¿A qué parámetros debe prestar más atención al seleccionar FFU para una sala limpia de semiconductores?

Las salas blancas de semiconductores tienen requisitos más completos para los parámetros FFU

Las salas blancas de semiconductores tienen mayores requisitos de control de partículas, organización del flujo de aire y estabilidad operativa. La limpieza de algunas áreas puede alcanzar los niveles ISO Clase 1 a Clase 3. Como equipo principal del suministro de aire filtrado en circulación, la selección de parámetros de FFU afecta directamente la limpieza regional y el efecto de protección del proceso.

Al seleccionar FFU para una sala limpia de semiconductores, no se puede observar simplemente un parámetro. El volumen de aire, la presión estática, el nivel de filtración, la uniformidad de la velocidad del viento, el ruido, el método de control y los parámetros eléctricos deben verificarse junto con los requisitos del proceso. Los parámetros están relacionados entre sí y deben compararse entre toda la máquina y el sistema.

Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en máquinas completas FFU y soporte de proyectos de semiconductores, y puede proporcionar soluciones de suministro de aire basadas en las condiciones de la fábrica de obleas y los equipos de semiconductores. Para conocer la estructura básica de la máquina FFU, consulteUnidad de filtrado de ventilador Aili Industrial FFU。

Cómo comprobar el volumen de aire y la presión estática

El volumen de aire determina la capacidad de suministro de aire de la FFU. El volumen de aire de una sala limpia de semiconductores debe calcularse en función del nivel de limpieza, la cantidad de cambios de aire o el área de protección. Para áreas de flujo unidireccional, los cálculos se pueden realizar basándose en la velocidad del viento objetivo y el área protegida. Para áreas de flujo no unidireccional, se puede calcular en función del número de cambios de aire.

La presión estática determina la capacidad de la FFU para superar la resistencia del sistema. Es posible que las FFU en salas limpias de semiconductores deban estar equipadas con filtros de alta eficiencia, rutas de suministro de aire o estructuras de equipos, y la resistencia del sistema afectará el volumen de aire real. Al seleccionar un modelo, confirme el margen de presión estática en el volumen de aire objetivo y considere el cambio en el punto de funcionamiento después de la acumulación de polvo en el filtro.

El volumen de aire y la presión estática deben compararse bajo la configuración completa de la máquina, no solo la presión total del ventilador simple. Para más detalles, consulte¿Cuál es la diferencia entre la presión estática externa de la máquina FFU y la presión total del ventilador? Comprenda el calibre del parámetro.

Cómo elegir el nivel de filtrado

Las salas blancas de semiconductores tienen mayores requisitos de niveles de filtración. Correspondientes a los niveles ISO Clase 1 a Clase 3, normalmente se requieren filtros de nivel ULPA, como U15 o de mayor eficiencia. Para los niveles ISO Clase 4 a Clase 5, los filtros HEPA H14 pueden satisfacer las necesidades.

El grado de eficiencia del filtro debe cumplir con las normas EN1822 o IEST. Al seleccionar, también debe confirmar el método de sellado y la interfaz de instalación del filtro. Las salas limpias de semiconductores suelen utilizar sellos de tanque de líquido o sellos de borde de cuchillo, y la tasa de fuga debe controlarse a un nivel bajo. En cuanto a la combinación de filtros e interfaces de la máquina, consulteFFU equipada con filtro ULPA de ultra alta eficiencia。

Cómo considerar la uniformidad de la velocidad del viento

Las salas blancas de semiconductores, especialmente las fábricas de obleas, tienen altos requisitos de uniformidad de la velocidad del viento. La velocidad desigual del viento puede causar acumulación local de partículas o perturbaciones en el flujo de aire, lo que afecta la superficie de la oblea y el equipo de proceso.

La uniformidad de la velocidad del viento debe confirmarse mediante múltiples puntos de medición. Los puntos de medición deben cubrir la superficie de salida de aire, el límite de empalme de múltiples FFU y las áreas clave de la oblea. En cuanto a la expresión de la uniformidad de la velocidad del viento, puede consultar¿Cómo expresa la uniformidad de la velocidad del viento FFU el método de cálculo del punto de solución y la desviación?

