¿Cómo elegir FFU para el suministro local de aire limpio de equipos frontales de semiconductores?

Características del suministro local de aire limpio para equipos frontales.

Los equipos frontales de semiconductores incluyen máquinas de desarrollo de pegamento, máquinas de limpieza, equipos de grabado, EFEM, etc. Estos equipos suelen contener mecanismos de manipulación de obleas, cámaras de proceso y sensores de precisión. El microambiente dentro del equipo tiene altos requisitos de limpieza y algunos escenarios pueden alcanzar el nivel ISO Clase 1.

Como módulo frontal del equipo, EFEM tiene un espacio interno compacto y necesita mantener un alto nivel de limpieza durante el proceso de transferencia de obleas. En este escenario, la FFU no se puede seleccionar basándose en la idea de un techo de sala limpia. Debe combinarse según el espacio interno del equipo, las acciones de manipulación de las obleas y la organización del flujo de aire.

Para comprender la estructura básica y la configuración de la máquina FFU, puede comenzar conComience con la unidad de filtro de ventilador Aili Industrial FFU para establecer una comprensión general de la relación entre la máquina completa, el filtro, el ventilador y el controlador.

¿Cómo se corresponde el nivel de limpieza con la selección del filtro?

Los equipos frontales de semiconductores tienen requisitos de nivel de limpieza más altos. La limpieza interna de EFEM puede alcanzar el nivel ISO Clase 1. En correspondencia con este nivel de limpieza, el filtro que coincide con FFU generalmente requiere un nivel ULPA, como U15 o una eficiencia superior.

El grado de eficiencia del filtro debe cumplir con las normas EN1822 o IEST. Para escenarios de limpieza de semiconductores ISO Clase 3 a 5, los filtros HEPA H14 pueden satisfacer las necesidades. Sin embargo, cuando el microambiente interno del equipo frontal requiere requisitos más altos, se deben seleccionar filtros ULPA. En cuanto a la combinación de filtros e interfaces de la máquina, consulteFFU equipada con filtro ULPA de ultra alta eficiencia。

La prueba de fugas del filtro en fábrica es solo la base y también es necesario confirmar la integridad del sellado después de la instalación. Dentro del equipo generalmente se usan sellos de tanque de líquido o sellos de borde de cuchillo, y la tasa de fuga debe controlarse a un nivel bajo. Para la selección del sello del tanque de líquido y el sello de la junta, consulteFiltro de alta eficiencia con sello de tanque yConozca las características estructurales del filtro de ultra alta eficiencia ULPA sellado con tanque de líquido .

Cómo comprobar el espacio interno y la estructura.

El espacio interior del equipo frontal suele estar ocupado por robots de manipulación de obleas, carriles guía y sensores. Cuando la FFU se instala en la parte superior o lateral del equipo, se deben confirmar las siguientes condiciones de espacio libre: si la altura de la FFU coincide con el espacio en la parte superior del equipo; la distancia entre la entrada de aire de la FFU y la estructura superior del equipo; la distancia entre la superficie de salida de aire de la FFU y el punto más alto del mecanismo de manipulación de oblea; si la FFU afecta la trayectoria de movimiento del robot; y el espacio operativo para el mantenimiento de FFU y el reemplazo de filtros.

Cuando el espacio interno del equipo es reducido, no se puede instalar FFU convencional. Una FFU ultrafina o una EFU personalizada pueden ser más adecuadas. Para aplicaciones con espacio extremadamente limitado, puede consultarEFU ultrafino de 70 mm yPersonalice la unidad de filtrado del ventilador del lado del equipo EFU para comprender la solución compacta. Aili Industrial tiene una cadena de producción completa y capacidades de I+D en la unidad de filtrado de ventiladores del extremo del equipo. Lanzó anteriormente el EFU ultrafino de 70 mm. Ha acumulado experiencia práctica en proyectos de diseño estructural ultradelgado y combinación completa de máquinas. Puede proporcionar FFU ultradelgadas o soluciones EFU personalizadas según los requisitos de espacio interno y suministro de aire del equipo.

Cómo controlar la velocidad y la uniformidad del viento

El control de la velocidad del viento es estricto dentro del equipo frontal de semiconductores. Durante procesos como el recubrimiento, el revelado y la limpieza de la oblea, las velocidades del viento demasiado bajas pueden impedir que los contaminantes se eliminen a tiempo, mientras que las velocidades del viento demasiado altas pueden volar el revestimiento fotoprotector de la superficie de la oblea o interferir con el flujo de agua pulverizada.

Los diferentes tipos de equipos tienen diferentes requisitos de velocidad del viento. La velocidad del viento del equipo de recubrimiento y revelado de pegamento generalmente debe controlarse entre 0,3 y 1,0 metros por segundo, y la velocidad del viento del equipo de limpieza se establece entre 1,0 y 1,5 metros por segundo. La velocidad del viento debe distribuirse uniformemente dentro de la sección transversal de la cavidad para evitar remolinos locales o cambios repentinos en la velocidad del viento.

