¿Por qué las fabulosas FFU prestan especial atención a la uniformidad de la velocidad del viento?

Las fábricas tienen requisitos de flujo de aire diferentes a los de las salas limpias comunes

Las salas limpias de las fábricas de obleas tienen altos requisitos de control de partículas y la limpieza de algunas áreas puede alcanzar niveles ISO Clase 1 a Clase 3. En este entorno, la FFU no solo necesita proporcionar un volumen de suministro de aire suficiente, sino que también debe garantizar un suministro de aire uniforme.

La uniformidad de la velocidad del viento se refiere a la uniformidad de la distribución de la velocidad del viento dentro de la superficie de salida de aire de la FFU o el área de protección. Si el suministro de aire es desigual, la velocidad del viento será mayor en algunos lugares y menor en otros. Los lugares con bajas velocidades del viento pueden formar áreas de flujo de aire débil donde las partículas pueden acumularse fácilmente. Los lugares con altas velocidades de viento pueden causar alteraciones en el flujo de aire, afectando la superficie de la oblea o el equipo de proceso.

Por lo tanto, las fábricas prestan especial atención a la uniformidad de la velocidad del viento FFU, en lugar de simplemente observar la velocidad promedio del viento en la superficie del viento. Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en máquinas completas FFU y soporte de proyectos de semiconductores, y puede proporcionar soluciones de suministro de aire de acuerdo con los requisitos de flujo de aire de la fábrica de obleas. Para conocer la estructura básica de la máquina FFU, consulteUnidad de filtrado de ventilador Aili Industrial FFU。

¿Qué impacto tiene la velocidad desigual del viento en el control de partículas?

Las salas limpias fabulosas suelen utilizar un flujo unidireccional o una organización de flujo de aire de flujo mixto. El aire limpio sale de la FFU, pasa a través del área de la oblea y se descarga por la ruta de aire de retorno. Si la velocidad del viento es uniforme, el flujo de aire puede transportar las partículas de manera constante hacia la trayectoria del aire de retorno. Si la velocidad del viento es desigual, puede producirse retención de partículas en áreas locales de flujo de aire débil.

La retención de partículas puede afectar la limpieza de la superficie de la oblea. Para procesos como fotolitografía, grabado y deposición de películas, la contaminación de partículas puede afectar la precisión del patrón o la calidad de la película. Por tanto, la uniformidad de la velocidad del viento afecta directamente al efecto de control de partículas.

¿Qué impacto tiene la velocidad desigual del viento en la organización del flujo de aire?

Las velocidades desiguales del viento pueden cambiar la dirección del flujo de aire. Cuando la velocidad del viento local es alta, el flujo de aire puede desviarse o formar vórtices. Cuando la velocidad del viento local es baja, el flujo de aire circundante puede complementarla y formar un flujo cruzado. Estos cambios pueden destruir el régimen de flujo unidireccional o laminar del diseño.

En una fábrica, la organización del flujo de aire suele coordinarse con los equipos de proceso, la disposición del techo y las rutas de aire de retorno. Si la velocidad del viento FFU es desigual, la ruta del flujo de aire diseñada originalmente puede cambiar, afectando la limpieza del área local.

¿Qué impacto tiene la velocidad desigual del viento en la protección de las obleas?

Las obleas pueden quedar expuestas al flujo de aire durante el proceso de fabricación. Si la velocidad del viento es demasiado alta, puede provocar que las partículas de la superficie de la oblea se muevan o que el revestimiento fotorresistente se vea afectado. Si la velocidad del viento es demasiado baja, se pueden depositar partículas en la superficie de la oblea.

Para procesos de precisión, la uniformidad de la velocidad del aire es más importante que simplemente aumentar la velocidad del aire. El flujo de aire uniforme puede proteger de manera estable la superficie de la oblea sin causar molestias.

¿Qué factores afectan la uniformidad de la velocidad del viento en FFU?

