Tại sao FFU fab đặc biệt chú ý đến tính đồng nhất của tốc độ gió?
Fab có yêu cầu về luồng không khí khác với phòng sạch thông thường
Phòng sạch của nhà máy sản xuất tấm bán dẫn có yêu cầu cao về kiểm soát hạt và độ sạch của một số khu vực có thể đạt cấp độ ISO Cấp 1 đến Cấp 3. Trong môi trường này, FFU không chỉ cần cung cấp đủ lượng không khí cung cấp mà còn cần đảm bảo cung cấp không khí đồng đều.
Tính đồng nhất của tốc độ gió đề cập đến tính đồng nhất của phân bố tốc độ gió trên bề mặt cửa thoát khí FFU hoặc khu vực bảo vệ. Nếu nguồn cung cấp không khí không đồng đều, tốc độ gió sẽ cao hơn ở một số vị trí và thấp hơn ở một số vị trí. Những vị trí có tốc độ gió thấp có thể tạo thành những vùng có luồng không khí yếu, nơi các hạt có thể dễ dàng tích tụ. Những vị trí có tốc độ gió cao có thể gây ra nhiễu loạn luồng không khí, ảnh hưởng đến bề mặt tấm bán dẫn hoặc thiết bị xử lý.
Vì vậy, các fab đặc biệt chú ý đến tính đồng nhất của tốc độ gió FFU chứ không chỉ nhìn vào tốc độ gió trung bình trên bề mặt gió. Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về máy hoàn chỉnh FFU và hỗ trợ dự án bán dẫn, đồng thời có thể cung cấp các giải pháp cung cấp không khí theo yêu cầu về luồng không khí của nhà máy sản xuất tấm bán dẫn. Cấu trúc cơ bản của máy FFU các bạn có thể tham khảoBộ lọc quạt công nghiệp Aili FFU。
Tốc độ gió không đồng đều có tác động gì đến việc kiểm soát hạt?
Phòng sạch Fab thường sử dụng luồng không khí một chiều hoặc tổ chức luồng không khí hỗn hợp. Không khí sạch được đưa ra khỏi FFU, đi qua khu vực tấm bán dẫn và được thải ra từ đường dẫn khí quay trở lại. Nếu tốc độ gió đồng đều, luồng không khí có thể mang các hạt đều đặn về phía đường dẫn khí quay trở lại. Nếu tốc độ gió không đồng đều, việc giữ lại hạt có thể xảy ra ở những khu vực có luồng không khí yếu cục bộ.
Việc lưu giữ hạt có thể ảnh hưởng đến độ sạch của bề mặt wafer. Đối với các quy trình như quang khắc, khắc và lắng đọng màng, ô nhiễm hạt có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của mẫu hoặc chất lượng màng. Do đó, tính đồng nhất của tốc độ gió ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu quả kiểm soát hạt.
Tốc độ gió không đều có tác động gì đến việc tổ chức luồng không khí?
Tốc độ gió không đều có thể làm thay đổi hướng luồng không khí. Khi tốc độ gió cục bộ cao, luồng không khí có thể bị lệch hoặc tạo thành xoáy. Khi tốc độ gió cục bộ thấp, luồng không khí xung quanh có thể bổ sung và tạo thành luồng gió chéo. Những thay đổi này có thể phá hủy chế độ dòng chảy một chiều hoặc dòng chảy tầng của thiết kế.
Trong nhà máy, việc tổ chức luồng không khí thường được phối hợp với thiết bị xử lý, bố trí trần và đường dẫn gió hồi. Nếu tốc độ gió FFU không đồng đều, đường dẫn luồng khí được thiết kế ban đầu có thể thay đổi, ảnh hưởng đến độ sạch của khu vực địa phương.
Tốc độ gió không đều có tác động gì đến việc bảo vệ tấm bán dẫn?
Tấm wafer có thể tiếp xúc với luồng không khí trong quá trình sản xuất. Nếu tốc độ gió quá cao, nó có thể khiến các hạt trên bề mặt wafer chuyển động hoặc lớp phủ quang điện bị ảnh hưởng. Nếu tốc độ gió quá thấp, các hạt có thể đọng lại trên bề mặt tấm bán dẫn.
Đối với các quy trình chính xác, tính đồng nhất của tốc độ không khí quan trọng hơn việc chỉ tăng tốc độ không khí. Luồng khí đồng đều có thể bảo vệ ổn định bề mặt wafer mà không gây xáo trộn.
