعدات عند مستوى منخفض، وتتطلب بعض التطبيقات تصميمًا منخفض الضوضاء ومضادًا للاهتزاز. تتمتع Aili Industrial بقدرات إنتاج كاملة في مراوح FFU وهياكل الآلة الكاملة، ويمكنها ضبط طريقة التثبيت وتكوين المروحة وفقًا لمتطلبات اهتزاز المعدات. للحصول على حلول الدعم من جانب المعدات، يرجى الرجوع إلىوحدة تصفية المروحة الجانبية للمعدات。

كيف يتم تنظيم مسار دوران الهواء؟

عادةً ما يعتمد تنظيم تدفق الهواء داخل الجهاز طريقة التدوير. توفر وحدة FFU الهواء للأسفل من أعلى الجهاز. بعد أن يمر تدفق الهواء عبر منطقة معالجة الرقاقة، فإنه يعود من مسار الهواء العكسي السفلي أو الجانبي ثم يدور عبر FFU. يمكن لطريقة التدوير هذه أن تقلل من دخول الغاز الخارجي وتحافظ على نظافة البيئة الدقيقة الداخلية.

يجب أن يأخذ تصميم مسار تدفق الهواء في الاعتبار ما يلي: ما إذا كان اتجاه إمداد الهواء FFU يتطابق مع منطقة معالجة الرقاقة؛ ما إذا كان مسار الهواء العائد مسدودًا بواسطة الآليات أو الكابلات؛ وما إذا كان تدفق الهواء يمكنه تغطية المناطق الرئيسية دون توليد اضطرابات؛ ما إذا كانت بيئة الغاز الخامل مطلوبة.

كيفية التعاون مع فرق الضغط

عادة ما يتم الحفاظ على الضغط الإيجابي داخل الجهاز لمنع دخول الهواء غير المفلتر من الخارج. يحدد توازن حجم هواء إمداد FFU وحجم الهواء العائد الضغط الداخلي. المعدات المختلفة لديها متطلبات مختلفة لفرق الضغط. تتميز آلات طلاء الغراء وآلات التطوير بخصائص إغلاق قوية، وعادة ما يكون فرق الضغط من 5 إلى 50 باسكال؛ تحتاج مزيلات الغراء وآلات التنظيف أحادية الشريحة إلى تسريع عملية تفريغ الغازات المتطايرة، ويكون فرق الضغط من 50 إلى 200 باسكال.

المشكلات التي يجب تأكيدها مسبقًا أثناء الاتصال بالمشروع

في مرحلة اختيار FFU لمعدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات، يوصى بتأكيد ما يلي مع الشركة المصنعة لـ FFU ومورد المعدات: متطلبات مستوى النظافة الداخلية للمعدات؛ حجم الإرتفاع الداخلي ونطاق الحركة لآلية معالجة الرقاقة؛ سرعة الرياح المستهدفة ومتطلبات التوحيد؛ متطلبات الاهتزاز والضوضاء. مسار دوران تدفق الهواء. متطلبات التحكم في فرق الضغط؛ مستوى كفاءة التصفية وطريقة الختم؛ مساحة وطريقة الصيانة؛ ما إذا كانت بيئة الغاز الخامل مطلوبة.

إذا كنت تختار FFU أو EFU لمعدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات، فيمكنك زيارة الموقعوحدة مرشح مروحة Aili Industrial FFU للتعرف على التكوين الكامل للماكينة، يمكنك أيضًا الرجوع إلى70 ملم EFU وقم بتخصيص وحدة مرشح المروحة من جانب المعدات EFU للتعرف على الحل المدمج من جانب المعدات، أو اتصل بـ Aili Industrial للحصول على دعم دعم معدات أشباه الموصلات.

ختاماً

إن اختيار FFU لإمداد الهواء النظيف المحلي لمعدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات يجب أن يأخذ في الاعتبار مستوى نظافة العملية والمساحة الداخلية وتوحيد تدفق الهواء ومتطلبات الاهتزاز. قد تتطلب المعدات مثل EFEM معايير داخلية من الفئة ISO 1، ويجب أن يتطابق اختيار FFU مع الهيكل الرفيع للغاية والاهتزاز المنخفض والواجهات المغلقة. يجب أن تتوافق كفاءة المرشح والتحكم في سرعة الرياح والاهتزاز والضغط التفاضلي مع متطلبات عملية المعدات.

تتمتع Aili Industrial بقدرات إنتاجية كاملة في آلات FFU الكاملة ودعم جانب المعدات. بدءًا من هيكل الصندوق، ومطابقة المروحة، ومطابقة المرشح لنظام التحكم، يتم استكمال كل ذلك ضمن نظام خاص به. يمكنها توفير حلول إمداد الهواء فائقة النحافة أو مخصصة وفقًا للهيكل الداخلي للمعدات الأمامية. إذا كنت بحاجة إلى معرفة المزيد حول تطبيقات FFU لمعدات أشباه الموصلات، فيمكنك زيارة الموقعوحدة مرشح المروحة Aili Industrial FFU ، نرحب أيضًا بالاتصال بـ Aili Industrial لدعم المشروع.