لماذا تولي القوات المسلحة البوروندية اهتمامًا خاصًا لتوحيد سرعة الرياح؟

لدى المصانع متطلبات تدفق هواء مختلفة عن الغرف النظيفة العادية

تتمتع الغرف النظيفة لمصانع الويفر بمتطلبات عالية للتحكم في الجسيمات، ويمكن أن تصل نظافة بعض المناطق إلى مستويات ISO من الفئة 1 إلى الفئة 3. في هذه البيئة، لا تحتاج وحدة FFU إلى توفير حجم إمداد هواء كافٍ فحسب، بل تحتاج أيضًا إلى ضمان إمداد هواء موحد.

يشير توحيد سرعة الرياح إلى توحيد توزيع سرعة الرياح في سطح منفذ الهواء FFU أو منطقة الحماية. إذا كان إمداد الهواء غير متساوٍ، فستكون سرعة الرياح أعلى في بعض المواقع وأقل في بعض المواقع. قد تشكل المواقع ذات سرعات الرياح المنخفضة مناطق ذات تدفق هواء ضعيف حيث يمكن أن تتراكم الجسيمات بسهولة. قد تتسبب المواقع ذات سرعات الرياح العالية في حدوث اضطرابات في تدفق الهواء، مما يؤثر على سطح الرقاقة أو معدات المعالجة.

لذلك، تولي المصانع اهتمامًا خاصًا لتوحيد سرعة الرياح FFU، بدلاً من مجرد النظر إلى متوسط ​​سرعة الرياح على سطح الرياح. تتمتع Aili Industrial بقدرات إنتاجية كاملة في آلات FFU الكاملة ودعم مشاريع أشباه الموصلات، ويمكنها توفير حلول إمداد الهواء وفقًا لمتطلبات تدفق الهواء لمصنع الرقاقة. للتعرف على الهيكل الأساسي لجهاز FFU، يمكنك الرجوع إلىوحدة فلتر مروحة FFU الصناعية من Aili。

ما هو تأثير سرعة الرياح غير المتساوية على التحكم في الجسيمات؟

تستخدم غرف Fab النظيفة عادة التدفق أحادي الاتجاه أو تنظيم تدفق الهواء المختلط. يتم إرسال الهواء النظيف من وحدة FFU، ويمر عبر منطقة الرقاقة، ويتم تفريغه من مسار الهواء العائد. إذا كانت سرعة الرياح موحدة، يمكن لتدفق الهواء أن يحمل الجزيئات بشكل ثابت نحو مسار الهواء العائد. إذا كانت سرعة الرياح غير متساوية، فقد يحدث احتباس للجسيمات في مناطق تدفق الهواء الضعيفة المحلية.

يمكن أن يؤثر احتباس الجسيمات على نظافة سطح الرقاقة. بالنسبة لعمليات مثل الطباعة الحجرية الضوئية والحفر وترسب الأفلام، قد يؤثر تلوث الجسيمات على دقة النمط أو جودة الفيلم. ولذلك، فإن توحيد سرعة الرياح يؤثر بشكل مباشر على تأثير التحكم في الجسيمات.

ما هو تأثير سرعة الرياح غير المتساوية على تنظيم تدفق الهواء؟

قد تؤدي سرعات الرياح غير المتساوية إلى تغيير اتجاه تدفق الهواء. عندما تكون سرعة الرياح المحلية عالية، قد ينحرف تدفق الهواء أو يشكل دوامات. عندما تكون سرعة الرياح المحلية منخفضة، قد يكملها تدفق الهواء المحيط ويشكل تدفقًا متقاطعًا. هذه التغييرات يمكن أن تدمر نظام التدفق أحادي الاتجاه أو الصفحي للتصميم.

في المصانع المصنعة، غالبًا ما يتم تنسيق تنظيم تدفق الهواء مع معدات المعالجة وترتيبات السقف ومسارات الهواء الراجع. إذا كانت سرعة الرياح FFU غير متساوية، فقد يتغير مسار تدفق الهواء المصمم في الأصل، مما يؤثر على نظافة المنطقة المحلية.

ما هو تأثير سرعة الرياح غير المتساوية على حماية الرقاقة؟

قد تتعرض الرقائق لتدفق الهواء أثناء عملية التصنيع. إذا كانت سرعة الرياح عالية جدًا، فقد يتسبب ذلك في تحرك الجزيئات الموجودة على سطح الرقاقة أو تأثر الطبقة المقاومة للضوء. إذا كانت سرعة الرياح منخفضة جدًا، فقد تترسب الجزيئات على سطح الرقاقة.

بالنسبة للعمليات الدقيقة، يعد توحيد سرعة الهواء أكثر أهمية من مجرد زيادة سرعة الهواء. يمكن لتدفق الهواء الموحد أن يحمي سطح الرقاقة بشكل ثابت دون التسبب في أي إزعاج.