Những yếu tố nào ảnh hưởng đến tính đồng nhất của tốc độ gió FFU
Các yếu tố ảnh hưởng đến tính đồng nhất của tốc độ gió FFU bao gồm: kết cấu gấp bộ lọc và trạng thái lắp đặt; thiết kế ống gió quạt và hộp; lưới bảo vệ bề mặt cửa thoát khí hoặc kết cấu dẫn hướng; phương pháp nối nhiều FFU; kết cấu trần và vị trí đèn; đường dẫn khí trở lại và luồng không khí trong phòng.
Nếu bộ lọc không được lắp đúng vị trí hoặc bịt kín không đều, tốc độ không khí trên bề mặt cửa ra có thể phân bố không đều. Nếu quạt và tủ không kết hợp tốt, tốc độ gió cục bộ có thể quá cao hoặc quá thấp. Nếu có những khoảng trống trong việc ghép nhiều FFU, các vùng yếu có thể xuất hiện ở ranh giới.
Cách đặt điểm đo
Để xác minh tính đồng nhất của tốc độ gió FFU, cần phải thiết lập các điểm đo. Các điểm đo không chỉ được bố trí ở trung tâm của FFU mà còn bao phủ các cạnh của bề mặt cửa thoát khí, ranh giới nối của nhiều FFU và các khu vực chính của tấm bán dẫn.
Chiều cao của điểm đo phải phù hợp với vị trí của tấm bán dẫn, thay vì chỉ đo bề mặt gió. Số lượng và sự phân bố các điểm đo phải phản ánh sự phân bố tốc độ gió thực tế. Về cách thể hiện tính đồng đều của tốc độ gió, bạn có thể tham khảoTính đồng nhất của tốc độ gió FFU thể hiện phương pháp tính điểm và độ lệch giải pháp như thế nào.
Cách phối hợp với các phương pháp kiểm soát
FFU của nhà máy sản xuất wafer thường được kết nối với hệ thống điều khiển nhóm và có thể được điều chỉnh theo vùng. Nếu tốc độ gió ở một số khu vực thấp thì tốc độ FFU ở khu vực đó có thể được tăng lên một cách thích hợp. Nếu tốc độ gió cao ở một số khu vực có thể giảm đi một cách thích hợp. Kiểm soát vùng có thể làm giảm độ lệch tốc độ gió cục bộ.
Nếu dự án sử dụngBộ điều khiển màn hình cảm ứng điều khiển nhóm FFU/EFU hoặcHệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU có thể xác nhận xem hệ thống có hỗ trợ cài đặt vùng và phản hồi tốc độ gió hay không. Aili Industrial có khả năng tự nghiên cứu hoàn chỉnh về hệ thống điều khiển FFU và có thể cung cấp các giải pháp điều khiển theo nhu cầu kiểm soát phân vùng của nhà máy.
Các vấn đề cần xác nhận trước trong quá trình truyền thông dự án
Trong giai đoạn lựa chọn và gỡ lỗi FFU của nhà máy, nên xác nhận những điều sau với nhà sản xuất và nhà thiết kế FFU: mức độ sạch mục tiêu và dạng luồng không khí; yêu cầu về độ đồng đều của tốc độ gió; cách bố trí điểm đo và phương pháp đo; Số lượng và cách sắp xếp FFU; kết cấu trần và vị trí đèn; đường dẫn khí trở lại; phương pháp kiểm soát; phương pháp gỡ lỗi và xác minh.
Nếu bạn đang lên kế hoạch giải pháp FFU cho nhà máy của mình, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt FFU công nghiệp Aili để tìm hiểu về cấu hình máy hoàn chỉnh, bạn cũng có thể tham khảoFFU được trang bị bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA để tìm hiểu về cấu hình bộ lọc hoặc liên hệ với Aili Industrial để được hỗ trợ cung cấp không khí cho các dự án bán dẫn.
Tóm lại
Các nhà sản xuất tấm bán dẫn đặc biệt chú ý đến tính đồng nhất của tốc độ gió FFU vì độ lệch tốc độ gió có thể ảnh hưởng đến việc kiểm soát hạt, tổ chức luồng không khí và bảo vệ tấm bán dẫn. Tốc độ gió không đều có thể gây ra sự tích tụ hạt cục bộ hoặc xáo trộn luồng không khí, ảnh hưởng đến năng suất quy trình. Thiết lập điểm đo, kiểm soát phân vùng và xác minh gỡ lỗi là những liên kết chính để xác nhận tính đồng nhất của tốc độ gió.
Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về máy hoàn chỉnh FFU và hỗ trợ dự án bán dẫn, đồng thời có thể cung cấp các giải pháp cung cấp không khí theo yêu cầu về luồng không khí của nhà máy sản xuất tấm bán dẫn. Nếu bạn cần biết thêm về cấu hình FFU tuyệt vời, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt Aili Industrial FFU , bạn cũng có thể liên hệ với Aili Industrial để được hỗ trợ dự án.
