Pourquoi la fab FFU accorde-t-elle une attention particulière à l’uniformité de la vitesse du vent ?
Les usines ont des exigences de débit d'air différentes de celles des salles blanches ordinaires
Les salles blanches des usines de fabrication de plaquettes ont des exigences élevées en matière de contrôle des particules, et la propreté de certaines zones peut atteindre les niveaux ISO de classe 1 à classe 3. Dans cet environnement, FFU doit non seulement fournir un volume d’air suffisant, mais doit également assurer une alimentation en air uniforme.
L'uniformité de la vitesse du vent fait référence à l'uniformité de la répartition de la vitesse du vent dans la surface de sortie d'air FFU ou dans la zone de protection. Si l’apport d’air est inégal, la vitesse du vent sera plus élevée à certains endroits et plus faible à certains endroits. Les endroits où la vitesse du vent est faible peuvent former des zones de faible flux d'air où les particules peuvent facilement s'accumuler. Les endroits où le vent souffle à des vitesses élevées peuvent provoquer des perturbations du flux d'air, affectant la surface de la plaquette ou l'équipement de traitement.
Par conséquent, les usines accordent une attention particulière à l’uniformité de la vitesse du vent FFU, plutôt que de simplement examiner la vitesse moyenne du vent sur la surface du vent. Aili Industrial dispose de capacités de production complètes de machines complètes FFU et de projets de semi-conducteurs, et peut fournir des solutions d'alimentation en air en fonction des exigences de débit d'air de l'usine de plaquettes. Pour la structure de base de la machine FFU, vous pouvez vous référer àUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU。
Quel impact une vitesse inégale du vent a-t-elle sur le contrôle des particules ?
Les salles blanches Fab utilisent généralement une organisation de flux d’air à flux unidirectionnel ou à flux mixte. L'air propre est envoyé depuis le FFU, traverse la zone de la tranche et est évacué du chemin d'air de retour. Si la vitesse du vent est uniforme, le flux d’air peut transporter régulièrement les particules vers le chemin d’air de retour. Si la vitesse du vent est inégale, une rétention de particules peut se produire dans les zones locales à faible débit d'air.
La rétention de particules peut affecter la propreté de la surface des plaquettes. Pour les processus tels que la photolithographie, la gravure et le dépôt de film, la contamination par des particules peut affecter la précision du motif ou la qualité du film. Par conséquent, l’uniformité de la vitesse du vent affecte directement l’effet de contrôle des particules.
Quel impact une vitesse inégale du vent a-t-elle sur l’organisation du flux d’air ?
Des vitesses de vent inégales peuvent modifier la direction du flux d’air. Lorsque la vitesse du vent local est élevée, le flux d’air peut dévier ou former des tourbillons. Lorsque la vitesse du vent local est faible, le flux d’air ambiant peut le compléter et former un flux transversal. Ces changements peuvent détruire le régime d’écoulement unidirectionnel ou laminaire de la conception.
Dans une usine de fabrication, l'organisation du flux d'air est souvent coordonnée avec l'équipement de traitement, la disposition des plafonds et les chemins d'air de retour. Si la vitesse du vent FFU est inégale, la trajectoire du flux d'air initialement conçue peut changer, affectant la propreté de la zone locale.
Quel impact une vitesse de vent inégale a-t-elle sur la protection des plaquettes ?
Les plaquettes peuvent être exposées au flux d'air pendant le processus de fabrication. Si la vitesse du vent est trop élevée, les particules présentes à la surface de la plaquette peuvent se déplacer ou le revêtement de résine photosensible peut être affecté. Si la vitesse du vent est trop faible, des particules peuvent se déposer sur la surface de la plaquette.
Pour les processus de précision, l’uniformité de la vitesse de l’air est plus importante que la simple augmentation de la vitesse de l’air. Un flux d'air uniforme peut protéger de manière stable la surface de la plaquette sans provoquer de perturbations.
