Как выбрать ФФУ для локального снабжения чистым воздухом полупроводникового оборудования?
Характеристики локальной подачи чистого воздуха для передового оборудования
Предварительное оборудование для производства полупроводников включает в себя машины для проявки клея, машины для очистки, оборудование для травления, EFEM и т. д. Это оборудование обычно содержит механизмы обработки пластин, технологические камеры и прецизионные датчики. К микросреде внутри оборудования предъявляются высокие требования к чистоте, а некоторые сцены могут достигать уровня 1 класса ISO.
Являясь передним модулем оборудования, EFEM имеет компактное внутреннее пространство и требует поддержания высокой чистоты во время процесса переноса пластин. В этом случае ФФУ не может быть выбран исходя из идеи чистого потолка помещения. Его необходимо подбирать исходя из внутреннего пространства оборудования, действий по обращению с пластинами и организации воздушного потока.
Чтобы понять базовую структуру и конфигурацию машины ФФУ, можно начать сНачните с блока фильтра вентилятора Aili Industrial FFU, чтобы получить общее представление о взаимосвязи между машиной в целом, фильтром, вентилятором и контроллером.
Насколько уровень чистоты соответствует выбору фильтра?
К полупроводниковому оборудованию предъявляются повышенные требования к чистоте. Внутренняя чистота EFEM может достигать уровня 1 класса ISO. В соответствии с этим уровнем чистоты фильтр, соответствующий FFU, обычно требует уровня ULPA, например U15 или более высокой эффективности.
Класс эффективности фильтра должен соответствовать стандартам EN1822 или IEST. Для сценариев очистки полупроводников от 3 до 5 классов ISO фильтры HEPA H14 могут удовлетворить потребности. Однако, когда внутренняя микросреда входного оборудования требует более высоких требований, необходимо выбирать ULPA-фильтры. Информацию о соответствии фильтров и машинных интерфейсов см.FFU оснащен фильтром сверхвысокой эффективности ULPA.。
Заводская проверка фильтра на герметичность является лишь основой, также необходимо подтвердить целостность уплотнения после установки. Уплотнения резервуара для жидкости или ножевые уплотнения обычно используются внутри оборудования, и скорость утечки необходимо контролировать на низком уровне. Для выбора уплотнения бака для жидкости и прокладки см.Уплотнение бака высокоэффективный фильтр иУзнайте о конструктивных особенностях сверхвысокоэффективного фильтра ULPA с герметичным резервуаром для жидкости .
Как проверить внутреннее пространство и структуру
Пространство внутри переднего оборудования обычно занимают роботы для обработки пластин, направляющие и датчики. Если FFU установлен сверху или сбоку оборудования, необходимо подтвердить следующие условия зазора: соответствует ли высота FFU пространству сверху оборудования; расстояние между воздухозаборником ФФУ и верхней конструкцией оборудования; расстояние между поверхностью выхода воздуха ФФУ и самой высокой точкой механизма манипулирования пластинами; влияет ли ФФУ на траекторию движения робота; и оперативное помещение для обслуживания ФФУ и замены фильтров.
При тесноте внутреннего пространства оборудования установка обычного ФФУ невозможна. Ультратонкий FFU или специальный EFU могут оказаться более подходящими. Для приложений с чрезвычайно ограниченным пространством вы можете обратиться кУльтратонкий EFU толщиной 70 мм иНастройте блок вентиляторного фильтра со стороны оборудования EFU , чтобы понять компактное решение. Aili Industrial имеет полную производственную цепочку и возможности исследований и разработок в области вентиляторных фильтров для оборудования. Ранее компания выпустила ультратонкий EFU толщиной 70 мм. Компания накопила практический опыт реализации проектов в области проектирования сверхтонких конструкций и полной совместимости машин. Он может предоставить ультратонкие решения FFU или индивидуальные решения EFU в зависимости от внутреннего пространства и требований к подаче воздуха в оборудование.
Как контролировать скорость и однородность ветра
Контроль скорости ветра является строгим внутри полупроводникового оборудования. Во время таких процессов, как нанесение покрытия на пластину, проявление и очистка, слишком низкая скорость ветра может помешать своевременному удалению загрязняющих веществ, а слишком высокая скорость ветра может снести фоторезистное покрытие с поверхности пластины или помешать потоку распыляемой воды.
Различные типы оборудования предъявляют разные требования к скорости ветра. Скорость ветра оборудования для нанесения клеевого покрытия и проявочного оборудования обычно необходимо контролировать на уровне от 0,3 до 1,0 метра в секунду, а скорость ветра оборудования для очистки устанавливается на уровне от 1,0 до 1,5 метра в секунду. Скорость ветра должна быть равномерно распределена по поперечному сечению полости, чтобы избежать локальных вихрей или внезапных изменений скорости ветра.
