Auf welche Parameter müssen Sie bei der Auswahl von FFU für einen Halbleiter-Reinraum am meisten achten?
Für Halbleiterreinräume gelten umfassendere Anforderungen an die FFU-Parameter
In Halbleiter-Reinräumen werden höhere Anforderungen an die Partikelkontrolle, die Organisation des Luftstroms und die Betriebsstabilität gestellt. Die Sauberkeit einiger Bereiche kann ISO-Klassen 1 bis 3 erreichen. Als Kerngerät der zirkulierenden gefilterten Luftversorgung wirkt sich die Parameterauswahl von FFU direkt auf die regionale Sauberkeit und den Prozessschutzeffekt aus.
Bei der Auswahl von FFU für einen Halbleiter-Reinraum können Sie nicht nur einen Parameter betrachten. Luftmenge, statischer Druck, Filtergrad, Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit, Lärm, Steuerungsmethode und elektrische Parameter müssen alle in Verbindung mit den Prozessanforderungen überprüft werden. Parameter hängen miteinander zusammen und sollten zwischen der gesamten Maschine und dem System verglichen werden.
Aili Industrial verfügt über umfassende Produktionskapazitäten für komplette FFU-Maschinen und die Unterstützung von Halbleiterprojekten und kann Luftversorgungslösungen basierend auf den Bedingungen der Waferfabrik und der Halbleiterausrüstung bereitstellen. Den Grundaufbau der FFU-Maschine finden Sie unterAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit。
So überprüfen Sie Luftvolumen und statischen Druck
Die Luftmenge bestimmt die Luftversorgungskapazität der FFU. Das Luftvolumen eines Halbleiter-Reinraums sollte auf der Grundlage des Reinheitsgrads, der Anzahl der Luftwechsel oder des Schutzbereichs berechnet werden. Für unidirektionale Strömungsgebiete können Berechnungen basierend auf der Zielwindgeschwindigkeit und dem Schutzgebiet durchgeführt werden. Für nicht unidirektionale Strömungsbereiche kann sie anhand der Anzahl der Luftwechsel berechnet werden.
Der statische Druck bestimmt die Fähigkeit der FFU, den Systemwiderstand zu überwinden. FFU in Halbleiter-Reinräumen müssen möglicherweise mit hocheffizienten Filtern, Luftversorgungspfaden oder Gerätestrukturen ausgestattet werden, und der Systemwiderstand beeinflusst das tatsächliche Luftvolumen. Bestätigen Sie bei der Auswahl eines Modells die statische Druckspanne bei der Zielluftmenge und berücksichtigen Sie die Änderung des Betriebspunkts nach der Staubansammlung auf dem Filter.
Luftvolumen und statischer Druck sollten unter der kompletten Maschinenkonfiguration verglichen werden, nicht nur unter dem vollen Druck des bloßen Lüfters. Einzelheiten finden Sie unterWas ist der Unterschied zwischen dem externen statischen Druck der FFU-Maschine und dem vollen Druck des Lüfters? Verstehen Sie den Parameter Kaliber.
So wählen Sie die Filterstufe aus
In Halbleiter-Reinräumen werden höhere Anforderungen an den Filtergrad gestellt. Entsprechend den ISO-Klassen 1 bis 3 sind in der Regel Filter der ULPA-Stufe erforderlich, beispielsweise U15 oder höher. Für die ISO-Klassen 4 bis 5 können H14-HEPA-Filter die Anforderungen erfüllen.
Der Filtereffizienzgrad muss den EN1822- oder IEST-Standards entsprechen. Bei der Auswahl sollten Sie auch die Dichtungsmethode und die Installationsschnittstelle des Filters bestätigen. In Reinräumen für Halbleiter werden üblicherweise Flüssigkeitstankdichtungen oder Messerkantendichtungen verwendet, und die Leckagerate muss auf einem niedrigen Niveau gehalten werden. Informationen zur Abstimmung von Filtern und Maschinenschnittstellen finden Sie unterFFU ausgestattet mit ULPA-Ultrahocheffizienzfilter。
Wie man die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit berücksichtigt
In Halbleiter-Reinräumen, insbesondere in Waferfabriken, werden hohe Anforderungen an die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit gestellt. Eine ungleichmäßige Windgeschwindigkeit kann zu einer lokalen Ansammlung von Partikeln oder Störungen des Luftstroms führen und sich auf die Waferoberfläche und die Prozessausrüstung auswirken.
Die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit sollte durch mehrere Messpunkte bestätigt werden. Die Messpunkte sollten die Luftauslassoberfläche, die Spleißgrenze mehrerer FFUs und die Schlüsselbereiche des Wafers abdecken. Bezüglich des Ausdrucks der Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit können Sie sich auf Folgendes beziehen:Wie drückt die FFU-Windgeschwindigkeitsgleichmäßigkeit den Lösungspunkt und die Abweichungsberechnungsmethode aus?
Wie ist Lärm zu berücksichtigen?
