ما هي المعلمات التي يجب أن توليها أكبر قدر من الاهتمام عند اختيار FFU لغرفة نظيفة لأشباه الموصلات؟

تتمتع الغرف النظيفة لأشباه الموصلات بمتطلبات أكثر شمولاً لمعلمات FFU

تتمتع الغرف النظيفة لأشباه الموصلات بمتطلبات أعلى للتحكم في الجسيمات وتنظيم تدفق الهواء والاستقرار التشغيلي. يمكن أن تصل نظافة بعض المناطق إلى مستويات ISO من الفئة 1 إلى الفئة 3. باعتبارها المعدات الأساسية لإمداد الهواء المفلتر المتداول، فإن اختيار معلمة FFU يؤثر بشكل مباشر على النظافة الإقليمية وتأثير حماية العملية.

عند اختيار FFU لغرفة نظيفة لأشباه الموصلات، لا يمكنك مجرد النظر إلى معلمة واحدة. يجب فحص حجم الهواء، والضغط الساكن، ومستوى الترشيح، وتوحيد سرعة الرياح، والضوضاء، وطريقة التحكم، والمعلمات الكهربائية جنبًا إلى جنب مع متطلبات العملية. ترتبط المعلمات ببعضها البعض ويجب مقارنتها بين الجهاز بأكمله والنظام.

تتمتع Aili Industrial بقدرات إنتاجية كاملة في آلات FFU الكاملة ودعم مشاريع أشباه الموصلات، ويمكنها توفير حلول إمداد الهواء بناءً على ظروف مصنع الرقاقات ومعدات أشباه الموصلات. للتعرف على الهيكل الأساسي لجهاز FFU، يمكنك الرجوع إلىوحدة فلتر مروحة FFU الصناعية من Aili。

كيفية التحقق من حجم الهواء والضغط الثابت

يحدد حجم الهواء قدرة إمداد الهواء لوحدة FFU. يجب حساب حجم الهواء في الغرفة النظيفة لأشباه الموصلات بناءً على مستوى النظافة أو عدد تغيرات الهواء أو منطقة الحماية. بالنسبة لمناطق التدفق أحادي الاتجاه، يمكن إجراء الحسابات بناءً على سرعة الرياح المستهدفة والمنطقة المحمية. بالنسبة لمناطق التدفق غير أحادية الاتجاه، يمكن حسابها بناءً على عدد تغيرات الهواء.

يحدد الضغط الثابت قدرة FFU على التغلب على مقاومة النظام. قد تحتاج وحدة FFU في الغرف النظيفة لأشباه الموصلات إلى تجهيزها بمرشحات عالية الكفاءة أو مسارات إمداد الهواء أو هياكل المعدات، وسوف تؤثر مقاومة النظام على حجم الهواء الفعلي. عند اختيار نموذج، تأكد من هامش الضغط الثابت عند حجم الهواء المستهدف وخذ في الاعتبار التغيير في نقطة التشغيل بعد تراكم الغبار على الفلتر.

يجب مقارنة حجم الهواء والضغط الساكن ضمن التكوين الكامل للماكينة، وليس فقط الضغط الكامل للمروحة العارية. لمزيد من التفاصيل، يرجى الرجوع إلىما الفرق بين الضغط الساكن الخارجي لآلة FFU والضغط الكامل للمروحة؟ فهم عيار المعلمة.

كيفية اختيار مستوى التصفية

تتطلب الغرف النظيفة لأشباه الموصلات متطلبات أعلى لمستويات الترشيح. وفقًا لمستويات ISO من الفئة 1 إلى الفئة 3، عادةً ما تكون مرشحات مستوى ULPA مطلوبة، مثل U15 أو كفاءة أعلى. بالنسبة لمستويات ISO من الفئة 4 إلى الفئة 5، يمكن لمرشحات H14 HEPA أن تلبي الاحتياجات.

يجب أن تتوافق درجة كفاءة الفلتر مع معايير EN1822 أو IEST. عند الاختيار، يجب عليك أيضًا التأكد من طريقة الختم وواجهة التثبيت الخاصة بالمرشح. تستخدم غرف أشباه الموصلات النظيفة عادة أختام خزان السائل أو أختام حافة السكين، ويجب التحكم في معدل التسرب عند مستوى منخفض. فيما يتعلق بمطابقة المرشحات وواجهات الماكينة، يرجى الرجوع إلىFFU مجهز بمرشح ULPA عالي الكفاءة。

كيفية النظر في توحيد سرعة الرياح

تتمتع الغرف النظيفة لأشباه الموصلات، وخاصة مصانع الويفر، بمتطلبات عالية لتوحيد سرعة الرياح. قد تتسبب سرعة الرياح غير المتساوية في تراكم الجسيمات المحلية أو اضطراب تدفق الهواء، مما يؤثر على سطح الرقاقة ومعدات المعالجة.

وينبغي التأكد من توحيد سرعة الرياح من خلال نقاط قياس متعددة. يجب أن تغطي نقاط القياس سطح مخرج الهواء، وحدود الربط لوحدات FFU المتعددة والمناطق الرئيسية للرقاقة. فيما يتعلق بالتعبير عن توحيد سرعة الرياح، يمكنك الرجوع إلىكيف يعبر توحيد سرعة الرياح FFU عن نقطة الحل وطريقة حساب الانحراف.