Равномерность подачи воздуха в ФФУ должна быть подтверждена посредством нескольких точек измерения. Точки измерения должны охватывать выходную поверхность ФФУ, над путем переноса пластины и ключевыми участками полости. Отклонение от равномерности скорости ветра обычно требуется контролировать в пределах плюс-минус 20%. Что касается выражения однородности скорости ветра, вы можете обратиться кКак однородность скорости ветра ФФУ выражает точку решения и метод расчета отклонения.
Как учитывать вибрацию и шум
Переднее оборудование включает в себя прецизионные роботы для обработки пластин. Вибрация во время работы FFU может повлиять на точность позиционирования робота или стабильность работы с пластинами. Если ФФУ установлен непосредственно на конструкции оборудования, роботу могут передаваться вибрации.
Меры по снижению вибрации могут включать в себя вибропоглощающие прокладки, гибкую установку или выбор вентиляторов с низким уровнем вибрации. Внутренний шум оборудования обычно необходимо контролировать на низком уровне, а в некоторых приложениях требуется низкий уровень шума и антивибрационная конструкция. Aili Industrial обладает всеми возможностями по производству вентиляторов FFU и комплексных конструкций машин, а также может адаптировать метод установки и конфигурацию вентиляторов в соответствии с требованиями к вибрации оборудования. Информацию о решениях поддержки со стороны оборудования см.Блок фильтра вентилятора со стороны оборудования。
Как организован путь циркуляции воздуха?
Для организации воздушного потока внутри оборудования обычно применяется циркуляционный метод. FFU подает воздух вниз от верхней части оборудования. После того, как поток воздуха проходит через зону обработки пластин, он возвращается из нижнего или бокового возвратного воздушного канала и затем циркулирует через FFU. Такой метод циркуляции позволяет уменьшить попадание внешнего газа и сохранить чистоту внутренней микросреды.
При проектировании пути воздушного потока необходимо учитывать: соответствует ли направление подачи воздуха FFU зоне обработки пластин; не заблокирован ли путь обратного воздуха механизмами или кабелями; может ли воздушный поток охватывать ключевые области, не создавая турбулентности; требуется ли среда инертного газа.
Как работать с разницей давления
Внутри оборудования обычно поддерживается положительное давление, чтобы предотвратить попадание нефильтрованного воздуха снаружи. Баланс объема приточного и возвратного воздуха FFU определяет внутреннее давление. Различное оборудование предъявляет разные требования к перепаду давления. Установки для нанесения клея и проявочные машины обладают сильными герметизирующими свойствами, а разница давления обычно составляет от 5 до 50 Па; для удаления клея и одночиповых очистительных машин необходимо ускорить отвод летучих газов, а разница давлений составляет от 50 до 200 Па.
Проблемы, которые должны быть подтверждены заранее во время обсуждения проекта
На этапе выбора ФФУ полупроводникового комплексного оборудования рекомендуется уточнить у производителя и поставщика оборудования ФФУ: требования к уровню внутренней чистоты оборудования; внутренний размер высоты и диапазон перемещения механизма манипулирования пластинами; требования к целевой скорости и однородности ветра; требования к вибрации и шуму; путь циркуляции воздушного потока; требования к контролю перепада давления; уровень эффективности фильтра и метод герметизации; пространство и метод обслуживания; требуется ли среда инертного газа.
Если вы выбираете FFU или EFU для своего полупроводникового оборудования, вы можете посетитьПромышленный вентиляторный фильтр Aili FFU, чтобы узнать о полной конфигурации машины, вы также можете обратиться кУльтратонкий EFU толщиной 70 мм иНастройте блок вентиляторного фильтра со стороны оборудования EFU , чтобы узнать о компактном решении со стороны оборудования, или свяжитесь с Aili Industrial для получения поддержки по полупроводниковому оборудованию.
в заключение
При выборе FFU для местного снабжения чистым воздухом полупроводникового оборудования необходимо учитывать уровень чистоты процесса, внутреннее пространство, однородность воздушного потока и требования к вибрации. Для такого оборудования, как EFEM, могут потребоваться внутренние стандарты ISO класса 1, а выбор FFU должен соответствовать ультратонкой конструкции, низкому уровню вибрации и герметичным интерфейсам. Эффективность фильтра, контроль скорости ветра, вибрация и перепад давления — все это должно соответствовать технологическим требованиям оборудования.
Aili Industrial обладает полными производственными возможностями по комплексному оборудованию FFU и поддержке оборудования. От конструкции коробки, подбора вентиляторов, подбора фильтров до системы управления — все это осуществляется в рамках отдельной системы. Он может предоставить ультратонкие или индивидуальные решения для подачи воздуха в соответствии с внутренней структурой внешнего оборудования. Если вам нужно узнать больше о применении FFU полупроводникового оборудования, вы можете посетитьВентиляционно-фильтрующий блок Aili Industrial FFU . Вы также можете связаться с Aili Industrial для поддержки проекта.