In Halbleiter-Reinräumen sind in der Regel kontinuierliche Produktionsanforderungen erforderlich, und in der Werkstatt muss Personal arbeiten. Übermäßiger FFU-Lärm kann die Arbeitsumgebung und den Komfort des Personals beeinträchtigen. Geräuschparameter sollten in Kombination mit Entfernungsmessung und Betriebsgeschwindigkeit bestätigt werden, anstatt nur einen einzelnen Wert zu betrachten.
Wenn mehrere FFUs gleichzeitig laufen, kann es zu einer Überlagerung von Raumgeräuschen kommen. Bei der Auswahl eines Modells können Sie den Geräuschpegel eines einzelnen Geräts und den zu erwartenden Raumgeräuschpegel überprüfen.
So wählen Sie die Kontrollmethode aus
FFUs in Halbleiter-Reinräumen sind in der Regel an das Gruppensteuerungssystem angeschlossen und je nach Bereich oder Prozess werden unterschiedliche Betriebsmodi eingestellt. Wenn für das Projekt eine Trennwandregelung, eine Regelung des konstanten Luftvolumens oder eine Rückmeldung der Windgeschwindigkeit erforderlich sind, muss sichergestellt werden, dass der Regler die entsprechenden Funktionen unterstützt.
Informationen zu Kontrollmethoden finden Sie unterFFU/EFU-Gruppensteuerung, Touchscreen-Controller undFFU-Computergruppensteuerungssystem . Aili Industrial verfügt über vollständige Selbstforschungskapazitäten für FFU-Steuerungssysteme und kann Steuerungslösungen entsprechend den Anforderungen von Halbleiterprojekten bereitstellen.
So überprüfen Sie elektrische Parameter
Zu den elektrischen Parametern gehören Versorgungsspannung, Eingangsleistung, Leistungsfaktor und Schutzstufe. In Halbleiter-Reinräumen können Anforderungen an die elektrische Sicherheit und Erdung gelten. Bei der Auswahl sollten die Stromversorgungsbedingungen, die Leistungsdaten und das Schutzniveau bestätigt und die Übereinstimmung mit dem Stromverteilungssystem des Projekts überprüft werden.
Zur Unterscheidung zwischen Eingangsleistung und Leistungsfaktor sieheWie man den FFU-Leistungsfaktor von der Eingangsleistung unterscheidet, um die Bedeutung der Parameter zu verstehen.
So überprüfen Sie Struktur- und Installationsparameter
FFUs in Halbleiter-Reinräumen können an abgehängten Decken, auf Geräten oder auf lokalen Stützen installiert werden. Zu den strukturellen Parametern gehören die Gesamtgröße der Maschine, die Installationsabmessungen, Wartungsmethoden und der Lufteinlassabstand. Bei einer Montage auf der Oberseite des Geräts müssen außerdem die Tragfähigkeit, die Öffnungsschiene des Deckels und die Sicherheitsverriegelung überprüft werden.
Informationen zu geräteseitigen Anwendungen finden Sie unterGeräteende, Ventilator, Filtereinheit undPassen Sie die EFU-Lüfterfiltereinheit am Geräteende individuell an, um mehr über unterstützende Lösungen zu erfahren.
Probleme, die im Rahmen der Projektkommunikation vorab bestätigt werden sollten
In der Phase der FFU-Auswahl für Halbleiter-Reinräume wird empfohlen, Folgendes mit dem FFU-Hersteller und -Designer zu bestätigen: regionaler Reinheitsgrad und Luftstromform; Prozessstaub und Gerätewärme; Anforderungen an Luftvolumen und statischen Druck; Filtergrad und Versiegelungsmethode; Anforderungen an die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit; Lärmanforderungen; Kontrollmethoden; elektrische Parameter; Installationsstruktur und Wartungsbedingungen.
Wenn Sie eine FFU für Ihren Halbleiter-Reinraum auswählen, können Sie uns besuchenAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit beziehenUm mehr über die komplette Maschinenkonfiguration zu erfahren, können Sie sich auch auf die FFU ist mit einem ultrahocheffizienten ULPA-Filter ausgestattet, um mehr über die Filterkonfiguration zu erfahren, oder wenden Sie sich an Aili Industrial, um Unterstützung bei der Auswahl der Halbleiterindustrie zu erhalten.
abschließend
Bei der Auswahl von FFU für einen Halbleiter-Reinraum ist es notwendig, das Luftvolumen, den statischen Druck, den Filtergrad, die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit, den Lärm, die Steuerungsmethode und die elektrischen Parameter basierend auf dem Reinheitsgrad, der Staubentwicklung im Prozess und der Organisation des Luftstroms zu überprüfen. Parameter sollten zwischen der gesamten Maschine und dem System verglichen werden, nicht nur ein einzelner Wert. Gleichzeitig müssen auch die strukturellen und Installationsbedingungen bestätigt werden.
Aili Industrial verfügt über umfassende Produktionskapazitäten für komplette FFU-Maschinen und die Unterstützung von Halbleiterprojekten und kann Auswahllösungen basierend auf Halbleiter-Reinraumbedingungen anbieten. Wenn Sie mehr über die FFU-Konfiguration für Halbleiter-Reinräume erfahren möchten, besuchen Sie unsAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit , Sie können sich auch gerne an Aili Industrial wenden, um Projektunterstützung zu erhalten.
