Почему ФФУ уделяет особое внимание равномерности скорости ветра?
Фабрики предъявляют другие требования к потоку воздуха, чем обычные чистые помещения.
В чистых помещениях предприятий по производству пластин предъявляются высокие требования к контролю частиц, а чистота некоторых помещений может достигать уровней ISO от 1 до 3 классов. В этой среде FFU необходимо не только обеспечить достаточный объем подачи воздуха, но также необходимо обеспечить равномерную подачу воздуха.
Под однородностью скорости ветра понимается равномерность распределения скорости ветра на поверхности воздуховыпускного отверстия или защитной зоне ФФУ. Если подача воздуха неравномерна, скорость ветра в некоторых местах будет выше, а в некоторых — ниже. В местах с низкой скоростью ветра могут образовываться области со слабым воздушным потоком, где частицы могут легко накапливаться. В местах с высокой скоростью ветра могут возникнуть нарушения воздушного потока, влияющие на поверхность пластины или технологическое оборудование.
Поэтому производители пластин уделяют особое внимание равномерности скорости ветра ФФУ, а не просто смотрят на среднюю скорость ветра на ветровой поверхности. Aili Industrial обладает полными производственными возможностями в области комплексного оборудования FFU и поддержки проектов по производству полупроводников, а также может предоставить решения по подаче воздуха в соответствии с требованиями к воздушному потоку на фабрике по производству пластин. Базовую конструкцию машины FFU см.Фильтрующий вентилятор Aili Industrial FFU。
Какое влияние оказывает неравномерность скорости ветра на контроль частиц?
В чистых помещениях Fab обычно используется однонаправленная или смешанная организация воздушного потока. Чистый воздух выходит из FFU, проходит через зону пластин и выбрасывается из контура возврата воздуха. Если скорость ветра одинакова, воздушный поток может устойчиво переносить частицы к пути возврата воздуха. Если скорость ветра неравномерна, задержка частиц может произойти в местах со слабым воздушным потоком.
Задержание частиц может повлиять на чистоту поверхности пластины. В таких процессах, как фотолитография, травление и осаждение пленки, загрязнение частицами может повлиять на точность рисунка или качество пленки. Таким образом, однородность скорости ветра напрямую влияет на эффект контроля частиц.
Какое влияние оказывает неравномерность скорости ветра на организацию воздушного потока?
Неравномерная скорость ветра может изменить направление воздушного потока. Когда местная скорость ветра высока, воздушный поток может отклоняться или образовывать вихри. При небольшой скорости местного ветра поток окружающего воздуха может дополнять его и образовывать поперечный поток. Эти изменения могут разрушить однонаправленный или ламинарный режим потока конструкции.
На предприятии организация воздушного потока часто согласовывается с технологическим оборудованием, потолочными устройствами и путями возврата воздуха. Если скорость ветра ФФУ неравномерна, первоначально спроектированная траектория воздушного потока может измениться, что повлияет на чистоту придомовой территории.
Какое влияние оказывает неравномерность скорости ветра на защиту пластин?
В процессе производства пластины могут подвергаться воздействию воздушного потока. Если скорость ветра слишком высока, это может привести к перемещению частиц на поверхности пластины или повреждению фоторезистивного покрытия. Если скорость ветра слишком низкая, частицы могут осаждаться на поверхности пластины.
Для прецизионных процессов однородность скорости воздуха важнее, чем простое увеличение скорости воздуха. Равномерный поток воздуха может стабильно защищать поверхность пластины, не вызывая нарушений.
Какие факторы влияют на равномерность скорости ветра ФФУ
К факторам, влияющим на равномерность скорости ветра ФФУ, относятся: конструкция складывания фильтра и состояние установки; конструкция вентилятора и коробчатого воздуховода; защитная сетка или отводящая конструкция поверхности воздуховыпускного отверстия; метод сплайсинга нескольких FFU; конструкция потолка и расположение светильников; возвратный воздушный путь и поток воздуха в помещении.
Если фильтр установлен не на место или неравномерно уплотнен, скорость воздуха на выходной поверхности может распределяться неравномерно. Если вентилятор и шкаф несовместимы друг с другом, местная скорость ветра может быть слишком высокой или слишком низкой. При наличии пробелов в сращивании нескольких ФФУ на границах могут появиться слабые места.
Как установить точки измерения
Для проверки равномерности скорости ветра ФФУ необходимо установить точки измерения. Точки измерения должны быть расположены не только в центре FFU, но и охватывать края поверхности выхода воздуха, границы сращивания нескольких FFU и ключевые области пластины.
Высота точки измерения должна соответствовать положению пластины, а не просто измерять ветровую поверхность. Количество и распределение точек измерения должно отражать фактическое распределение скорости ветра. Что касается выражения однородности скорости ветра, вы можете обратиться кКак однородность скорости ветра ФФУ выражает точку решения и метод расчета отклонения.
Как сотрудничать с методами контроля
ФФУ вафельного завода обычно подключен к системе группового управления и может регулироваться по зонам. Если скорость ветра в некоторых районах низкая, скорость FFU в этом районе можно соответствующим образом увеличить. Если в некоторых районах скорость ветра высока, ее можно соответствующим образом уменьшить. Зональное управление может уменьшить местные отклонения скорости ветра.
Если в проекте используетсяКонтроллер сенсорного экрана группового управления FFU/EFU илиКомпьютерная система управления группой FFU может подтвердить, поддерживает ли система настройку зон и обратную связь по скорости ветра. Aili Industrial обладает полными возможностями самоисследования систем управления FFU и может предоставить решения по управлению в соответствии с потребностями управления зонированием завода.
Проблемы, которые должны быть подтверждены заранее во время обсуждения проекта
На этапе выбора ФФУ и ввода в эксплуатацию завода рекомендуется уточнить у изготовителя и проектировщика ФФУ: целевой уровень чистоты и форму воздушного потока; требования к равномерности скорости ветра; расположение точки измерения и метод измерения; количество и расположение ФФУ; конструкция потолка и расположение светильников; возвратный воздушный тракт; метод управления; метод отладки и проверки.
Если вы планируете использовать решение FFU для своего предприятия, вы можете посетитьПромышленный вентиляторный фильтр Aili FFU, чтобы узнать о полной конфигурации машины, вы также можете обратиться кFFU оснащен фильтром сверхвысокой эффективности ULPA , чтобы узнать о конфигурации фильтра или связаться с Aili Industrial для поддержки поставок воздуха для полупроводниковых проектов.
в заключение
Производители пластин уделяют особое внимание равномерности скорости ветра FFU, поскольку отклонения скорости ветра могут повлиять на контроль частиц, организацию воздушного потока и защиту пластин. Неравномерная скорость ветра может вызвать локальное скопление частиц или нарушение воздушного потока, влияя на производительность процесса. Настройка точки измерения, контроль зонирования и проверка отладки являются основными звеньями для подтверждения равномерности скорости ветра.
Aili Industrial обладает полными производственными возможностями в области комплектного оборудования FFU и поддержки проектов по производству полупроводников, а также может предоставить решения по подаче воздуха в соответствии с требованиями к воздушному потоку на фабрике по производству пластин. Если вам нужно узнать больше о конфигурации fab FFU, вы можете посетитьВентиляционно-фильтрующий блок Aili Industrial FFU . Вы также можете связаться с Aili Industrial для поддержки проекта.