ما هي العوامل التي تؤثر على توحيد سرعة الرياح FFU

تشمل العوامل التي تؤثر على توحيد سرعة الرياح FFU ما يلي: هيكل طي المرشح وحالة التثبيت؛ تصميم مجاري الهواء للمروحة والصندوق؛ شبكة حماية سطح منفذ الهواء أو هيكل التحويل؛ طريقة الربط لوحدات FFUs المتعددة؛ هيكل السقف وموضع المصباح. عودة مسار الهواء وتدفق الهواء في الغرفة.

إذا لم يتم تركيب الفلتر في مكانه أو تم إغلاقه بشكل غير متساو، فقد يتم توزيع سرعة الهواء على سطح المخرج بشكل غير متساو. إذا لم تكن المروحة والخزانة متطابقتين بشكل جيد، فقد تكون سرعة الرياح المحلية مرتفعة جدًا أو منخفضة جدًا. إذا كانت هناك فجوات في الربط بين وحدات FFU المتعددة، فقد تظهر مناطق ضعيفة عند الحدود.

كيفية ضبط نقاط القياس

للتحقق من توحيد سرعة الرياح FFU، يجب تعيين نقاط القياس. لا ينبغي ترتيب نقاط القياس في وسط FFU فحسب، بل يجب أيضًا أن تغطي حواف سطح مخرج الهواء، وحدود الربط لوحدات FFU المتعددة، والمناطق الرئيسية للرقاقة.

يجب أن يكون ارتفاع نقطة القياس متسقًا مع موضع الرقاقة، بدلاً من مجرد قياس سطح الريح. يجب أن يعكس عدد نقاط القياس وتوزيعها التوزيع الفعلي لسرعة الرياح. فيما يتعلق بالتعبير عن توحيد سرعة الرياح، يمكنك الرجوع إلىكيف يعبر توحيد سرعة الرياح FFU عن نقطة الحل وطريقة حساب الانحراف.

كيفية التعاون مع طرق المراقبة

عادةً ما يتم توصيل وحدة FFU الخاصة بمصنع الرقاقات بنظام التحكم في المجموعة ويمكن ضبطها حسب المنطقة. إذا كانت سرعة الرياح في بعض المناطق منخفضة، فيمكن زيادة سرعة FFU في تلك المنطقة بشكل مناسب. إذا كانت سرعة الرياح مرتفعة في بعض المناطق، فيمكن تقليلها بشكل مناسب. التحكم في المناطق يمكن أن يقلل من انحرافات سرعة الرياح المحلية.

إذا كان المشروع يستخدمFFU/EFU مجموعة التحكم التي تعمل باللمس تحكم أويمكن لنظام التحكم في مجموعة الكمبيوتر FFU تأكيد ما إذا كان النظام يدعم إعداد المنطقة وردود الفعل على سرعة الرياح. تتمتع Aili Industrial بقدرات بحث ذاتي كاملة في أنظمة التحكم FFU ويمكنها توفير حلول التحكم وفقًا لاحتياجات التحكم في تقسيم المناطق للمصنع.

المشكلات التي يجب تأكيدها مسبقًا أثناء الاتصال بالمشروع

أثناء مرحلة اختيار FFU وتصحيح الأخطاء الخاصة بمصنع FFU، يوصى بتأكيد ما يلي مع الشركة المصنعة والمصمم لـ FFU: مستوى النظافة المستهدف ونموذج تدفق الهواء؛ متطلبات توحيد سرعة الرياح؛ ترتيب نقطة القياس وطريقة القياس؛ كمية FFU والترتيب؛ هيكل السقف وموضع المصباح. عودة المسار الجوي. طريقة التحكم طريقة التصحيح والتحقق.

إذا كنت تخطط لحل FFU لشركتك الصناعية، فيمكنك زيارة الموقعوحدة مرشح مروحة Aili Industrial FFU للتعرف على التكوين الكامل للماكينة، يمكنك أيضًا الرجوع إلىتم تجهيز FFU بفلتر ULPA عالي الكفاءة للتعرف على تكوين الفلتر، أو اتصل بـ Aili Industrial لدعم إمداد الهواء لمشاريع أشباه الموصلات.

ختاماً

تولي مصانع الرقاقات اهتمامًا خاصًا لتوحيد سرعة الرياح FFU لأن انحرافات سرعة الرياح يمكن أن تؤثر على التحكم في الجسيمات وتنظيم تدفق الهواء وحماية الرقاقة. قد تؤدي سرعة الرياح غير المتساوية إلى تراكم الجسيمات المحلية أو اضطراب تدفق الهواء، مما يؤثر على إنتاجية العملية. يعد إعداد نقطة القياس والتحكم في تقسيم المناطق والتحقق من التصحيح هي الروابط الرئيسية لتأكيد توحيد سرعة الرياح.

تتمتع Aili Industrial بقدرات إنتاجية كاملة في آلات FFU الكاملة ودعم مشاريع أشباه الموصلات، ويمكنها توفير حلول إمداد الهواء وفقًا لمتطلبات تدفق الهواء لمصنع الرقاقة. إذا كنت تريد معرفة المزيد عن تكوين FFU الرائع، يمكنك زيارة الموقعوحدة مرشح المروحة Aili Industrial FFU ، نرحب أيضًا بالاتصال بـ Aili Industrial لدعم المشروع.