Cómo considerar el ruido

Las salas limpias de semiconductores suelen tener requisitos de producción continua y es necesario que haya personal para operar en el taller. El ruido excesivo de las FFU puede afectar el entorno de trabajo y la comodidad del personal. Los parámetros de ruido deben confirmarse en combinación con la medición de la distancia y la velocidad de funcionamiento, en lugar de observar simplemente un valor único.

Si hay varias FFU funcionando al mismo tiempo, es posible que se superponga el ruido de la habitación. Puede confirmar el ruido de una sola unidad y el ruido ambiental esperado al seleccionar un modelo.

Cómo elegir el método de control

Las FFU en salas blancas de semiconductores suelen estar conectadas al sistema de control de grupo y se configuran diferentes modos de funcionamiento según áreas o procesos. Si el proyecto tiene requisitos de control de partición, control de volumen de aire constante o retroalimentación de la velocidad del viento, se debe confirmar que el controlador admite las funciones correspondientes.

Para conocer los métodos de control, consulteControlador de pantalla táctil de control de grupo FFU/EFU ySistema de control de grupo informático FFU . Aili Industrial tiene capacidades completas de autoinvestigación en sistemas de control FFU y puede proporcionar soluciones de control de acuerdo con las necesidades de los proyectos de semiconductores.

Cómo comprobar los parámetros eléctricos.

Los parámetros eléctricos incluyen voltaje de suministro, potencia de entrada, factor de potencia y nivel de protección. Las salas blancas de semiconductores pueden tener requisitos de seguridad eléctrica y conexión a tierra. Al seleccionar, se deben confirmar las condiciones del suministro de energía, los datos de energía y el nivel de protección, y se debe verificar la coincidencia con el sistema de distribución de energía del proyecto.

Para distinguir entre potencia de entrada y factor de potencia, consulteCómo distinguir el factor de potencia FFU de la potencia de entrada para comprender el significado de los parámetros.

Cómo comprobar los parámetros de estructura e instalación.

Las FFU en salas blancas de semiconductores se pueden instalar en techos suspendidos, encima de equipos o en soportes locales. Los parámetros estructurales incluyen el tamaño total de la máquina, las dimensiones de instalación, los métodos de mantenimiento y el espacio libre para la entrada de aire. Si se instala en la parte superior del equipo, también es necesario verificar el soporte de carga, el riel de apertura de la cubierta y el enclavamiento de seguridad.

Para aplicaciones del lado del dispositivo, puede consultarUnidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo yPersonalice la unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU para conocer las soluciones de soporte.

Cuestiones que deben confirmarse con antelación durante la comunicación del proyecto

En la etapa de selección de FFU para sala limpia de semiconductores, se recomienda confirmar lo siguiente con el fabricante y diseñador de FFU: nivel de limpieza regional y patrón de flujo de aire; generación de polvo de proceso y calentamiento de equipos; requisitos de volumen de aire y presión estática; nivel de filtración y método de sellado; requisitos de uniformidad de la velocidad del viento; requisitos de ruido; métodos de control; parámetros eléctricos; estructura de instalación y condiciones de mantenimiento.

Si está seleccionando una FFU para su sala limpia de semiconductores, puede visitarUnidad de filtro de ventilador Aili Industrial FFU para conocer la configuración completa de la máquina, también puede consultarFFU está equipada con un filtro de eficiencia ultraalta ULPA para conocer la configuración del filtro o comuníquese con Aili Industrial para obtener asistencia en la selección de la industria de semiconductores.

en conclusión

Al seleccionar FFU para una sala limpia de semiconductores, es necesario verificar el volumen de aire, la presión estática, el nivel de filtración, la uniformidad de la velocidad del viento, el ruido, el método de control y los parámetros eléctricos según el nivel de limpieza, la generación de polvo del proceso y la organización del flujo de aire. Los parámetros deben compararse entre toda la máquina y el sistema, no solo un valor único. También es necesario confirmar simultáneamente las condiciones estructurales y de instalación.

Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en máquinas completas FFU y soporte de proyectos de semiconductores, y puede proporcionar soluciones de selección basadas en las condiciones de la sala limpia de semiconductores. Si necesita saber más sobre la configuración FFU de sala limpia de semiconductores, puede visitarUnidad de filtro de ventilador FFU de Aili Industrial , también puede comunicarse con Aili Industrial para obtener soporte en el proyecto.