La uniformidad del suministro de aire de las FFU debe confirmarse mediante múltiples puntos de medición. Los puntos de medición deben cubrir la superficie de salida de aire de la FFU, por encima de la ruta de transferencia de la oblea y las áreas clave de la cavidad. Generalmente se requiere que la desviación de la uniformidad de la velocidad del viento se controle dentro de más o menos el 20%. En cuanto a la expresión de la uniformidad de la velocidad del viento, puede consultar¿Cómo expresa la uniformidad de la velocidad del viento FFU el método de cálculo del punto de solución y la desviación?

Cómo considerar la vibración y el ruido

El equipo frontal contiene robots de manipulación de obleas de precisión. La vibración durante el funcionamiento de la FFU puede afectar la precisión del posicionamiento del robot o la estabilidad del manejo de las obleas. Si la FFU se monta directamente en la estructura del equipo, es posible que se transmitan vibraciones al robot.

Las medidas de reducción de vibraciones pueden incluir almohadillas absorbentes de vibraciones, instalación flexible o elección de ventiladores de baja vibración. El ruido interno de los equipos generalmente debe controlarse a un nivel bajo y algunas aplicaciones requieren un diseño antivibración y de bajo ruido. Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en ventiladores FFU y estructuras completas de máquinas, y puede ajustar el método de instalación y la configuración del ventilador de acuerdo con los requisitos de vibración del equipo. Para soluciones de soporte del lado del equipo, consulteUnidad de filtrado del ventilador lateral del equipo。

¿Cómo se organiza la ruta de circulación del aire?

La organización del flujo de aire dentro del equipo suele adoptar el método de circulación. La FFU suministra aire hacia abajo desde la parte superior del equipo. Después de que el flujo de aire pasa a través del área de manipulación de obleas, regresa desde la ruta de aire de retorno inferior o lateral y luego circula a través de la FFU. Este método de circulación puede reducir la entrada de gas externo y mantener la limpieza del microambiente interno.

El diseño de la ruta del flujo de aire debe considerar: si la dirección del suministro de aire de la FFU coincide con el área de manipulación de las obleas; si el camino del aire de retorno está bloqueado por mecanismos o cables; si el flujo de aire puede cubrir áreas clave sin generar turbulencias; si se requiere un entorno de gas inerte.

Cómo cooperar con la diferencia de presión.

Por lo general, se mantiene una presión positiva dentro del equipo para evitar la entrada de aire sin filtrar desde el exterior. El equilibrio entre el volumen de aire de suministro y el volumen de aire de retorno de la FFU determina la presión interna. Diferentes equipos tienen diferentes requisitos de diferencia de presión. Los recubridores de pegamento y las máquinas de revelado tienen fuertes propiedades de sellado y la diferencia de presión suele ser de 5 a 50 Pa; Los removedores de pegamento y las máquinas de limpieza de un solo chip deben acelerar la descarga de gases volátiles y la diferencia de presión es de 50 a 200 Pa.

Cuestiones que deben confirmarse con antelación durante la comunicación del proyecto

En la etapa de selección de FFU de equipos frontales de semiconductores, se recomienda confirmar lo siguiente con el fabricante de FFU y el proveedor del equipo: requisitos del nivel de limpieza interna del equipo; tamaño del espacio libre interno y rango de movimiento del mecanismo de manipulación de obleas; requisitos de uniformidad y velocidad del viento objetivo; requisitos de vibración y ruido; ruta de circulación del flujo de aire; requisitos de control de diferencia de presión; nivel de eficiencia del filtro y método de sellado; espacio y método de mantenimiento; si se requiere un entorno de gas inerte.

Si elige FFU o EFU para su equipo frontal de semiconductores, puede visitarUnidad de filtro de ventilador Aili Industrial FFU para conocer la configuración completa de la máquina, también puede consultarEFU ultrafino de 70 mm yPersonalice la unidad de filtro de ventilador del lado del equipo EFU para conocer la solución compacta del lado del equipo o comuníquese con Aili Industrial para obtener soporte técnico para equipos semiconductores.

en conclusión

La selección de FFU para el suministro local de aire limpio de equipos frontales de semiconductores debe tener en cuenta el nivel de limpieza del proceso, el espacio interno, la uniformidad del flujo de aire y los requisitos de vibración. Los equipos como EFEM pueden requerir estándares internos ISO Clase 1, y la selección de FFU debe coincidir con una estructura ultradelgada, baja vibración e interfaces selladas. La eficiencia del filtro, el control de la velocidad del viento, la vibración y el diferencial de presión deben coincidir con los requisitos del proceso del equipo.

Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en máquinas completas FFU y soporte del lado del equipo. Desde la estructura de la caja, la combinación de ventiladores, la combinación de filtros hasta el sistema de control, todo se completa dentro de su propio sistema. Puede proporcionar soluciones de suministro de aire ultrafinas o personalizadas según la estructura interna del equipo frontal. Si necesita obtener más información sobre las aplicaciones FFU de equipos semiconductores, puede visitarUnidad de filtro de ventilador FFU de Aili Industrial , también puede comunicarse con Aili Industrial para obtener soporte en el proyecto.