なぜファブ FFU は風速の均一性に特別な注意を払うのですか?

工場には通常のクリーンルームとは異なる通気要件があります

ウェーハ製造工場のクリーン ルームにはパーティクル制御に対する高い要件があり、一部のエリアの清浄度は ISO クラス 1 からクラス 3 レベルに達する場合があります。この環境下においてFFUは十分なエア供給量を確保するだけでなく、均一なエア供給を確保する必要があります。

風速均一性とは、FFU 空気出口表面または保護領域における風速分布の均一性を指します。空気の供給が不均一な場合、風速はある場所では速くなり、ある場所では遅くなります。風速が低い場所では、空気の流れが弱く、粒子が蓄積しやすい場所が形成されることがあります。風速の高い場所では気流の乱れが発生し、ウェーハ表面やプロセス装置に影響を与える可能性があります。

したがって、ウェーハ製造工場は、風面上の平均風速だけを見るのではなく、FFU 風速の均一性に特別な注意を払っています。 Aili Industrial は、FFU 完成機および半導体プロジェクトのサポートにおける完全な生産能力を備えており、ウェーハ工場の空気流要件に応じた空気供給ソリューションを提供できます。 FFUマシンの基本構造については、こちらをご覧ください。Aili Industrial FFUファンフィルターユニット。

不均一な風速は粒子制御にどのような影響を与えますか?

製造工場のクリーン ルームでは、通常、一方向流または混合流の気流組織が使用されます。 FFUからクリーンエアが送り出され、ウエハエリアを通過し、還気経路から排出されます。風速が均一であれば、空気流は粒子を確実に還気経路に向かって運ぶことができます。風速が不均一な場合、局所的な気流の弱い領域で粒子の滞留が発生する可能性があります。

粒子の保持はウェーハ表面の清浄度に影響を与える可能性があります。フォトリソグラフィー、エッチング、成膜などのプロセスでは、粒子による汚染がパターン精度や膜品質に影響を与える可能性があります。したがって、風速の均一性は粒子制御効果に直接影響します。

不均一な風速は気流の組織にどのような影響を与えますか?

風速が不均一であると、気流の方向が変わる可能性があります。局所的な風速が高い場合、気流が偏向したり、渦を形成したりすることがあります。局所的な風速が低い場合、周囲の空気の流れがそれを補い、横流れを形成することがあります。これらの変更により、設計の一方向または層流体制が破壊される可能性があります。

工場では、多くの場合、エアフローの構成は、プロセス機器、天井の配置、および空気の戻り経路と調整されます。 FFU の風速が不均一な場合、当初設計された空気流路が変化し、局所領域の清浄度に影響を与える可能性があります。

不均一な風速はウェーハ保護にどのような影響を与えますか?

ウェーハは製造プロセス中に空気流にさらされる可能性があります。風速が高すぎると、ウェーハ表面の粒子が移動したり、フォトレジストコーティングが影響を受けたりする可能性があります。風速が低すぎると、パーティクルがウェーハ表面に堆積する可能性があります。

精密プロセスの場合、単に空気速度を上げることよりも、空気速度の均一性の方が重要です。均一な気流によりウェーハ表面を乱すことなく安定して保護します。

FFU 風速均一性に影響を与える要因

FFU 風速の均一性に影響を与える要因としては、フィルターの折り畳み構造と設置状態、ファンとボックスのエアダクト設計。空気出口表面保護ネットまたは迂回構造。複数のFFUの接続方法。天井の構造とランプの位置。還気経路と室内空気の流れ。

フィルターが所定の位置に取り付けられていなかったり、密閉度が不均一である場合、出口面の風速が不均一になる可能性があります。ファンとキャビネットが適切に適合していない場合、局所的な風速が高すぎるか低すぎる可能性があります。複数の FFU の接続に隙間がある場合、境界部分に弱い領域が現れる可能性があります。

測定点の設定方法

FFU 風速の均一性を検証するには、測定点を設定する必要があります。測定点は FFU の中心に配置するだけでなく、空気出口表面の端、複数の FFU の接合境界、およびウェーハの重要な領域もカバーする必要があります。

測定点の高さは、単に風面を測定するのではなく、ウェーハの位置と一致している必要があります。測定点の数と分布は実際の風速分布を反映する必要があります。風速均一性の表現については、以下を参照してください。FFU風速均一性は解点と偏差の計算方法をどのように表現しますか。

制御方法との連携方法

ウェーハ工場の FFU は通常、グループ制御システムに接続されており、ゾーンごとに調整できます。一部のエリアの風速が低い場合、そのエリアの FFU 速度を適切に上げることができます。一部の地域で風速が高い場合は、風速を適切に下げることができます。ゾーン制御により、局所的な風速の偏差を軽減できます。

プロジェクトで使用する場合FFU/EFU グループ制御タッチ スクリーン コントローラーまたはFFUコンピュータグループ制御システムは、システムがゾーン設定と風速フィードバックをサポートしているかどうかを確認できます。 Aili Industrial は、FFU 制御システムに関する完全な自己研究能力を備えており、工場のゾーニング制御ニーズに応じた制御ソリューションを提供できます。

プロジェクトコミュニケーション時に事前に確認すべき事項

FFU の選択と工場のデバッグ段階では、FFU の製造元と設計者に次の点を確認することをお勧めします。目標の清浄度レベルと空気の流れの形式。風速均一性要件。測定点の配置と測定方法。 FFUの量と配置。天井の構造とランプの位置。戻り空気経路。制御方法。デバッグと検証の方法。

工場向けの FFU ソリューションを計画している場合は、次のサイトにアクセスしてください。Aili Industrial FFU ファン フィルター ユニットの完全なマシン構成については、こちらも参照してください。FFU には ULPA 超高性能フィルターが装備されており、フィルター構成について学ぶか、半導体プロジェクト向けのエア供給サポートについては Aili Industrial にお問い合わせください。

結論は

風速の偏差は粒子制御、気流の構成、およびウェーハ保護に影響を与える可能性があるため、ウェーハ製造工場は FFU 風速の均一性に特別な注意を払っています。風速が不均一であると、局所的な粒子の蓄積や気流の乱れが発生し、プロセスの歩留まりに影響を与える可能性があります。測定点の設定、ゾーン制御、デバッグ検証が風速の均一性を確認するための主なリンクです。

Aili Industrial は、FFU 完成機および半導体プロジェクトのサポートにおける完全な生産能力を備えており、ウェーハ工場の空気流要件に応じた空気供給ソリューションを提供できます。ファブ FFU 構成について詳しく知りたい場合は、次のサイトを参照してください。Aili Industrial FFU ファン フィルター ユニット、プロジェクト サポートについては、Aili Industrial にお問い合わせいただくことも歓迎します。