كيفية النظر في الضوضاء

عادةً ما تكون للغرف النظيفة لأشباه الموصلات متطلبات إنتاج مستمرة ويحتاج الموظفون إلى العمل في ورشة العمل. قد تؤثر ضوضاء FFU المفرطة على بيئة العمل وراحة الموظفين. وينبغي تأكيد معلمات الضوضاء بالاشتراك مع قياس المسافة وسرعة التشغيل، بدلاً من مجرد النظر إلى قيمة واحدة.

إذا تم تشغيل وحدات FFU متعددة في نفس الوقت، فقد يتم فرض ضوضاء الغرفة. يمكنك التأكد من ضوضاء وحدة واحدة وضوضاء الغرفة المتوقعة عند اختيار الطراز.

كيفية اختيار طريقة التحكم

عادةً ما يتم توصيل وحدات FFU في الغرف النظيفة لأشباه الموصلات بنظام التحكم الجماعي، ويتم ضبط أوضاع التشغيل المختلفة وفقًا للمناطق أو العمليات. إذا كان المشروع يحتوي على تحكم في التقسيم، أو تحكم ثابت في حجم الهواء أو متطلبات ردود فعل سرعة الرياح، فيجب التأكد من أن وحدة التحكم تدعم الوظائف المقابلة.

للتعرف على طرق التحكم يرجى الرجوع إلىFFU/EFU مجموعة التحكم التي تعمل باللمس تحكم ونظام التحكم في مجموعة الكمبيوتر FFU . تتمتع Aili Industrial بقدرات بحث ذاتي كاملة في أنظمة التحكم FFU ويمكنها توفير حلول التحكم وفقًا لاحتياجات مشاريع أشباه الموصلات.

كيفية التحقق من المعلمات الكهربائية

تشمل المعلمات الكهربائية جهد الإمداد وطاقة الإدخال وعامل الطاقة ومستوى الحماية. قد تتطلب غرف الأبحاث الخاصة بأشباه الموصلات متطلبات السلامة الكهربائية والتأريض. عند الاختيار، يجب التأكد من ظروف إمداد الطاقة وبيانات الطاقة ومستوى الحماية، كما يجب التحقق من المطابقة مع نظام توزيع الطاقة الخاص بالمشروع.

للتمييز بين طاقة الإدخال وعامل الطاقة، يرجى الرجوع إلىكيفية التمييز بين عامل الطاقة FFU وطاقة الإدخال لفهم معنى المعلمات.

كيفية التحقق من معلمات الهيكل والتثبيت

يمكن تركيب وحدات FFU في الغرف النظيفة لأشباه الموصلات على الأسقف المعلقة، أو فوق المعدات، أو على دعامات محلية. تشمل المعلمات الهيكلية الحجم الإجمالي للماكينة، وأبعاد التثبيت، وطرق الصيانة، ومساحة مدخل الهواء. إذا تم تركيبه على الجزء العلوي من الجهاز، فيجب أيضًا فحص الحامل ومسار فتح الغطاء وتشابك الأمان.

بالنسبة للتطبيقات على جانب الجهاز، يمكنك الرجوع إلىوحدة تصفية مروحة نهاية المعدات وقم بتخصيص وحدة مرشح المروحة بجانب جهاز EFU للتعرف على الحلول الداعمة.

المشكلات التي يجب تأكيدها مسبقًا أثناء الاتصال بالمشروع

في مرحلة اختيار FFU للغرفة النظيفة لأشباه الموصلات، يوصى بتأكيد ما يلي مع الشركة المصنعة والمصممة لـ FFU: مستوى النظافة الإقليمي ونمط تدفق الهواء؛ معالجة توليد الغبار وتسخين المعدات؛ حجم الهواء ومتطلبات الضغط الثابت؛ مستوى الترشيح وطريقة الختم. متطلبات توحيد سرعة الرياح؛ متطلبات الضوضاء؛ طرق التحكم المعلمات الكهربائية هيكل التثبيت وشروط الصيانة.

إذا كنت تختار FFU لغرفة الأبحاث الخاصة بأشباه الموصلات، فيمكنك زيارتهاوحدة مرشح مروحة Aili Industrial FFU للتعرف على التكوين الكامل للماكينة، يمكنك أيضًا الرجوع إلىتم تجهيز FFU بمرشح ULPA عالي الكفاءة للتعرف على تكوين المرشح، أو اتصل بـ Aili Industrial للحصول على دعم اختيار صناعة أشباه الموصلات.

ختاماً

عند اختيار FFU لغرفة نظيفة من أشباه الموصلات، من الضروري التحقق من حجم الهواء، والضغط الثابت، ومستوى الترشيح، وتوحيد سرعة الرياح، والضوضاء، وطريقة التحكم والمعلمات الكهربائية بناءً على مستوى النظافة، وتوليد الغبار أثناء المعالجة، وتنظيم تدفق الهواء. يجب مقارنة المعلمات بين الجهاز بأكمله والنظام، وليس مجرد قيمة واحدة. يجب أيضًا تأكيد الظروف الهيكلية والتركيب في وقت واحد.

تتمتع Aili Industrial بقدرات إنتاجية كاملة في آلات FFU الكاملة ودعم مشاريع أشباه الموصلات، ويمكنها توفير حلول الاختيار بناءً على ظروف الغرفة النظيفة لأشباه الموصلات. إذا كنت تريد معرفة المزيد عن تكوين FFU للغرفة النظيفة لأشباه الموصلات، فيمكنك زيارة الموقعوحدة مرشح المروحة Aili Industrial FFU ، نرحب أيضًا بالاتصال بـ Aili Industrial لدعم المشروع.