Los factores que afectan la uniformidad de la velocidad del viento FFU incluyen: estructura de plegado del filtro y estado de instalación; diseño de conductos de aire de ventilador y caja; red de protección de la superficie de salida de aire o estructura de desvío; método de empalme de múltiples FFU; estructura del techo y posición de la lámpara; ruta de aire de retorno y flujo de aire ambiente.

Si el filtro no está instalado en su lugar o no está sellado de manera uniforme, la velocidad del aire en la superficie de salida puede estar distribuida de manera desigual. Si el ventilador y el gabinete no combinan bien, la velocidad del viento local puede ser demasiado alta o demasiado baja. Si hay espacios en el empalme de múltiples FFU, pueden aparecer áreas débiles en los límites.

Cómo configurar puntos de medición

Para verificar la uniformidad de la velocidad del viento FFU, es necesario establecer puntos de medición. Los puntos de medición no solo deben estar dispuestos en el centro de la FFU, sino que también deben cubrir los bordes de la superficie de salida de aire, los límites de empalme de múltiples FFU y áreas clave de la oblea.

La altura del punto de medición debe ser coherente con la posición de la oblea, en lugar de simplemente medir la superficie del viento. El número y la distribución de los puntos de medición deben reflejar la distribución real de la velocidad del viento. En cuanto a la expresión de la uniformidad de la velocidad del viento, puede consultar¿Cómo expresa la uniformidad de la velocidad del viento FFU el método de cálculo del punto de solución y la desviación?

Cómo cooperar con los métodos de control.

La FFU de la fábrica de obleas suele estar conectada al sistema de control de grupo y puede ajustarse por zona. Si la velocidad del viento en algunas áreas es baja, la velocidad FFU en esa área se puede aumentar adecuadamente. Si la velocidad del viento es alta en algunas zonas, se puede reducir adecuadamente. El control zonal puede reducir las desviaciones locales de la velocidad del viento.

Si el proyecto utilizaControlador de pantalla táctil de control de grupo FFU/EFU oEl sistema de control del grupo de computadoras FFU puede confirmar si el sistema admite la configuración de zonas y la retroalimentación de la velocidad del viento. Aili Industrial tiene capacidades completas de autoinvestigación en sistemas de control FFU y puede proporcionar soluciones de control de acuerdo con las necesidades de control de zonificación de la fábrica.

Cuestiones que deben confirmarse con antelación durante la comunicación del proyecto

Durante la etapa de selección y depuración de la FFU de la fábrica, se recomienda confirmar lo siguiente con el fabricante y diseñador de la FFU: nivel de limpieza objetivo y forma del flujo de aire; requisitos de uniformidad de la velocidad del viento; disposición de los puntos de medición y método de medición; cantidad y disposición de FFU; estructura del techo y posición de la lámpara; vía aérea de retorno; método de control; Método de depuración y verificación.

Si está planeando una solución FFU para su fábrica, puede visitarUnidad de filtro de ventilador Aili Industrial FFU para conocer la configuración completa de la máquina, también puede consultarFFU está equipada con un filtro de eficiencia ultra alta ULPA para conocer la configuración del filtro o comuníquese con Aili Industrial para obtener soporte de suministro de aire para proyectos de semiconductores.

en conclusión

Las fábricas de obleas prestan especial atención a la uniformidad de la velocidad del viento FFU porque las desviaciones de la velocidad del viento pueden afectar el control de partículas, la organización del flujo de aire y la protección de las obleas. La velocidad desigual del viento puede causar acumulación local de partículas o alteración del flujo de aire, lo que afecta el rendimiento del proceso. El establecimiento de puntos de medición, el control de zonificación y la verificación de depuración son los principales vínculos para confirmar la uniformidad de la velocidad del viento.

Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en máquinas completas FFU y soporte de proyectos de semiconductores, y puede proporcionar soluciones de suministro de aire de acuerdo con los requisitos de flujo de aire de la fábrica de obleas. Si necesita saber más sobre la fabulosa configuración de FFU, puede visitarUnidad de filtro de ventilador FFU de Aili Industrial , también puede comunicarse con Aili Industrial para obtener soporte en el proyecto.