Quels facteurs affectent l'uniformité de la vitesse du vent FFU
Les facteurs qui affectent l'uniformité de la vitesse du vent FFU comprennent : la structure de pliage du filtre et l'état de l'installation ; conception des conduits d'air du ventilateur et du caisson ; filet de protection de la surface de sortie d'air ou structure de dérivation ; méthode d'épissage de plusieurs FFU ; structure du plafond et position de la lampe ; chemin d'air de reprise et débit d'air ambiant.
Si le filtre n'est pas installé en place ou est inégalement scellé, la vitesse de l'air sur la surface de sortie peut être inégalement répartie. Si le ventilateur et le meuble ne sont pas bien adaptés, la vitesse du vent local peut être trop élevée ou trop faible. S'il existe des lacunes dans l'épissage de plusieurs FFU, des zones faibles peuvent apparaître aux frontières.
Comment définir des points de mesure
Pour vérifier l’uniformité de la vitesse du vent FFU, des points de mesure doivent être définis. Les points de mesure doivent non seulement être disposés au centre du FFU, mais également couvrir les bords de la surface de sortie d'air, les limites d'épissage de plusieurs FFU et les zones clés de la tranche.
La hauteur du point de mesure doit être cohérente avec la position de la plaquette, plutôt que de simplement mesurer la surface du vent. Le nombre et la répartition des points de mesure doivent refléter la répartition réelle de la vitesse du vent. Concernant l’expression de l’uniformité de la vitesse du vent, on peut se référer àComment l'uniformité de la vitesse du vent FFU exprime-t-elle la méthode de calcul du point de solution et de l'écart.
Comment coopérer avec les méthodes de contrôle
Le FFU de l'usine de plaquettes est généralement connecté au système de contrôle de groupe et peut être ajusté par zone. Si la vitesse du vent dans certaines zones est faible, la vitesse du FFU dans cette zone peut être augmentée de manière appropriée. Si la vitesse du vent est élevée dans certaines zones, elle peut être réduite de manière appropriée. Le contrôle zonal peut réduire les écarts locaux de vitesse du vent.
Si le projet utiliseContrôleur d'écran tactile de contrôle de groupe FFU/EFU ouLe système de contrôle de groupe informatique FFU peut confirmer si le système prend en charge le réglage de la zone et le retour de vitesse du vent. Aili Industrial dispose de capacités complètes d'auto-recherche sur les systèmes de contrôle FFU et peut fournir des solutions de contrôle en fonction des besoins de contrôle de zonage de l'usine.
Problèmes qui doivent être confirmés à l'avance lors de la communication du projet
Pendant la phase de sélection et de mise en service des FFU de l'usine de fabrication, il est recommandé de confirmer les éléments suivants avec le fabricant et le concepteur des FFU : le niveau de propreté cible et la forme du débit d'air ; exigences d'uniformité de la vitesse du vent ; disposition des points de mesure et méthode de mesure ; quantité et disposition des FFU ; structure du plafond et position de la lampe ; chemin d'air de retour ; méthode de contrôle ; méthode de débogage et de vérification.
Si vous envisagez une solution FFU pour votre usine de fabrication, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU pour en savoir plus sur la configuration complète de la machine, vous pouvez également vous référer àFFU est équipé d'un filtre à ultra haute efficacité ULPA pour en savoir plus sur la configuration du filtre, ou contactez Aili Industrial pour une assistance en matière d'alimentation en air pour les projets de semi-conducteurs.
en conclusion
Les usines de fabrication de plaquettes accordent une attention particulière à l'uniformité de la vitesse du vent FFU, car les écarts de vitesse du vent peuvent affecter le contrôle des particules, l'organisation du flux d'air et la protection des plaquettes. Une vitesse de vent inégale peut provoquer une accumulation locale de particules ou une perturbation du flux d'air, affectant le rendement du processus. Le réglage du point de mesure, le contrôle de zone et la vérification du débogage sont les principaux liens pour confirmer l'uniformité de la vitesse du vent.
Aili Industrial dispose de capacités de production complètes de machines complètes FFU et de projets de semi-conducteurs, et peut fournir des solutions d'alimentation en air en fonction des exigences de débit d'air de l'usine de plaquettes. Si vous avez besoin d'en savoir plus sur la fab configuration FFU, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU , vous êtes également invités à contacter Aili Industrial pour une assistance au projet.
